圧力センサ、差圧式流量計及び流量コントローラ
    1.
    发明申请
    圧力センサ、差圧式流量計及び流量コントローラ 审中-公开
    压力传感器,差压流量计和流量控制器

    公开(公告)号:WO2009001631A1

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:PCT/JP2008/059141

    申请日:2008-05-19

    Inventor: 五十嵐 裕規

    Abstract:  圧縮性流体が圧力導入部内の圧力センサ受圧面付近に滞留することを防止した構造の圧力センサを提供する。圧力測定を行う流体が流れる流体主流路12から上方へT字状に分岐する圧力導入流路22Aにセンサ本体23を配置した圧力センサ21Bにおいて、圧力導入流路22Aが、流体流れ方向下流側となる壁面に、流体の入口側開口面積を広げる方向の傾斜面28を備えている。

    Abstract translation: 本发明提供一种压力传感器,该压力传感器具有这样一种结构,可以防止可压缩流体在压力引入部分中压力传感器的压力接收表面附近停滞。 在该压力传感器(21B)中,传感器体(23)设置在从主流体流路(12)向T上方分支的压力导入流路(22A)中,待压力的流体 流动。 压力引入流路(22A)具有在流体流动方向的下游侧的壁面上沿着增加流体的入口侧开口面积的方向倾斜的表面(28)。

    流体機器ユニット構造
    2.
    发明申请
    流体機器ユニット構造 审中-公开
    流体设备单元结构

    公开(公告)号:WO2007141962A1

    公开(公告)日:2007-12-13

    申请号:PCT/JP2007/058492

    申请日:2007-04-19

    Inventor: 五十嵐 裕規

    Abstract:  複数の流体機器類を集積させて一体化し、フットプリントの低減等に有効な流体機器ユニット構造を提供する。流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材10に並列に集積して一体化する流体機器ユニット構造において、純水開閉弁5を設置する複数の設置面11を設けたベース部材10が、該ベース部材10を貫通し純水開閉弁5と純水分岐路4を介して並列に接続される純水循環供給ライン2を備えている。

    Abstract translation: 一种流体装置单元结构,其中流体装置被整合并结合以有效地减少装置的占地面积。 在该结构中,通过流动通道彼此连接的流体装置平行地集成在基部构件(10)上。 在其上配置有纯水开闭阀(5)的安装面(11)的基部构件(10)具有穿过基部构件(10)并且与纯水平行连接的纯水循环和供给管线(2) 开/关阀(5)通过纯水分支通道(4)。

    流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニット
    3.
    发明申请
    流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニット 审中-公开
    流量控制器,用于这种流量控制器的调节器单元和阀单元

    公开(公告)号:WO2007013403A1

    公开(公告)日:2007-02-01

    申请号:PCT/JP2006/314581

    申请日:2006-07-24

    Abstract:  取り扱いが容易で、汎用性の高い流量コントローラ、これに用いるレギュレータユニット、バルブユニットを提供する。流量コントローラを、レギュレータと第1圧力センサとを有するレギュレータユニットと、第2圧力センサと流量制御弁とを有するバルブユニットと、レギュレータユニットおよびバルブユニットに対して着脱可能にして接続されてレギュレータユニットとバルブユニットとを接続する流体流路およびオリフィスを構成するオリフィスユニットとを有する構成とする。

    Abstract translation: 提供了一种可容易地处理并且具有高通用性的流量控制器,用于这种流量控制器的调节器单元和阀单元。 流量控制器设置有具有调节器和第一压力传感器的调节器单元; 所述阀单元具有第二压力传感器和流量调节阀; 以及孔单元,其可移除地连接到调节器单元和用于将常规单元与阀单元连接的阀单元,并且构成流体通道和孔口。

    オリフィス部材、及びこれを用いた差圧流量計、流量調整装置
    4.
    发明申请
    オリフィス部材、及びこれを用いた差圧流量計、流量調整装置 审中-公开
    ORIFICE会员和差压流量计和流量调节装置使用ORIFICE会员

    公开(公告)号:WO2006129588A1

    公开(公告)日:2006-12-07

    申请号:PCT/JP2006/310641

    申请日:2006-05-29

    CPC classification number: G01F1/42 F15D1/00 G01F1/44 G01F15/185 Y10T137/212

    Abstract:  流通させる流体の切替えの際のパージ作業が容易で、流通させた流体へのコンタミネーションや不純物の溶出が生じにくく、かつ製造が容易なオリフィス部材、及びこれを用いた差圧流量計、流量調整装置を提供する。流量調整装置を、オリフィス部材と、オリフィス部材の一端に接続される第1圧力測定装置(接続対象)と、オリフィス部材の他端に接続される第2圧力測定装置(接続対象)と、これらによって構成される差圧流量計の下流側に接続される流量調整弁とを有する構成とする。オリフィス部材を、一端が第1圧力測定装置に接続され、他端が第2圧力測定装置に接続されて内部がこれら第1、第2圧力測定装置間を接続する流路を構成するチューブ部と、チューブ部内に設けられるオリフィスとが、一体に形成された構成とする。

    Abstract translation: 一种孔板构件,其能够在流动的流体切换时实现容易的吹扫操作,使污染物和杂质难以被洗脱到流动的流体中,并且易于制造;以及差压流量计和使用孔口构件的流量调节装置。 流量调节装置包括孔口构件,连接到孔口构件的一端的第一压力测量装置(待连接),连接到孔口构件的另一端的第二压力测量装置(待连接) 以及连接到由这些装置形成的差压流量计的下游侧的流量调节阀。 孔部件包括管部,其一端连接到第一压力测量装置,并且在另一端连接到第二压力测量装置,并在其中形成将这些第一和第二压力测量装置连接到 彼此成一体地形成在管部中的孔。

    流体機器ユニット構造
    5.
    发明申请
    流体機器ユニット構造 审中-公开
    流体设备单元结构

    公开(公告)号:WO2007100106A1

    公开(公告)日:2007-09-07

    申请号:PCT/JP2007/054095

    申请日:2007-03-02

    Inventor: 五十嵐 裕規

    Abstract:  複数の流体機器類を集積させて一体化し、フットプリントの低減に有効な流体機器ユニット構造を提供する。流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材10に集積して一体化する流体機器ユニット構造において、ベース部材10が、流体機器類を設置する複数の設置面11と、該設置面11間をベース部材内部で連結する傾斜流路12とを備えている。  

    Abstract translation: 本发明提供一种流体设备单元结构,其包括多个组装和集成的流体设备,并且可用于减少占地面积。 流体设备单元结构包括通过流动通道相互连接的多个流体设备。 多个流体设备组装在基部构件(10)上并与基座构件(10)一体化。 基部构件(10)包括用于安装多个流体设备的多个安装面(11)和用于在基座构件内将安装面(11)彼此连接的倾斜流路(12)。

    液体用レギュレータ
    6.
    发明申请
    液体用レギュレータ 审中-公开
    液体调节器

    公开(公告)号:WO2006022096A1

    公开(公告)日:2006-03-02

    申请号:PCT/JP2005/013131

    申请日:2005-07-15

    Inventor: 五十嵐 裕規

    Abstract:  1次側の圧力変動だけでなく、2次側の圧力変動に対して優れた流量制御の応答性を発揮し、高精度の流量制御が可能になる液体用レギュレータを提供する。液体用レギュレータ10は、空気等の気体による操作圧力を第1ダイアフラム14に受けて弁開度の調整力を発生させる第1のダイアフラム室16と、2次側から導入した液体の圧力変動を第2ダイアフラム15に受けて弁開度の調整力を発生させる第2のダイアフラム室17と、第1及び第2のダイアフラム室16,17で各々発生した調整力を受けて軸方向へスライドする軸部12と、軸部12と一体に動作して弁開度の調整を行う弁体13と、第1のダイアフラム室16と第2のダイアフラム室17との間でお互いに干渉しないように遮断する仕切壁11aと、第1及び第2のダイアフラム室16,17間で流体の流通を遮断するベローズ22とを具備して構成される。

    Abstract translation: 一种液体调节器,其能够通过不仅初级侧压力的变化而且对二次侧压力的变化,而是通过对流量控制产生优异的响应性来精确地控制流量。 液体调节器(10)包括第一隔膜室(16),其中由诸如空气的气体的操作压力由第一隔膜(14)容纳以产生用于阀打开的调节力,第二隔膜室(17) 其中从其二次侧引出的液体的压力变化由第二隔膜(15)接收以产生用于阀打开的调节力,轴部件(12)通过接收在所述第二隔膜(15)中产生的调节力而轴向滑动 第一和第二隔膜室(16)和(17),通过与所述轴部(12)一体地操作来执行所述阀开度的调节的阀元件(13),将所述第一隔膜室(16) ),使得在第一隔膜室和第二隔膜室之间不存在干涉,以及在第一和第二隔膜室(16)之间切断流体流动的波纹管(22) 和(17)。

    流体機器ユニット構造
    7.
    发明申请
    流体機器ユニット構造 审中-公开
    流体装置单元结构

    公开(公告)号:WO2008146657A1

    公开(公告)日:2008-12-04

    申请号:PCT/JP2008/059216

    申请日:2008-05-20

    Inventor: 五十嵐 裕規

    Abstract:  複数の締結部材を締め付けることにより、全周にわたって均一な締付力を容易に付与して良好なシール性を得ることができる流体機器ユニット構造を提供する。流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化する流体機器ユニット構造において、流体機器類のケーシング部材をベース部材との接合方向へ複数に分割し、ベース部材と密着する位置に配置されるケーシング部材のベース側分割部材もしくはベース部材に、接合方向へ貫通する雌ねじ部を形成した複数のナット部18aが連結部材18bにより一体化された雌ねじ部組立体19を嵌合させて取り付けるとともに、ベース側部材を挟持してナット部18aの両側から各々異なる締結部材をねじ込んで締め付ける。

    Abstract translation: 一种流体装置单元结构,其可以通过紧固多个紧固构件而获得良好的密封性能,从而在整个圆周上容易地赋予均匀的紧固力。 在用于将通过通道连接的多个流体装置收集到基座部件并使流体装置集成的流体装置单元结构中,流体装置的壳体部件沿接合方向分成多个部分,内螺纹部分 组装(19),其中具有形成为沿接合方向穿透的内螺纹部分的多个螺母部分(18a)通过联接构件(18b)一体地嵌合到紧密接触的壳体构件的基部侧分隔构件 与基部构件或基部构件接合,然后通过从螺母部分(18a)的相对侧驱动不同的紧固构件来将基座构件夹紧并紧固。

    流体機器ユニット構造
    8.
    发明申请
    流体機器ユニット構造 审中-公开
    流体设备单元结构

    公开(公告)号:WO2008146640A1

    公开(公告)日:2008-12-04

    申请号:PCT/JP2008/059138

    申请日:2008-05-19

    Inventor: 五十嵐 裕規

    CPC classification number: F16K27/003 Y10T137/87249

    Abstract: 薬液循環と水循環とを行いつつ必要に応じて薬液を取り出す用途等に適し、薬液等の流体が凝固しにくいコンパクトな流体機器ユニット構造を提供する。流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材10に集積して一体化する流体機器ユニット構造FUにおいて、薬液循環を行う第1薬液流出流路を形成して隣接する空気圧操作弁20Aと手動操作弁30Aとの間を連結する連結流路15が流体機器類の軸中心からオフセットされている。

    Abstract translation: 一种紧凑的流体装置单元结构,其适用于在执行化学液体循环和水循环以及其中诸如化学液体的流体不太可能凝结的情况下根据需要将化学液体从结构中取出的应用。 流体装置单元结构(FU)具有经由流体路径彼此连接并且集成并组合在基座构件(10)上的流体装置。 在流体装置单元结构(FU)中形成有用于通过第一化学液体出口路径彼此相邻的气压操作阀(20A)和手动操作阀(30A)之间的连接的连接流路(15) 用于进行在阀(20A,30A)之间形成的化学液体循环。 连接流动路径(15)偏离流体装置的轴线。

    差圧式流量計
    9.
    发明申请
    差圧式流量計 审中-公开
    差压式流量计

    公开(公告)号:WO2007032150A1

    公开(公告)日:2007-03-22

    申请号:PCT/JP2006/314722

    申请日:2006-07-26

    Abstract:  全体を小型化するとともに配線を低減できる差圧式流量計を提供する。オリフィス部材11を挟んで形成される流路の両側にベース部材14に固定した第1及び第2圧力センサ12A,12Bを配設し、オリフィス部材11の上流側及び下流側に生じる圧力差を圧力センサが測定して流量計測を行う差圧式流量計において、圧力検出手段内に設置された圧力検出部の近傍に各々配設した個別制御基板と、ベース部材に形成した基板設置空間内に配設した主制御基板とを備え、個別制御基板と主制御基板との間を圧力検出手段のハウジング内に設けた複数の配線通路を通した配線により接続するとともに、個別制御基板及び主制御基板のいずれかひとつに外部配線を接続した。

    Abstract translation: 一种差压式流量计,可实现总体尺寸的减小和布线体积的减小。 固定在基座部件(14)上的第一压力传感器(12A)和第二压力传感器(12B)设置在通过孔口部件(11)形成的流路的两侧。 通过压力传感器测量在孔口构件(11)的上游侧和下游侧产生的压力差来计量流量。 差压式流量计包括设置在安装在压力检测装置中的压力检测部分附近的各个控制基板和设置在形成在基体部件中的基板安装空间中的主控制基板。 单独的控制基板通过形成在压力检测装置的壳体中的多个布线通道的导线连接到主控制基板,并且外部布线连接到单独的控制基板和主控制基板中的任一个。

    流量計及びこれを用いた流量制御システム
    10.
    发明申请
    流量計及びこれを用いた流量制御システム 审中-公开
    流量计和流量控制系统

    公开(公告)号:WO2006132025A1

    公开(公告)日:2006-12-14

    申请号:PCT/JP2006/307060

    申请日:2006-04-03

    Abstract:  気泡の発生を防止または抑制して微小流量域における優れた測定精度の流量測定が可能となり、かつ流体や気泡の滞留が生じにくい流量計及びこれを用いた流量制御システムを提供すること。出口環境が一定圧力の流体流路を流れる液体の微小流量を測定する流量計であって、流体流路1の出口側端部に接続され、流体流路よりも流路断面積を小さく設定して出口環境を一定圧力とした所定長さの流量測定管路部と、流体流路1の出口近傍に設置して流量測定管路部の上流側で液体の圧力を検出する圧力センサと、圧力センサで検出した流体圧力から流量を算出する圧力検出制御部4とを具備して構成した。

    Abstract translation: 提供了一种流量计,其中防止或抑制气泡的产生,使得能够以微流量区域具有优异的测量精度并且其中流体和气泡不太可能停留的流量测量,以及使用流量的流量控制系统 仪表。 流量计是用于测定在出口环境具有恒定压力的流体通道中流动的液体的微流量的流量计,并且流量计具有流量测量管道部分,压力传感器和压力检测 /控制部(4)。 流量测量管道部分连接到流体通道(1)的出口侧端部,具有比流体通道更小的通道横截面面积,具有恒定压力的出口环境,并且具有预定长度。 压力传感器设置在流体通道(1)的出口附近,并且在流量测量管道部分的上游侧检测液体的压力。 压力检测/控制部(4)基于由压力传感器检测到的流体压力来计算流量。

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