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公开(公告)号:WO2006059377A1
公开(公告)日:2006-06-08
申请号:PCT/JP2004/017810
申请日:2004-11-30
Applicant: スパンション エルエルシー , Spansion Japan株式会社 , 高原美香 , 東亨 , 豊田重大
IPC: H01L21/027 , G03F7/20 , G03F1/08
CPC classification number: G03F7/70641 , G03F1/44
Abstract: 本発明は、ウェハと、該ウェハ上に形成されたフォーカスモニタリングパターンとを有し、該フォーカスモニタリングパターンは、少なくとも1対の第1及び第2のパターンを有し、該第1のパターンは露光領域で囲まれた非露光領域を有し、前記第2のパターンは非露光領域で囲まれた露光領域を有する半導体装置である。また、本発明は、露光領域で囲まれた非露光領域を有する第1のパターンと、非露光領域で囲まれた露光領域を有する第2のパターンとの対を少なくとも1つ有するフォーカスモニタリングパターンをウェハ上に形成するステップと、前記形成された第1及び第2のパターンの夫々の幅を計測することで、露光のフォーカス状態をチェックするステップとを有する半導体装置の製造方法である。
Abstract translation: 半导体器件设置有晶片和形成在晶片上的聚焦监视图案。 焦点监视图案具有至少一对第一图案和第二图案,并且第一图案具有被曝光区域包围的非曝光区域,并且第二图案具有被非曝光区域包围的曝光区域。 一种半导体器件的制造方法,具备形成焦点监视图案的步骤,该图案具有至少一对第一图案,该第一图案具有被曝光区域包围的非曝光区域,并且具有曝光区域的第二图案被包围 通过非曝光区域和通过测量形成的第一和第二图案的每个宽度来检查曝光聚焦状态的步骤。
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公开(公告)号:WO2009133676A1
公开(公告)日:2009-11-05
申请号:PCT/JP2009/001874
申请日:2009-04-23
Applicant: パナソニック株式会社 , 八木裕司 , 清水正則 , 東亨 , 小林由季
IPC: A61N5/06
CPC classification number: H01J61/44 , A61N5/0618 , A61N2005/0642 , A61N2005/0654 , A61N2005/0662
Abstract: 相関色温度が10000[K]を超え17000[K]未満、Duvが-2.5から5の範囲にある光色を有する蛍光ランプ100であり、ランプ発光管10と蛍光体層20とを備え、蛍光体層20は、少なくとも、605~625[nm]に主たる発光ピーク(11)を発する発光中心となる赤発光希土類蛍光体と、540~550[nm]に主たる発光ピーク(12)を発する発光中心となる緑発光希土類蛍光体と、440~460[nm]に主たる発光ピーク(13)を発する発光中心となる青発光希土類蛍光体とを含み、単位光束あたりのメラトニン抑制の作用関数効率が1.0を超え、かつ、平均演色評価数Raが80以上である構成によって、メラトニン分泌を抑制して生体リズムの調整や生体の覚醒を促す作用効果を得ることができる蛍光ランプでありながら、光源の演色特性上の弱点を改善する。
Abstract translation: 公开了一种荧光灯(100),其具有相关色温大于10,000 [K]且小于17,000 [K]的光,Duv在-2.5至5的范围内。荧光灯(100)包括 灯电弧管(10)和荧光体层(20)。 荧光体层(20)至少包括作为发光中心的红色发光稀土荧光体,该发光中心具有在605〜625 [nm]以内的主发光峰(11),绿色发光稀土荧光体,其作为 具有540〜550 [nm]以内的主发光峰(12)的发光中心和作为主发光峰(13)在440〜460 [nm]内的发光中心的蓝色发光稀土荧光体。 荧光灯具有对于大于1.0的单位光通量的褪黑激素抑制的作用功能效率,并且平均显色指数Ra不小于80.根据上述结构,荧光灯能够实现调节功能和效果 生物节律,促进生命体的清醒,同时抑制褪黑素分泌,并且还改善了光源的显色特性的缺陷。
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公开(公告)号:WO2006106641A1
公开(公告)日:2006-10-12
申请号:PCT/JP2006/306208
申请日:2006-03-28
Applicant: 松下電器産業株式会社 , 真鍋由雄 , 東亨 , 濱政明 , 近藤栄司
CPC classification number: H01J9/50 , H01J9/52 , H01J61/72 , Y02W30/828
Abstract: 本発明の蛍光体の再生方法は、蛍光ランプの蛍光膜の形成に用いた蛍光体を含有する液及び前記蛍光体を含む固化物から選ばれる少なくとも一つを回収する工程と、前記回収した蛍光体を含有する液及び/又は前記蛍光体を含む固化物に水を加えて蛍光体液を調製する工程と、前記蛍光体液に酸を加えて、pHを4以上6以下に調整する工程と、前記pHを調整した蛍光体液に酸化剤を加える工程とを含む。また、本発明の蛍光ランプは、上記本発明の蛍光体の再生方法で再生した蛍光体を用いる。
Abstract translation: 一种再生荧光材料的方法,包括回收选自含有荧光灯荧光膜形成荧光材料的流体和含有荧光体的固化材料的流体中的至少一种的步骤, 涉及包含荧光材料的回收液和/或含有荧光材料的固化材料,制备含荧光材料的流体,向含荧光材料的流体添加酸,将其pH调节至4至6的步骤, 以及向具有调节pH的荧光材料流体添加氧化剂的步骤; 以及荧光灯,其使用荧光材料或通过使用上述方法再生荧光材料再生的荧光灯。
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