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公开(公告)号：WO2005093721A1
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：PCT/JP2005/005648
申请日：2005-03-22
Inventor： 勝村 昌広
IPC: G11B5/84
CPC classification number: G03F7/201 , B82Y10/00 , G03F1/42 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/855 , G11B5/865
Abstract: 所定の回転角度毎に、ディスクの位置情報を与えるための凹凸状のサーボパターンを有するサーボゾーンと、データを記録するための凹凸形状のパターンを有するデータゾーンとが形成された磁気ディスク基板作製用転写型。また、所定の回転角度毎に、ディスクの位置情報を与えるためのサーボパターンを有するサーボゾーンと、データを記録するためのパターンを有するデータゾーンとが形成された露光マスク。
Abstract translation: 用于制造磁盘板的转移模具设置有具有坚固的伺服图案的伺服区，用于通过规定的旋转角度提供盘位置信息，以及具有用于记录数据的坚固图案的数据区。 曝光掩模设置有用于通过规定的旋转角度提供盘位置信息的伺服区，以及具有用于记录数据的图案的数据区。
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公开(公告)号：WO2007111215A1
公开(公告)日：2007-10-04
申请号：PCT/JP2007/055846
申请日：2007-03-22
Inventor： 勝村 昌広
IPC: B29C33/38 , B29C59/02 , B81C5/00 , G11B7/26 , H01L21/027
CPC classification number: B29C59/022 , B29C33/38 , B29C33/42 , B29C2791/006 , B81C99/009 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/855 , H01L21/0273
Abstract: 本発明に係るモールドは、ベース部とベース部の主面上に突設されたパターン部とからなるモールドであって、ベース部とパターン部とが互いに異なる材質から構成されている。これにより、パターン転写の際の押圧力に対抗し得る剛性を備えたモールドが提供される。
Abstract translation: 公开了由基部和从基部的主表面突出的图案部分构成的模具。 在该模具中，基部和图案部分由彼此不同的材料制成。 因此，模具具有足以抵抗图案转印期间施加到其上的压力的刚性。
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公开(公告)号：WO2005093737A1
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：PCT/JP2005/005646
申请日：2005-03-22
Inventor： 勝村 昌広
IPC: G11B7/26
CPC classification number: G11B7/263
Abstract: 微細な凹凸形状パターンを精度良く転写するためのパターン転写装置及びそのパターン転写方法を提供する。転写型の凹凸形状パターンを対向する被転写物の表面に転写するパターン転写装置である。被転写物が形成された基板を固定するベース部材と、被転写物に近接する方向に移動自在であって、凹凸形状パターンが被転写物に対向するように転写型を保持する保持部材と、保持部材をベース部材に近接する方向に移動させる移動部材を含む移動手段と、転写型と被転写物との距離を測定して計測値を出力する計測アセンブリと、計測値に応じて移動部材の移動量を制御する制御手段と、を含むことを特徴とする。
Abstract translation: 一种用于精确传递精细凹凸图案的图案转印装置及其图案转印方法。 图案转印装置将转印模具的粗糙图案转印到要转印图案的相对物体的表面。 图案转印装置包括：用于固定板的基件，形成有待转印图案的物体;保持构件，其能够在靠近物体的方向上自由移动并保持转印模具，以便 具有与物体相对的凹凸图案，移动装置，其包括用于使保持构件沿接近基部构件的方向移动的移动构件;测量组件，其测量转印模具和物体之间的距离， 以及控制装置，用于响应于测量值来控制移动部件的移动量。
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公开(公告)号：WO2010086986A1
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/JP2009/051489
申请日：2009-01-29
CPC classification number: G11B5/855 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F7/0017 , Y10S425/81 , Y10S977/887
Abstract: モールドの外周領域の一部には、転写装置において被転写体への転写のために把持される被把持部が形成され、当該被把持部は外周領域の他部とは異なる形状である。モールドセットの２つのモールドの各々は、外周領域の一部には、転写装置において被転写体への転写のために把持される被把持部が形成され、当該被把持部は外周領域の他部とは異なる形状であり、被把持部が２つのモールド各々で互い異なる角度位置に形成される。
Abstract translation: 在模具的外周区域的一部分上，保持部形成为保持转印到在转印装置中要进行转印的主体，并且保持部具有与其他形状不同的形状 外周区域的部分。 模具组的两个模具中的每一个在外周区域的一部分上具有待保持用于传送到在传送装置中进行传送的主体的保持部。 保持部具有与外周区域上的其他部分的形状不同的形状，并且保持部在两个模具上形成在不同的角位置。
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公开(公告)号：WO2008053547A1
公开(公告)日：2008-05-08
申请号：PCT/JP2006/321850
申请日：2006-11-01
Abstract: 本発明のパターン転写用スタンパ１は、データ領域８１と、このデータ領域８１に周方向に隣接するサーボ領域８２と、を有するディスク状磁気記録媒体Ｄを製造するためのベースとなる部材の変形可能な表面に対して、所定の凹凸パターンを転写するためのものである。パターン転写用スタンパ１は、ディスク状磁気記録媒体Ｄのデータ領域８１に対応するガードバンドパターン部１１と、ディスク状磁気記録媒体Ｄのサーボ領域８２に対応するサーボパターン部１２と、を備えている。ガードバンドパターン部１１とサーボパターン部１２とが隣接または近接する部分には、径方向に延びる凹部１３が形成されている。
Abstract translation: 提供图案转印模具（1），用于将规定的凹凸图案转印到作为用于制造盘状磁记录介质（D）的基底的构件的可变形表面上。 盘状磁记录介质在圆周方向上设置有与数据区域（81）相邻的数据区域（81）和伺服区域（82）。 传送压模（1）的图案设置有对应于盘状磁记录介质（D）的数据区域（81）的保护带图案部分（11）和对应于 盘状磁记录介质（D）的伺服区域（82）。 在保护带图形部分（11）和伺服图案部分（12）相邻或相邻的部分处，形成沿直径方向延伸的凹进部分（13）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2007119475A1
公开(公告)日：2007-10-25
申请号：PCT/JP2007/055847
申请日：2007-03-22
Inventor： 勝村 昌広
IPC: G11B7/26 , G03F9/00 , G11B7/0045 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC classification number: H01J37/3045 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G11B5/743 , G11B5/82 , G11B5/84 , G11B5/855 , G11B5/865 , G11B7/261 , G11B9/10 , H01J37/3174 , H01J2237/3045
Abstract: ディスク原盤を回転せしめるターンテーブルと、ターンテーブルを少なくとも一方向に水平移動せしめる移動手段と、ターンテーブルに向けて電子ビームを照射してターンテーブル若しくはディスク原盤上にビームスポットを形成するビーム照射手段と、ビームを偏向せしめるビーム偏向手段と、移動手段、ビーム照射手段及びビーム偏向手段を制御する制御手段と、を有するディスク原盤露光装置であって、制御手段は、起動時において移動手段及びビーム偏向手段の少なくとも一方を駆動してビームスポットの原点をターンテーブルの回転中心に一致させるための初期動作をなす初期化手段を含んでいる。これにより、記録用ビームの照射位置の原点とターンテーブルの回転中心とのずれを簡易に調整する装置及び方法が提供される。
Abstract translation: 光盘主曝光装置包括用于转动光盘主机的转台，用于沿至少一个方向水平移动转盘的移动装置，用于向转盘辐射电子束以在转台上形成光束点的光束照射装置， 光盘主体，用于偏转光束的光束偏转装置，以及用于控制移动装置，光束照射装置和光束偏转装置的控制装置。 控制装置包括初始化装置，其通过在启动时驱动移动装置和光束偏转装置中的至少一个来执行用于使光点的原点与转台的旋转中心相匹配的初始操作。 因此，提供了用于容易地调节记录光束照射位置的原点与转盘旋转中心之间的间隙的装置和方法。
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公开(公告)号：WO2005114332A1
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：PCT/JP2005/009489
申请日：2005-05-18
Inventor： 勝村 昌広
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2061 , G11B7/263 , H01L21/0277
Abstract: レジスト膜への後方散乱電子の度合いを低減し、潜像描画の分解能を改善できる電子ビーム記録基板を提供する。電子ビームで情報記録が行われるレジスト膜を担持する電子ビーム記録基板において、レジスト膜側からの電子ビームの照射により内部に進行する電子の平均自由行程が所定値より大である材料からなる表層領域を有する。
Abstract translation: 一种电子束记录板，其可以减小后向散射电子的后向散射度并提高潜像绘图的分辨率。 保持由电子束进行信息记录的抗蚀剂膜的电子束记录板设置有表面层区域，该表面层区域由具有较大的电子平均自由程的材料构成，该电子通过电子束照射从抗蚀剂进入内部 电影方面，超过规定值。
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公开(公告)号：WO2005093722A1
公开(公告)日：2005-10-06
申请号：PCT/JP2005/005650
申请日：2005-03-22
Inventor： 勝村 昌広
IPC: G11B5/84
CPC classification number: G11B5/59655 , B82Y10/00 , G11B5/743 , G11B5/855
Abstract: 回転駆動部による原盤の回転角度、移動駆動部による移動位置及び所定のパターンを示す記録データに応じて電子ビーム照射部によるレジスト層の表面上の照射位置を制御して所定のパターンに対応した潜像をレジスト層に形成させる制御手段を備え、制御手段による照射位置制御に応じてトラックを横切る方向にかつ複数のトラックを跨ぐように電子ビームを照射させるビーム調整手段を有する電子ビーム記録装置及び方法。
Abstract translation: 电子束记录装置和方法具有控制装置和光束调节装置。 控制装置在抗蚀剂层上形成对应于预定图案的潜像。 为了形成图像，控制装置控制电子束照射部照射电子束的位置，该位置在抗蚀剂层的表面上，并且根据原盘的旋转角度被控制 旋转驱动部，移动驱动部的移动位置，以及表示规定图案的记录数据。 光束调节装置根据控制装置的照射位置控制使电子束照射，其中电子束沿着穿过轨迹的方向照射，并且跨越轨迹。
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公开(公告)号：WO2005090043A1
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：PCT/JP2005/005055
申请日：2005-03-15
Inventor： 勝村 昌広
IPC: B29C39/02
CPC classification number: G02B6/13 , G11B5/8404
Abstract: 凹凸パターンを形成する方法およびこれを用いた凹凸パターン形成装置を提供する。本発明の凹凸パターン形成方法は、基板と凹凸パターンを主面に有する原盤とを用意する工程と、該原盤の該主面に該基板に対する接着力が該原盤に対する接着力よりも大である材料からなる構造層を形成する工程と、を含む。該構造層を形成した後、該原盤の主面と該基板の主面とを密着せしめる密着工程と、該基板から該原盤を分離する分離工程と、を行う。
Abstract translation: 一种用于形成凹凸投影图案的方法和装置。 该方法包括用于制备在其主平面上具有凹凸图案的基板和母盘的步骤，以及在主盘的主平面上形成由具有粘合力的材料形成的结构层的步骤 到大于母盘的基板。 在形成结构层之后，执行用于将母盘的主平面紧密地配合到基板的主平面的紧密配合步骤和用于将母盘与基板分离的分离步骤。
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公开(公告)号：WO2004095445A1
公开(公告)日：2004-11-04
申请号：PCT/JP2004/005015
申请日：2004-04-07
IPC: G11B7/26
CPC classification number: B29C33/3857 , B29C45/2632 , B29L2017/005 , G11B7/263
Abstract: 樹脂材料を用いて射出成形する際に用いられるスタンパ、およびその製造方法であって、樹脂材料と接触するスタンパの表面に、Ni合金、Ag合金、またはCu合金の何れか一の合金からなる耐腐食性膜を形成することにより、樹脂材料と接触する部分が腐食しない、耐久性に優れたスタンパが提供される。また、スタンパ製造用型の表面に上記耐腐食性膜を形成し、その上にスタンパを形成して、当該スタンパと耐腐食性膜とを一体で剥離する方法が提供される。
Abstract translation: 一种用于使用树脂材料的注射成型的压模，其特征在于，其具有包含在与所述树脂材料接触的表面上形成的一种选自镍合金，银合金和铜合金的合金的耐腐蚀膜; 以及一种制造压模的方法，包括首先在模具的表面上形成用于制备压模的上述耐腐蚀膜，然后在膜上形成所述压模，并以整体形式释放所述压模和耐腐蚀膜 从模具。 压模具有优异的耐久性，因为它具有与耐腐蚀性的树脂材料接触的部分。
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