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公开(公告)号:WO2007032302A1
公开(公告)日:2007-03-22
申请号:PCT/JP2006/317965
申请日:2006-09-11
CPC classification number: C23C14/081 , C03C17/245 , C03C2217/228 , C03C2218/152 , C23C14/0021 , C23C14/544 , C23C16/403 , C23C16/52 , C23C16/545 , H01J9/02 , H01J2211/40
Abstract: 蒸着室(201)において前面ガラス基板(11)上に酸化マグネシウムの保護膜を形成する保護膜形成装置であって、酸素を蒸着室(201)へ導入する酸素吐出口(222)と、前面ガラス基板(11)搬送方向の下流から水蒸気を蒸着室(201)へ導入する水蒸気吐出口(210)と、蒸着室(201)内の水素イオン強度と酸素イオン強度とを測定する質量分析器(224)と、質量分析器(224)により測定されたイオン強度によって水蒸気の導入流量を制御するマスフローコントローラ(215)と酸素の導入流量を制御するマスフローコントローラ(221)とを備えている。
Abstract translation: 公开了一种用于在沉积室(201)中的前玻璃基板(11)上形成氧化镁保护膜的保护膜形成装置。 该保护膜形成装置包括用于将氧气引入沉积室(201)的氧气排出口(222),用于将水蒸汽从下游侧引入淀积室(201)的水蒸气排出口(210) 前置玻璃基板(11)的传送方向,用于测量沉积室(201)中的氢离子强度和氧离子强度的质量分析器(224),用于控制水的引入速率的质量流量控制器(215) 基于由质量分析器(224)测量的离子强度的蒸汽和用于根据由质量分析器(224)测量的离子强度来控制氧气引入速率的质量流量控制器(221)。
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公开(公告)号:WO2004079769A1
公开(公告)日:2004-09-16
申请号:PCT/JP2004/002597
申请日:2004-03-03
IPC: H01J11/02
Abstract: 放電遅れ時間を短くして電圧印加に対する放電発生の優れた応答性を有すると同時に、その放電遅れ時間の温度に対する変化を抑制したプラズマディスプレイパネルである。前面基板(4)上に形成した走査電極(5)および維持電極(6)を覆うように誘電体層(9)を形成し、その誘電体層(9)上に保護層(10)を形成したプラズマディスプレイパネルであって、保護層(10)は炭素および珪素を含む。さらに、保護層(10)は、原子数が5×10 18 個/cm 3 ~2×10 21 個/cm 3 の珪素と、原子数が1×10 18 個/cm 3 ~2×10 21 個/cm 3 の炭素とを含む酸化マグネシウムである。
Abstract translation: 一种等离子体显示面板,由于放电时间滞后的缩短以及随着温度的放电时间延迟的变化较小,具有通过电压施加产生放电的良好响应。 扫描电极(5)和维持电极(6)设置在前基板(4)上,形成覆盖扫描电极(5)和维持电极(6)的电介质层(9)。 在电介质层(9)上形成保护层(10)。 保护层(10)含有碳和硅。 保护层(10)包括以5×10 18至2×10 21原子/ cm 3的密度加入硅的氧化镁,并以1×10 18至2×10 21的密度加入碳, 原子/ cm <3>。
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公开(公告)号:WO2005029530A1
公开(公告)日:2005-03-31
申请号:PCT/JP2004/014022
申请日:2004-09-17
Applicant: 松下電器産業株式会社 , 長谷川 和之 , 溝上 要 , 大江 良尚 , 青木 正樹
IPC: H01J11/02
Abstract: プラズマディスプレイパネルは、間に放電空間を形成するように対向配置した第1の基板および第2の基板と、第1の基板上に設けられた走査電極および維持電極と、走査電極および維持電極を覆う誘電体層と、誘電体層上に設けられた保護壮途を備える。保護層は、MgOと、Si、Ge、C、Snのうちの少なくとも一つの元素と、周期表の4属、5属、6属、7属の元素のうちの少なくとも一つの元素とを含む。このプラズマディスプレイパネルは駆動電圧等の放電特性が安定であり、したがって画像を安定して表示する。
Abstract translation: 等离子体显示面板包括彼此相对的第一和第二基板,以在它们之间限定放电空间,扫描电极和维持电极均设置在第一基板上,覆盖扫描和维持电极的电介质层和保护电极 层形成在电介质层上。 保护层含有MgO,Si,Ge,C和Sn中的至少一种元素,以及元素周期表的IV,V,VI和VII族的至少一种元素。 诸如等离子体显示面板的驱动电压的放电特性是稳定的,因此等离子体显示面板稳定地显示图像。
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公开(公告)号:WO2004102605A1
公开(公告)日:2004-11-25
申请号:PCT/JP2004/006876
申请日:2004-05-14
IPC: H01J11/02
Abstract: 前面基板(4)上に形成した走査電極(5)および維持電極(6)を覆うように誘電体層(9)を形成し、その誘電体層(9)上に保護層(10)を形成したプラズマディスプレイパネルであって、保護層(10)は珪素および窒素を含む。さらに、保護層(10)は、原子数が5×10 18 個/cm 3 ~2×10 21 個/cm 3 の珪素と、原子数が1×10 18 個/cm 3 ~8×10 21 個/cm 3 の窒素とを含む酸化マグネシウムである。このような構成により、放電遅れ時間が短く電圧印加に対する放電発生の優れた応答性を有するとともに、その放電遅れ時間の温度に対する変化を抑制するプラズマディスプレイパネルを提供する。
Abstract translation: 一种等离子体显示面板,包括形成为覆盖形成在前基板(4)上的扫描电极(5)和维持电极(6)的电介质层(9)和形成在电介质上的保护层(10) 公开了其中保护层(10)含有硅和氮的层(9)。 保护层(10)由含有5×10 18原子/ cm 3至2×10 21原子/ cm 3浓度的硅的氧化镁组成,浓度为1× 10 18原子/ cm 3至8×10 21原子/ cm 3。 利用这种结构,等离子体显示面板具有短的放电延迟和对施加电压的优异的放电产生响应,并且能够抑制对温度变化的放电延迟的变化。
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公开(公告)号:WO2008047911A1
公开(公告)日:2008-04-24
申请号:PCT/JP2007/070453
申请日:2007-10-19
IPC: H01J11/02
Abstract: 本発明は、保護層における放電特性を改善することにより、高精細セル構造においても優れた画像表示性能を発揮することが可能なPDPとその製造方法を提供するものである。 具体的には、保護層8をMgO膜層81と、MgO結晶粒子群16からなるMgO結晶粒子層82で構成する。MgO結晶粒子群16は、MgO前駆体焼成による作製方法に基づき、CL測定における200nm以上300nm未満の波長領域のスペクトル積分値をa、300nm以上550nm未満の波長領域のスペクトル積分値をbとするとき、比率a/bが1以上である特性を持つように作製する。
Abstract translation: 公开了具有改善的放电特性的保护层的PDP,因此即使PDP具有高分辨率的单元结构,也能够显示出优异的图像显示性能。 还公开了一种用于制造PDP的方法。 具体地,保护层(8)由MgO膜层(81)和包含MgO结晶粒子(16)的MgO结晶粒子层(82)构成。 按照a / b比为1以上的方式,按照MgO前驱体烧制的制造方法制备MgO结晶粒子(16),其中,“a”表示波长范围内的光谱积分值 小于200nm且小于300nm,并且在确定CL时,“b”表示在不小于300nm且小于550nm的波长范围内的光谱积分值。
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公开(公告)号:WO2007032303A1
公开(公告)日:2007-03-22
申请号:PCT/JP2006/317966
申请日:2006-09-11
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/081 , C23C14/54 , H01J9/02 , H01J11/12 , H01J11/40
Abstract: 成膜室(32)と、成膜室(32)に少なくともガスを導入するガス導入口(47)と、成膜室(32)を排気する排気ポンプ(43)と、排気ポンプ(43)と独立して水の排気速度を制御するクライオトラップと、クライオトラップの冷却温度を制御する温度制御部を備え、クライオトラップの冷却温度を制御して水の排気速度を制御することにより、水の分圧の影響を受けやすい保護膜を常に同一条件で安定して製造し、耐スパッタ性を有した2次電子放出特性に優れた保護膜を実現する。
Abstract translation: 公开了一种用于制造保护膜的设备,其包括成膜室(32),用于将至少一种气体引入成膜室(32)中的气体供给口(47),排气泵 成膜室(32),用于独立于排气泵(43)控制水的排气速率的低温回路,以及用于控制冷冻机的冷却温度的温度控制单元。 通过控制冷冻机的冷却温度控制水的排出速度,可以在相同的条件下稳定地产生可能受到水分压影响的保护膜。 因此,可以获得具有优异的二次电子发射特性的具有溅射电阻的保护膜。
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公开(公告)号:WO2005041240A1
公开(公告)日:2005-05-06
申请号:PCT/JP2004/014303
申请日:2004-09-22
IPC: H01J11/02
Abstract: プラズマディスプレイパネルは、間に放電空間を形成するように対向配置された第1の基板および第2の基板と、第1の基板上に設けられた走査電極と、第1の基板上に設けられた維持電極と、走査電極と維持電極とを覆う誘電体層と、誘電体層上に設けられた保護層とを備える。保護層は酸化マグネシウムと炭化マグネシウムとを含む。このプラズマディスプレイパネルは駆動電圧等の放電特性が安定であり、したがって画像を安定して表示する。
Abstract translation: 公开了一种等离子体显示面板,包括第一基板和第二基板,彼此相对布置以在它们之间形成放电空间,布置在第一基板上的扫描电极,布置在第一基板上的维持电极,覆盖 扫描电极和维持电极,以及形成在电介质层上的保护层。 保护层含有氧化镁和碳化镁。 该等离子体显示面板在诸如驱动电压的放电特性中稳定,从而稳定地显示图像。
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公开(公告)号:WO2005031783A1
公开(公告)日:2005-04-07
申请号:PCT/JP2004/014291
申请日:2004-09-22
IPC: H01J11/02
Abstract: プラズマディスプレイは、間に放電空間を形成するように対向配置された第1の基板および第2の基板と、第1の基板上に設けられた走査電極と、第1の基板上に設けられた維持電極と、走査電極と維持電極とを覆う誘電体層と、誘電体層上に設けられた保護層とを備える。保護層は酸化マグネシウムと炭化マグネシウムと珪素とを含む。このプラズマディスプレイパネルは駆動電圧等の放電特性が安定であり、したがって画像を安定して表示する。
Abstract translation: 公开了一种等离子体显示面板,其包括彼此相对布置以在它们之间形成放电空间的第一和第二基板,形成在第一基板上的扫描电极,形成在第一基板上的维持电极, 扫描电极和维持电极,以及形成在电介质层上的保护层。 保护层含有氧化镁,碳化镁和硅。 该等离子体显示面板在诸如驱动电压的放电特性中稳定,从而稳定地显示图像。
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