公开(公告)号：WO2003015116A1

公开(公告)日：2003-02-20

申请号：PCT/JP2002/008024

申请日：2002-08-06

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  河合 浩司

Inventor： 河合 浩司

IPC: H01J1/28

CPC classification number: H01J1/28 ,  H01J9/047

Abstract: A sintering type cathode (C1) has a shell−shaped cathode tip end portion (35) consisting of a conical peak portion (31) provided on one edge side facing an anode and a cylindrical base portion (33) provided on the other edge side. The cathode tip end portion (35) forms an electron radiation portion for emitting electrons. The cathode tip end portion (35) contains a particle−form high−melting−point metal (41), an aluminum layer (43) covering at least part of the surface of the high−melting−point metal (41), and a metal oxide (45) as an easily electron−emitting substance. This cathode tip end portion (35) is formed by mixing into the aluminum layer (43)−coated metal (41) a compound (metal carbonate) containing a metal serving as easily electron−emitting substance and changed into a metal oxide (45) on heat treating, and sintering the mixture.

Abstract translation: 烧结型阴极（C1）具有由设置在面向阳极的一个边缘侧的锥形峰部（31）和设置在另一边缘侧的圆筒状基部（33）构成的壳状阴极前端部（35） 。 阴极尖端部分（35）形成用于发射电子的电子辐射部分。 阴极前端部（35）包含粒状高熔点金属（41），覆盖高熔点金属（41）表面的至少一部分的铝层（43），以及 金属氧化物（45）作为容易的电子发射物质。 该阴极前端部（35）通过将包含金属作为容易发生电子发射物质并变成金属氧化物（45）的化合物（金属碳酸盐）混合到铝层（43）涂覆的金属（41）中而形成， 进行热处理，并烧结混合物。

公开(公告)号：WO2009060762A1

公开(公告)日：2009-05-14

申请号：PCT/JP2008/069553

申请日：2008-10-28

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  河合 浩司

Inventor： 河合 浩司

IPC: H01J37/06 ,  G21K1/00 ,  G21K5/04 ,  H01J1/15 ,  H01J1/16 ,  H01J9/04 ,  H01J35/06

CPC classification number: H01J1/14 ,  H01J1/15 ,  H01J9/04 ,  H01J37/065 ,  H01J2235/06 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/31

Abstract: 　本発明は、電子線照射装置、Ｘ線照射装置、電子顕微鏡等の線源として用いられる電子線源及びその製造方法に関する。 カソード（１５３）は、タングステンで形成された給電部材（１５８）と、タンタルで形成された線材である電子放出部材（１５９）と、を備えている。また、隣接する電子放出部材（１５９）の外周面が互いに接触するように、電子放出部材（１５９）が給電部材（１５８）に巻き回されている。また、タンタルを含む合金からなる線材を、タングステンを含む合金からなる基材に当該基材が覆われるように巻き回し、複合構造体を形成する。そして、複合構造体の線材に炭化処理を施すことで、基材を給電部材として形成すると共に線材を電子放出部材として形成する。

Abstract translation: 公开了电子束照射器，X射线照射器，用作电子显微镜的光束源的电子束源等，以及这种电子束源的制造方法。 阴极（153）具有由钨形成的供电部件（158）和作为由钽形成的线的电子发射部件（159）。 电子发射部件159围绕供电部件158缠绕，使得邻接的电子发射部件159的外周面彼此接触。 由含有钽的合金构成的线缠绕在由含有钨的合金构成的基材上，以覆盖基材，从而形成复合结构。 最后，在复合结构的导线上进行碳化，由此将基材形成为电源部件，并将电线形成为电子发射部件。

公开(公告)号：WO2008062668A1

公开(公告)日：2008-05-29

申请号：PCT/JP2007/071606

申请日：2007-11-07

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  河合 浩司 ,  松村 達也

Inventor： 河合 浩司 ,  松村 達也

IPC: G21K5/04 ,  G21K1/093 ,  G21K5/00

CPC classification number: G21K5/04

Abstract: 　電子線照射装置１では、電子銃１０から出射された電子線ＥＢは、電子線通過孔２を通過する際に集束コイル６ ２ によって集束され、偏向コイル７によってＹ軸方向に偏向されて、Ｙ軸方向に並んだ複数の電子線透過部材２１を有する電子線透過ユニット２０に照射される。ここで、Ｚ軸方向において、カソード１１の電子放出部の形状と、電子線透過部材２１の電子線透過部の形状とは、互いに略相似の関係にある。そのため、集束コイル６ ２ に対し、電子線透過部材２１に照射される電子線ＥＢの像が、Ｚ軸方向において電子線透過部の形状と略同一となるように、電子放出部から放出された電子線ＥＢを集束させることが容易となる。

Abstract translation: 在电子束照射装置（1）中，从电子束枪（10）发射的电子束（EB）在聚焦线圈（6）通过电子束通过孔（2）时被聚焦 2），并且通过偏转线圈（7）沿Y轴方向偏转，使得其照射具有多个电子束穿透构件（21）的电子束穿透单元（20） 沿Y轴方向排列。 这里，在Z轴方向上，阴极（11）的电子束发射部分的形状和电子束穿透部件（21）的电子束穿透部分的形状基本相同。 因此，从电子束发射部分发射的电子束（EB）可以聚焦在聚焦线圈（6 >2）上，使得电子束（EB）的图像照射到 电子束穿透构件（21）可以具有与Z轴方向上的电子束穿透部分的形状基本相同的形状。