公开(公告)号：WO2013170149A1

公开(公告)日：2013-11-14

申请号：PCT/US2013/040553

申请日：2013-05-10

申请人： THERMO SCIENTIFIC PORTABLE ANALYTICAL INSTRUMENTS INC.

发明人： CARUSO, David, J. ,  DINSMORE, Mark, T.

IPC分类号： H01J35/06

CPC分类号： H01J35/06 ,  H01J1/15 ,  H01J35/14 ,  H01J2235/06

摘要： An electrically heated planar cathode for use in miniature x-ray tubes may be spiral design laser cut from a thin tantalum alloy ribbon foil (116) with grain stabilizing features. Bare ribbon is mounted to an aluminum nitride substrate (110) in a manner that is puts the ribbon in minimal tension before it is machined into the spiral pattern (118). The spiral pattern can be optimized for electrical, thermal, and emission characteristics.

摘要翻译： 用于微型X射线管的电加热平面阴极可以是从具有晶粒稳定特征的薄钽合金带状箔（116）切割的螺旋设计激光。 裸带以将其加工成螺旋图案（118）之前将带状物放置在最小张力的方式安装到氮化铝基板（110）上。 螺旋图案可以针对电气，热和发射特性进行优化。

公开(公告)号：WO2006135093A1

公开(公告)日：2006-12-21

申请号：PCT/JP2006/312262

申请日：2006-06-19

申请人： 住友電気工業株式会社 ,  植田 暁彦 ,  山本 喜之 ,  西林 良樹 ,  今井 貴浩

发明人： 植田 暁彦 ,  山本 喜之 ,  西林 良樹 ,  今井 貴浩

IPC分类号： H01J1/15 ,  H01J37/06 ,  H01J37/305

CPC分类号： H01J1/15 ,  H01J1/14 ,  H01J37/06 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/06316

摘要： It is possible to provide an electron emission cathode, an electron emission source having a high-luminance and narrow energy width by using diamond and an electronic device using them. The diamond electron discharge cathode has a monocrystal diamond at least at a part of it. The diamond electron emission cathode includes a sharpened section and a heating section. The diamond electron emission cathode has a columnar shape having the sharpened section having an electron emission section and is formed by at least two types of semiconductor having different electric characteristics. One of the types constituting the semiconductor is an n-type semiconductor containing 2 × 10 15 cm -3 of n-type impurities or above and the other type is a p-type semiconductor containing 2 × 10 15 cm -3 of p-type impurities or above. The p-type semiconductor is in contact with the n-type semiconductor. A pair of current introduction terminals directly heats the heating section in parallel to the contact surface and emits a part of the introduced electrons from the electron emission section.

摘要翻译： 可以通过使用金刚石和使用它们的电子装置来提供电子发射阴极，具有高亮度和窄能量宽度的电子发射源。 金刚石电子放电阴极至少在其一部分具有单晶金刚石。 金刚石电子发射阴极包括锐化部分和加热部分。 金刚石电子发射阴极具有具有电子发射部分的锐化部分的柱状，并且由具有不同电特性的至少两种类型的半导体形成。 构成半导体的类型之一是包含n型杂质或以上的2×10 15 -3 -3的n型半导体，另一种类型是p- 其包含2×10 15 cm -3以上的p型杂质或更高的p型杂质。 p型半导体与n型半导体接触。 一对电流引入端子平行于接触表面直接加热加热部分并从电子发射部分发射一部分引入的电子。

公开(公告)号：WO2006135092A1

公开(公告)日：2006-12-21

申请号：PCT/JP2006/312261

申请日：2006-06-19

申请人： 住友電気工業株式会社 ,  西林 良樹 ,  植田 暁彦 ,  山本 喜之 ,  今井 貴浩

发明人： 西林 良樹 ,  植田 暁彦 ,  山本 喜之 ,  今井 貴浩

IPC分类号： H01J1/15 ,  H01J37/06 ,  H01J37/305

CPC分类号： H01J1/15 ,  H01J1/14 ,  H01J37/06 ,  H01J2237/06308 ,  H01J2237/06316

摘要： It is possible to provide an electron emission cathode, an electron emission source having a high-luminance and narrow energy width by using diamond and an electronic device using them. The diamond electron discharge cathode has a monocrystal diamond at least at a part of it. The diamond electron emission cathode has a columnar shape having a sharpened portion at a part of the electron emission section and is formed by at least two types of semiconductor having different electric characteristics. One of the types constituting the semiconductor is an n-type semiconductor containing 2 × 10 15 cm -3 of n-type impurities or above and the other type is a p-type semiconductor containing 2 × 10 15 cm -3 of p-type impurities or above. The p-type semiconductor is in contact with the n-type semiconductor and negative potential is applied to the n-type semiconductor with respect to the p-type semiconductor so that electrons flow from the n-type semiconductor to the p-type semiconductor by a pair of current introduction terminals, and the n-type semiconductor contains such a component that the electrons flow into the electron emission unit.

摘要翻译： 可以通过使用金刚石和使用它们的电子装置来提供电子发射阴极，具有高亮度和窄能量宽度的电子发射源。 金刚石电子放电阴极至少在其一部分具有单晶金刚石。 金刚石电子发射阴极具有在电子发射部分的一部分具有锐化部分的柱状，并且由具有不同电特性的至少两种类型的半导体形成。 构成半导体的类型之一是包含n型杂质或以上的2×10 15 -3 -3的n型半导体，另一种类型是p- 其包含2×10 15 cm -3以上的p型杂质或更高的p型杂质。 p型半导体与n型半导体接触，并且相对于p型半导体将n电位施加到n型半导体，使得电子从n型半导体流向p型半导体，由 一对电流引入端子，并且n型半导体包含电子流入电子发射单元的成分。

公开(公告)号：WO1981002364A1

公开(公告)日：1981-08-20

申请号：PCT/SU1980000215

申请日：1980-12-24

申请人： ALEKSANDROV V ,  IOFFE V ,  FILATOV O

IPC分类号： H01J01/15

CPC分类号： H01J1/15

摘要： In a direct heated grid cathode shaped as a one-piece hollow metallic cylinder the working surface has a form of intercrossing spiral-like filaments (3 and 4) with openings (5) between them, the thickness of each of the filaments (3 and4) increasing in steps in the direction from the edges to the centre of the cathode. A method of making the cathode comprises manufacturing an electrode-instrument out of a plate by means of electro-erosion cutting out slots on the butt-end of the plate and thus forming, therebetween, protrusions corresponding by their form to the openings (5) between the filaments (3 and 4) of the cathode and subsequent broaching with this electrode-instrument lengthwise rows of openings (5) in the hollow cylindrical workpiece which is turned after each operation at an angle equal to a double angular distance between the middle lines of the adjacent rows of the openings (5) in the cathode. The slots in the plate are cut in such a manner that after each operation of the electrode-instrument through the workpiece are formed full openings (5) of one lengthwise row, halves of the openings (5) of the two adjacent rows and the corresponding sections of the filaments (3 and 4) located therebetween.

摘要翻译： 在形成为一件式中空金属圆筒的直接加热栅格阴极中，工作表面具有交叉的螺旋状细丝（3和4）的形式，在它们之间具有开口（5），每个长丝（3和4）的厚度 ）在从阴极的边缘到中心的方向上逐步增加。 一种制造阴极的方法包括通过在板的对接端上的电蚀刻切割出槽，从而将电极器件从板制成，从而在其间形成与其形状相对应的开口（5）， 在阴极的细丝（3和4）之间，随后用这个电极 - 仪器纵向排列的中空圆柱形工件中的开口（5）的拉深，其在每次操作之后以等于中间线之间的双角距离的角度转动 的阴极中的开口（5）的相邻排。 板中的槽被切割成使得在通过工件的电极器件的每次操作形成一个纵向列的完整开口（5）之后，两个相邻行的开口（5）的一半和相应的 长丝（3和4）的位于它们之间的部分。

公开(公告)号：WO2015101538A4

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：PCT/EP2014078995

申请日：2014-12-22

申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP BV

发明人： DINU-GÜRTLER LAURA ,  HOGERVORST ERIC PETRUS

IPC分类号： H01J3/02 ,  H01J1/28 ,  H01J1/46 ,  H01J37/07

CPC分类号： H01J37/3174 ,  G03F7/70058 ,  H01J1/15 ,  H01J1/28 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J37/075 ,  H01J37/3177 ,  H01J2229/481 ,  H01J2237/061

摘要： The invention relates to a cathode arrangement (20) comprising: • - a thermionic cathode comprising an emission portion (30) provided with an emission surface for emitting electrons, and a reservoir (38) for holding a material, wherein the material, when heated, releases work function lowering particles that diffuse towards the emission portion and emanate at the emission surface at a first evaporation rate; • - a focusing electrode (40) comprising a focusing surface for focusing the electrons emitted from the emission surface of the cathode; and • - an adjustable heat source (50) configured for keeping the focusing surface at a temperature at which accumulation of work function lowering particles on the focusing surface is prevented.

摘要翻译： 本发明涉及一种阴极装置（20），包括： - 一个热离子阴极，包括一个设有发射电子的发射表面的发射部分（30）和一个用于保持材料的储存器（38），其中该材料在被加热时 释放功能降低颗粒，其朝向发射部分扩散并以第一蒸发速率发射在发射表面; •聚焦电极（40），包括用于聚焦从阴极的发射表面发射的电子的聚焦表面; 和 - 可调热源（50），其被配置用于将聚焦表面保持在降低聚焦表面上的颗粒的功函数累积的温度。

公开(公告)号：WO2009008254A1

公开(公告)日：2009-01-15

申请号：PCT/JP2008/061233

申请日：2008-06-19

申请人： 電気化学工業株式会社 ,  野々垣 良三 ,  照井 良典

发明人： 野々垣 良三 ,  照井 良典

IPC分类号： H01J37/073 ,  H01J1/304 ,  H01J37/065

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J1/15 ,  H01J37/06 ,  H01J37/065 ,  H01J37/073 ,  H01J2237/061 ,  H01J2237/06316

摘要： 外部から振動を受けても、信頼性の高い安定した電子線を与える電子源を提供する。 本願発明の電子源は、電子放射部を有する陰極（１）が、絶縁碍子（５）に設けられた２つの導電端子（４）のそれぞれに接続された２本のフィラメント（３）の先端で挟むように接合され、前記陰極の電子放射部とは異なる端部が絶縁碍子（５）に固定された電子源であって、前記２本のフィラメント（３）が陰極（１）の中心軸に対して２回対称である、好ましくは、陰極の電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子にろう付けされた金属部材（６）を介して絶縁碍子に固定される、さらに好ましくは、前記フィラメントに曲部を設けていることを特徴とするものである。

摘要翻译： 产生电子束的电子源即使在外部振荡时也是高度可靠和稳定的。 电子源包括阴极（1），其具有连接到两个细丝（3）的顶端之间的电子发射部分，阴极（1）分别连接到设置在绝缘玻璃部件（5）上的两个导电针（4） ，阴极（1）的与电子发射部分不同的端部固定到绝缘玻璃构件（5），其中两根灯丝（3）在阴极（1）的中心轴上具有两个对称的中心 ），并且优选地，与电子发射部分不同的阴极（1）的端部通过钎焊到绝缘玻璃构件的金属构件（6）固定到绝缘玻璃构件（5），更优选地，弯曲 部分被提供给长丝。

公开(公告)号：WO2006088934A3

公开(公告)日：2007-09-07

申请号：PCT/US2006005286

申请日：2006-02-15

申请人： ELMET TECHNOLOGIES INC ,  TREMBLAY BRUCE R ,  MCLOUGHLIN KEVIN L

发明人： TREMBLAY BRUCE R ,  MCLOUGHLIN KEVIN L

IPC分类号： H01J61/04 ,  H01J9/02

CPC分类号： H01J61/0672 ,  H01J1/15 ,  H01J9/04

摘要： A method of making cathodes (28) includes forming a first intermediate assembly (16) having a current wire (10) in juxtaposition with an outer mandrel wire (12) and a basket wire (14) wound around the first two wires (10 and 12). The first intermediate assembly (16) is wound around a central mandrel (18) to form a second intermediate assembly (20). Pulses of energy are used to produce an alloy solder joint (24) between the current wire (10) and the basket wire (14) at selected locations. The second intermediate assembly (20) is cut into segments, and the mandrels (18) are removed. This results in a cathode (28) having a coiled current wire (10) and a basket wire (14) wound around the current wire (10), with the basket wire (14) being bonded to the current wire (10) by the alloy solder joints (24). The cathode (28) includes a central bore (30) that is substantially free of the alloy solder joint (24).

摘要翻译： 一种制造阴极（28）的方法包括形成具有与外部心轴线（12）并置的电流线（10）的第一中间组件（16）和缠绕在所述前两根线（10和 12）。 第一中间组件（16）围绕中心心轴（18）缠绕以形成第二中间组件（20）。 能量的脉冲用于在选定位置在电流线（10）和筐线（14）之间产生合金焊点（24）。 将第二中间组件（20）切成段，并且去除心轴（18）。 这导致阴极（28）具有缠绕在电流线（10）上的线圈电流线（10）和筐线（14），筐线（14）通过所述线 合金焊点（24）。 阴极（28）包括基本上没有合金焊点（24）的中心孔（30）。

公开(公告)号：WO0233722A3

公开(公告)日：2002-07-18

申请号：PCT/EP0112282

申请日：2001-10-17

申请人： FEI CO

发明人： MAGERA GERALD G ,  SCHWIND GREGORY A ,  MCGINN JAMES B

IPC分类号： H01J9/02 ,  H01J1/15 ,  H01J1/304 ,  H01J37/073

CPC分类号： H01J37/073 ,  H01J1/15 ,  H01J1/304 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341

摘要： A low input power consumption, compact thermal field emitter is suitable for use in electron beam systems, particularly those systems that use an array of electron beams or a miniature electron beam system. The thermal field emitter design reduces heat loss by reducing heat transfer to the base. To achieve reduced loses the design incorporates the use of high electrical resistivity, low thermal conductivity materials for construction of the filament posts and the filaments. Such materials further reduce heat loss and reduce input current requirements. In one embodiment, the base includes counterbores that reduce the heat conduction path between the filament posts and the base, and moves the contact area further from the filament.

摘要翻译： 低输入功耗，紧凑型热场发射器适用于电子束系统，特别是那些使用电子束阵列或微型电子束系统的系统。 热场发射器设计通过减少向基座的热传递来减少热量损失。 为了实现减少损失，该设计结合使用高电阻率，低导热率材料来构建灯丝柱和灯丝。 这种材料进一步减少了热量损失并降低了输入电流的要求 在一个实施例中，基座包括沉孔，所述沉孔减小灯丝柱和基座之间的热传导路径，并且使接触区域进一步远离灯丝。

公开(公告)号：WO2015101538A1

公开(公告)日：2015-07-09

申请号：PCT/EP2014/078995

申请日：2014-12-22

申请人： MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.

发明人： DINU-GÜRTLER, Laura ,  HOGERVORST, Eric Petrus

IPC分类号： H01J3/02 ,  H01J1/28 ,  H01J1/46 ,  H01J37/07

CPC分类号： H01J37/3174 ,  G03F7/70058 ,  H01J1/15 ,  H01J1/28 ,  H01J3/027 ,  H01J3/029 ,  H01J37/075 ,  H01J37/3177 ,  H01J2229/481 ,  H01J2237/061

摘要： The invention relates to a cathode arrangement (20) comprising: • - a thermionic cathode comprising an emission portion (30) provided with an emission surface for emitting electrons, and a reservoir (38) for holding a material, wherein the material, when heated, releases work function lowering particles that diffuse towards the emission portion and emanate at the emission surface at a first evaporation rate; • - a focusing electrode (40) comprising a focusing surface for focusing the electrons emitted from the emission surface of the cathode; and • - an adjustable heat source (50) configured for keeping the focusing surface at a temperature at which accumulation of work function lowering particles on the focusing surface is prevented.

摘要翻译： 本发明涉及阴极布置（20），其包括：·热阴极，其包括设置有用于发射电子的发射表面的发射部分（30）和用于保持 材料，其中所述材料在被加热时释放朝向所述发射部分扩散并在所述发射表面以第一蒸发速率发散的功函数降低颗粒; - 聚焦电极（40），其包括用于聚焦从阴极的发射表面发射的电子的聚焦表面; 和 - 可调节热源（50），其被配置用于将聚焦表面保持在防止聚焦表面上的功函数下降颗粒的聚集的温度。

公开(公告)号：WO2011142054A1

公开(公告)日：2011-11-17

申请号：PCT/JP2010/071340

申请日：2010-11-30

申请人： 電気化学工業株式会社 ,  野々垣 良三 ,  森下 利幸

发明人： 野々垣　良三 ,  森下　利幸

IPC分类号： H01J1/304 ,  H01J1/15 ,  H01J37/06

CPC分类号： H01J1/15 ,  H01J1/304 ,  H01J37/06 ,  H01J2237/06316

摘要： 引出し電圧を大きくしなくても高角電流密度動作ができ、真空劣化を引き起こす余剰な電流を少ない電子源およびこれを用いた電子機器を提供することを目的とする。タングステンの単結晶からなる陰極と、陰極の中腹部に設けられた拡散源とを有する電子源であって、前記陰極が、前記陰極先端に形成された（１００）面と（１１０）面との境界近傍から放出される電子が前記陰極の軸と略平行に放出されるよう、前記陰極の軸方向と前記陰極の＜１００＞方位とのなす角度が調整されてなる電子源；タングステンの単結晶からなる陰極の先端に形成された（１００）面と（１１０）面との境界近傍から放出される電子が前記陰極の軸と略平行に放出されるよう、前記陰極の軸方向と陰極の＜１００＞方位とのなす角度が調整されてなる陰極と、陰極の中腹部に設けられた拡散源と、を有する電子源を備えることを特徴とする電子機器。

摘要翻译： 提供了即使在低提取电压下也允许高角度电流密度操作并且减少导致真空劣化的过电流的电子源。 以及使用该电子源的电子装置。 电子源具有由单晶钨组成的阴极和设置在阴极的中间部分的扩散源。 在阴极中，调节阴极的轴向和阴极的<100>取向之间的角度，使得从在（100）表面和（110）表面之间的边界附近发射的电子在 阴极基本上平行于阴极的轴线发射。 电子设备设有电子源。 电子源具有由单晶钨构成的阴极，其中阴极的轴向与阴极的<100>取向之间的角度被调整为使得从（100）表面之间的边界附近发射的电子 和形成在阴极顶端的（110）表面基本上平行于阴极的轴线发射; 以及设置在阴极的中间部分的扩散源。