公开(公告)号：WO2014104510A1

公开(公告)日：2014-07-03

申请号：PCT/KR2013/006291

申请日：2013-07-15

Applicant: 제일모직 주식회사

Inventor： 송현지 ,  박은수 ,  임상학 ,  곽택수 ,  김고은 ,  김미영 ,  김보선 ,  김봉환 ,  나융희 ,  배진희 ,  서진우 ,  윤희찬 ,  이한송 ,  전종대 ,  한권우 ,  홍승희 ,  황병규

IPC: C08G77/38 ,  C08G77/26 ,  C08L83/08 ,  H01B3/46

CPC classification number: C08G77/54 ,  C08G77/60 ,  C08G77/62 ,  C09D183/02 ,  C09D183/14 ,  C09D183/16 ,  H01B3/02 ,  H01B3/303 ,  H01B3/46 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02222 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/0229 ,  H01L21/02326

Abstract: 수소화 폴리실록사잔에 폴리실란, 폴리사이클로실란 및 실란 올리고머로 이루어진 군에서 선택되는 실란 화합물을 반응시켜 제조되는 개질 수소화 폴리실록사잔을 제공한다. 상기 개질 수소화 폴리실록사잔은, 실리콘 원자에 대한 질소 원자의 몰비가 작기 때문에 실리카계 절연층 형성용 조성물에 적용되어 실리카계 절연층 형성시 막 수축률을 현저히 감소시킬 수 있다.

Abstract translation: 提供了通过氢化聚硅氧氮烷与选自聚硅烷，聚环硅烷和硅烷低聚物的硅烷化合物反应制备的改性氢化聚硅氧氮烷。 改性氢化聚硅氧氮烷的配置使得氮原子与硅原子的摩尔比小，因此，可以将改性氢化聚硅氧氮烷用于形成二氧化硅系绝缘层的组合物，以显着降低膜收缩率 形成二氧化硅基绝缘层。