公开(公告)号：WO2012050378A2

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：PCT/KR2011/007630

申请日：2011-10-13

Applicant: 주식회사 고영테크놀러지 ,  이현기 ,  권달안 ,  전정열

Inventor： 이현기 ,  권달안 ,  전정열

IPC: G01N21/93 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01N21/93 ,  G01B11/24 ,  G01N21/956

Abstract: 본 발명은 측정대상물이 형성된 기판을 검사하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 측정대상물이 형성된 기판을 측정하여 기판에 대한 평면 방정식을 생성하고, 기판에 형성된 측정대상물의 영역을 구한다. 이후, 측정대상물의 영역을 측정대상물의 높이를 고려하여 평면 방정식에 의한 기판면으로 변환한다. 이후, 평면 방정식에 의한 기판면으로 변환된 측정대상물의 영역과 기준 데이터에 의한 측정대상물의 영역을 기초로 측정대상물을 검사한다. 이와 같이, 측정대상물이 형성된 기판의 기울어진 자세에 따른 측정대상물의 옵셋값을 구하고 이를 통해 측정데이터의 왜곡을 보상함으로써, 측정데이터의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于检查其上形成有待测物体的基板的方法，并且根据本发明，包括以下步骤：测量其上形成有被测量物体的基板以产生平面方程 为基材; 找到形成在基板上的被测量物体的面积; 考虑被测量物体的高度，使用平面方程将待测物体的面积转换为基板平面; 并根据被测量物体的面积，使用平面方程转换为基板平面，根据参考数据检查被测量物体的面积。 结果，从形成有被测量物体的基板的倾斜位置求出被测定物的偏移值，并利用该偏移值来补偿测量数据的失真，可提高测量对象的可靠性 待测物体的测量。

公开(公告)号：WO2012050375A2

公开(公告)日：2012-04-19

申请号：PCT/KR2011/007622

申请日：2011-10-13

Applicant: 주식회사 고영테크놀러지 ,  이현기 ,  권달안 ,  전정열

Inventor： 이현기 ,  권달안 ,  전정열

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/00

CPC classification number: G01C11/02 ,  G01B11/0608

Abstract: 본 발명은 측정대상물이 형성된 기판을 측정하는 측정장치 및 이의 보정방법에 관한 것으로, 본 발명의 보정방법에 따르면, 기준위상 측정을 위한 기판의 위상을 촬상부를 통해 측정하여 기준위상을 측정하고, 측정된 기준위상의 기준면이 촬상부의 이미지 평면에 대해 기울어진 자세를 획득한 후, 기울어진 자세를 기초로 촬상부에 대한 기준면의 보정이 필요한 높이를 산출한다. 이와 같이, 기준위상의 기울어진 자세를 기초로 높이 측정의 기준이 되는 기준면을 보정함으로써, 측정대상물의 측정 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

Abstract translation: 根据本发明的校正方法，通过图像拾取单元测量用于测量基准相位的基板的相位 并且，相对于成像单元的像平面获得测量的参考相位的参考平面的高度，并且然后需要基于倾斜方位计算参考平面相对于成像单元的高度。 因此，通过基于基准相位的倾斜姿势修正作为高度测定的基准的基准面，能够提高测定对象的测定可靠性。

公开(公告)号：WO2016093597A9

公开(公告)日：2016-06-16

申请号：PCT/KR2015/013397

申请日：2015-12-08

Applicant: 주식회사 고영테크놀러지

Inventor： 전계훈 ,  권달안

IPC: G01R31/04 ,  G01R31/28 ,  G06T7/00 ,  G01R31/306

Abstract: 기판 검사장치는 투영부, 조명부, 이미지 획득부 및 처리부를 포함한다. 투영부는 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 검사대상물에 조사한다. 조명부는 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 검사대상물에 조사한다. 이미지 획득부는 투영부로부터 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 조명부로부터 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득한다. 처리부는 획득된 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 이미지 획득부에서 획득된 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하고, 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다. 이에 따라, 검사의 정확성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.