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1.发明申请
公开(公告)号：WO2022212625A1
公开(公告)日：2022-10-06
申请号：PCT/US2022/022717
申请日：2022-03-31
Applicant: CORNING INCORPORATED
IPC: G01N21/90 , G01N21/93 , G06T2207/30208 , G06T7/11 , G06T7/80
Abstract: Durable calibration standards are described herein for inspection systems for manufactured vials, such as glass pharmaceutical vials, and methods of using the same. A grayscale calibration standard is provided for calibration of camera settings of imaging components in an inspection system. The grayscale calibration standard comprises a vial having a laser etched gradient image on a portion of the vial. A region of interest (ROI) calibration standard is provided for calibration of spatial difference of imaging components and to align imaging components in an inspection system to capture desired regions of interest. The ROI calibration standard comprises a vial comprising laser etchings on one or more portions of the vial, wherein the laser etchings comprise laser markings formed in a geometric pattern. By providing laser-marked calibration standards, the calibration standards may be used in many different modes of metrology.
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公开(公告)号：WO2022191510A1
公开(公告)日：2022-09-15
申请号：PCT/KR2022/003054
申请日：2022-03-03
Applicant: 주식회사 엘지에너지솔루션
Abstract: 본 명세서는, 전극 조립체의 제조 장치로서, 권심으로부터 제1 전극의 주행방향의 전단에 구비되어 제1 전극의 폭 방향의 일 단부 및 제1 분리막의 폭 방향의 일 단부 간의 제1 비중첩 폭을 측정하는 제1 머신 비전, 상기 권심으로부터 제2 전극의 주행방향의 전단에 구비되어 제2 전극의 폭 방향의 일 단부 및 제2 분리막의 폭 방향의 일 단부 간의 제2 비중첩 폭을 측정하는 제2 머신 비전; 상기 제1 머신 비전 및 상기 제2 머신 비전으로부터 수득한 비전 데이터를 수집하고, 상기 비전 데이터를 통해 상기 제1 분리막 및 상기 제2 분리막 간의 비중첩 폭을 0으로 설정하고, 상기 제1 전극의 폭 방향의 단부 및 상기 제2 전극의 폭 방향의 단부 간의 제3 비중첩 폭을 연산하며, 연산된 제3 비중첩 폭으로 사행 불량을 판정하는 제어부; 머신 러닝을 통해 불량 판정 데이터를 누적 및 가공하는 데이터 처리부; 및 상기 데이터 처리부에서 가공된 데이터를 근거로, 사행 기준값을 자동 입력하는 입력부를 포함하는 것인 전극 조립체의 제조 장치를 제공한다.
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公开(公告)号：WO2022190210A1
公开(公告)日：2022-09-15
申请号：PCT/JP2021/009316
申请日：2021-03-09
Applicant: 株式会社日立ハイテク
IPC: G01N21/93 , G01N21/956
Abstract: 欠陥検査装置（１００）は、照射光の偏光を第一の偏光とこれに直交する第二の偏光との間で切替え可能な偏光素子を有する照明光学系（３）と、照射光の特定の次数の回折光を試料ステージ面の法線方向に出射し、照射光の第一の偏光による特定の次数の回折効率が第二の偏光による特定の次数の回折効率の２０％以下であり、試料ステージ面上の照射光の集光位置に設置可能であり、異方性パターンの周期が照射光の波長の２倍以下である偏光回折格子（１０）と、照射光の照射位置から発する特定の次数の回折光を集光して光学像を形成する検出光学系（４－０）と、検出光学系（４－０）が形成する光学像を検出する試料面センサ（５ｂ）と、この試料面センサ（５ｂ）によって検出される光学像の強度分布の設定した領域内の強度が設定した範囲内になるように偏光素子を制御する制御装置（７１）と、を有する。
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4.发明申请
公开(公告)号：WO2021242655A1
公开(公告)日：2021-12-02
申请号：PCT/US2021/033806
申请日：2021-05-24
Applicant: KLA CORPORATION
Inventor： WU, Song , ZHAN, Tianrong , LEE, Lie-Quan
Abstract: Methods and systems for calibrating metrology tool offset values to match measurement results across a fleet of metrology tools are presented herein. The calibration of offset values is based on measurements of inline, production wafers and does not require the use of specially fabricated and characterized quality control (QC) wafers. In this manner, the entire process flow to calibrate metrology tool offset values is automated and fully integrated within a high volume semiconductor fabrication process flow. In a further aspect, the implementation of a new offset value is regulated by one or more predetermined control limit values. In another further aspect, the measured values of a parameter of interest are adjusted to compensate for the effects of measurement time on the wafer under measurement.
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5.发明申请
公开(公告)号：WO2019081460A1
公开(公告)日：2019-05-02
申请号：PCT/EP2018/078956
申请日：2018-10-23
Inventor： LIMBURG, Bernd , BERG, Max
Abstract: A method for evaluating the suitability of a mobile device (112) having at least one camera (122) for the purpose of performing an analytical measurement based on a color formation reaction is disclosed. The method comprises: a) providing the at least one mobile device (112) having the at least one camera (122); b)providing at least one object (114) having at least one reference color field (116); c) taking at least one image (123) of at least part of the reference color field (116) by using the camera (122); and d)deriving at least one item of color resolution information by using the image (123), wherein the at least one item of color resolution information comprises one or more numerical values, which quantify the capability of resolving two or more colors.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2019048577A1
公开(公告)日：2019-03-14
申请号：PCT/EP2018/074067
申请日：2018-09-06
Applicant: HEUFT SYSTEMTECHNIK GMBH
Inventor： HEUFT, Bernhard , POLSTER, Wolfgang , UNGER, Michael
Abstract: Die Erfindung betrifft eine Inspektion von Behältern auf Verunreinigungen, die eine Strahlungsquelle aufweist. Die Strahlungsquelle ist ausgebildet, Strahlung zu emittieren, die einen zu untersuchenden Behälter durchstrahlt. Die Vorrichtung weist ferner eine Detektionseinrichtung auf, welche ausgebildet ist die Strahlung zu detektieren, welche von der Strahlungsquelle emittiert wurde und den Behälter durchstrahlt hat. Die Vorrichtung weist auch eine Auswerteeinrichtung auf, die ausgebildet ist die von der Detektionseinrichtung detektierte Strahlung auszuwerten. Im optischen Weg zwischen der Strahlungsquelle und der Detektionseinrichtung ist ein Identifikationselement angeordnet, welches ein optisches Wasserzeichen aufweist.
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公开(公告)号：WO2018197297A1
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：PCT/EP2018/059895
申请日：2018-04-18
Applicant: KRONES AG
Inventor： KOLB, Herbert
CPC classification number: G01N21/93 , G01B11/2504 , G01C11/04 , G01N21/90 , G01N2021/8887 , G01N2021/8896 , G06T5/006 , G06T7/80 , G06T2207/30108 , G06T2207/30208
Abstract: Inspektionsverfahren und –vorrichtung zur bildverarbeitenden Inspektion von Behältern Inspektionsverfahren (100) zur bildverarbeitenden Inspektion von Behältern, wobei die Behälter mittels eines Transporteurs transportiert (133) und als Bilder mittels einer Kamera von einer Kameraposition her erfasst werden (134), und wobei die Bilder zur Ermittlung von Behälterinspektionsmerkmalen mittels einer Bildverarbeitungseinheit ausgewertet werden (135), dadurch gekennzeichnet, dass die Bilder mittels eines Kameramodells auf eine Normbildposition umgerechnet werden (132), um Justagefehler der Kamera nach einem Kamerawechsel (120) auszugleichen.
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公开(公告)号：WO2014170365A1
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：PCT/EP2014/057716
申请日：2014-04-16
Applicant: KRONES AG
Inventor： NIEDERMEIER, Anton
CPC classification number: G01N21/93 , B07C5/3408 , G01N21/90 , G01N21/9027
Abstract: Ein Testbehältnis (1) zum Überprüfen von Behältnis-Inspektionsmaschinen, welche Inspektionsmaschinen geeignet sind, wenigstens eine erste Gattung an Behältnissen auf das Vorhandensein von Fremdkörpern zu untersuchen, mit einem Grundkörper (2) in dem eine Flüssigkeit (4) angeordnet ist, mit einer Mündung (6), über welche die Flüssigkeit in das Behältnis einfüllbar ist, mit einem ersten Verschluss (12), mittels dem das Behältnis verschlossen ist, wobei in dem Behältnis (1) ein von der Inspektionsmaschine erfassbarer Fremdkörper (8) angeordnet ist. Erfindungsgemäß weist das Behältnis (1) und/oder die darin angeordnete Flüssigkeit ein Erkennungsmittel auf, welches von einem Benutzer oder und/oder einer Erkennungseinrichtung erfassbar ist, um so das Testbehältnis als sich von einem anderen zu inspizierenden Behältnis der Gattung zu unterscheiden.
Abstract translation: 检查用于检查容器检查机，其检查机能够至少一个第一类型的用于异物的存在容器中的，具有基体的测试容器（1）（2），其中，液体（4）被布置成与一个口 （6），通过该液体可以填充到容器中，从所述检查机异物可检测的（8）被布置成与第一开闭器（12），借助该容器被封闭，其中在所述容器（1）。 根据本发明的容器（1）和/或设置在其中的液体的检测装置，它被用户或和/或检测装置，通过另一个作为测试容器不同被检属的容器是可检测的。
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公开(公告)号：WO2014094039A1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：PCT/AU2013/001472
申请日：2013-12-17
Applicant: RMIT UNIVERSITY
Inventor： BANSAL, Vipul , KANDJANI, Ahmad, Esmaielzadeh , GRIFFIN, Matthew, John , RAMANATHAN, Rajesh
IPC: G01N21/93
CPC classification number: G01N21/274 , G01N21/65 , G01N2021/3595
Abstract: A background correction method for a spectrum of a target sample, the method including the steps of: (a) inputting the spectrum including a plurality of signal peaks attributable to spectral data, background and noise data; (b) estimating a signal-to- noise ratio (SNR) for the spectrum; (c) determining a position of each of the plurality of signal peaks by approximating a derivative of the spectrum using a wavelet transform (WT); (d) removing the plurality of signal peaks to identify the background; (e) subtracting the background from the spectrum to obtain a background corrected spectrum; and (f) outputting the background corrected spectrum as a target sample signal.
Abstract translation: 一种用于目标样本的频谱的背景校正方法，所述方法包括以下步骤：（a）输入包括归因于频谱数据，背景和噪声数据的多个信号峰值的频谱; （b）估计频谱的信噪比（SNR）; （c）通过使用小波变换（WT）逼近频谱的导数来确定多个信号峰值中的每一个的位置; （d）去除多个信号峰以识别背景; （e）从光谱中减去背景以获得背景校正光谱; 和（f）输出背景校正光谱作为目标采样信号。
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公开(公告)号：WO2013049090A1
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：PCT/US2012/057167
申请日：2012-09-26
Applicant: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
Inventor： WILHELM, Justin W.,
CPC classification number: G01N21/274 , B65H2557/61 , G01N21/89 , G01N21/93
Abstract: Systems and methods for calibrating a web inspection system using data from a calibrated point sensor, using a frequency spectra-based analysis.
Abstract translation: 使用基于频谱分析的来自校准点传感器的数据校准网络检查系统的系统和方法。
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