도넛형 코일을 이용한 하전입자 빔 단층촬영 장치 및 방법
    1.
    发明申请
    도넛형 코일을 이용한 하전입자 빔 단층촬영 장치 및 방법 审中-公开
    使用电磁线圈的带电粒子束的计算机图形的装置和方法

    公开(公告)号:WO2011030979A1

    公开(公告)日:2011-03-17

    申请号:PCT/KR2010/001172

    申请日:2010-02-25

    CPC classification number: G01N23/046 G01N2223/419

    Abstract: 하전입자 빔(charged particle beam)에 영향을 미치지 않는 복수의 도넛형 코일(toroidal coil)들을 이용하여, 상기 하전입자 빔이 측정대상물체에 의하여 감소되는 에너지를 결정하고, 상기 결정된 에너지를 이용하여 단층영상 및 3차원 영상을 재구성하는 하전입자 빔 촬영 장치 및 방법을 개시한다.

    Abstract translation: 公开了一种使用不影响带电粒子束的多个环形线圈来捕获带电粒子束的装置和方法,以确定来自测量对象的带电粒子束中的能量减少,并使用确定的能量 以重建断层图像和3D图像。

    CMP 패드 컨디셔너 및 상기 CMP 패드 컨디셔너 제조방법
    2.
    发明申请
    CMP 패드 컨디셔너 및 상기 CMP 패드 컨디셔너 제조방법 审中-公开
    CMP抛光调节器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2012157936A2

    公开(公告)日:2012-11-22

    申请号:PCT/KR2012/003788

    申请日:2012-05-15

    CPC classification number: B24B53/017 B24D18/00

    Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제작공정의 일부인 화학적 기계적 연마(CMP) 공정에서 사용되는 CMP 패드용 컨디셔너에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 슬러리 종류와 컨디셔너의 압력 변화에도 연마 패드의 마모량 변화가 크지 않은 절삭팁 구조를 갖는 CMP 패드 컨디셔너 및 그 제조방법에 관한 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及用作制造半导体器件的工艺的一部分的CMP工艺中使用的化学机械抛光(CMP)焊盘的调节器。 更具体地说,本发明涉及一种CMP垫调节器,即使当浆料的种类和调节器的压力变化时,切削刀片的结构也具有抛光垫的磨损的微不足道的变化。 本发明还涉及一种用于制造CMP垫调节剂的方法。

    연약패드용 컨디셔너 및 그 제조방법
    3.
    发明申请
    연약패드용 컨디셔너 및 그 제조방법 审中-公开
    用于脆性垫的调节器及其制造方法

    公开(公告)号:WO2012121548A2

    公开(公告)日:2012-09-13

    申请号:PCT/KR2012/001673

    申请日:2012-03-07

    CPC classification number: B24B53/017 B24D18/00

    Abstract: 본 발명은 반도체 소자 제작공정의 일부인 화학적 기계적 연마(CMP) 공정에서 사용되는 CMP 패드용 컨디셔너에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 연마입자 함량이 낮은 슬러리 및/또는 패드의 경도가 비교적 낮고 기공율이 매우 높은 다공질 패드를 사용하는 CMP 환경에서 사용할 수 있는 연약패드용 컨디셔너 및 그 제조방법에 관한 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于化学机械平面化(CMP)焊盘的调节器,其用于作为半导体元件制造工艺的一部分的CMP工艺中,更具体地,涉及一种用于脆性焊盘的调节器和方法 为了制造相同,可以使用具有低抛光颗粒含量的浆料的CMP环境中使用的调理剂和/或具有相对低的硬度和非常高的孔隙率的多孔垫。

    CMP 패드 컨디셔너
    4.
    发明申请
    CMP 패드 컨디셔너 审中-公开
    CMP垫调节器

    公开(公告)号:WO2013012226A2

    公开(公告)日:2013-01-24

    申请号:PCT/KR2012/005649

    申请日:2012-07-16

    Inventor: 이세광 이주한

    CPC classification number: B24B53/017 B24B53/12

    Abstract: 본 발명은 기판과, 상기 기판의 적어도 일면에 형성되는 절삭팁 패턴을 갖는 CMP 패드 컨디셔너에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 절삭팁 패턴의 구조를 개선하여 생산성이 향상 및 미세한 절삭팁 패턴의 강도와 안전성을 충분히 보장할 수 있는 구조의 절삭팁 패턴을 갖는 CMP 패드 컨디셔너에 관한 것이다.

    Abstract translation:

    本发明涉及一种具有段图案的CMP垫修整器将要形成的基底,在基底的至少一个表面上,并且更具体地通过改进分段模式的结构,提高生产率,并 本发明涉及一种具有能够充分确保精细切削刀片图案的强度和安全性的结构的切削刀片图案的CMP垫修整器。

    수명이 종료된 CMP 패드 컨디셔너 재활용방법 및 상기 재활용방법이 수행된 재활용 CMP 패드 컨디셔너
    5.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2012121563A2

    公开(公告)日:2012-09-13

    申请号:PCT/KR2012/001731

    申请日:2012-03-09

    CPC classification number: B24B53/017 B24B55/12

    Abstract: 본 발명은 CMP 패드 컨디셔너에 대한 것으로 보다 구체적으로는 CMP 패드 컨디셔너 중 기판 표면에 일정한 패턴 형태로 형성된 돌출부와 그 표면에 다이아몬드층이 코팅된 CMP 패드 컨디셔너는 다이아몬드층이 마모되면 수명이 종료되는데, 이처럼 수명이 종료된 CMP 패드 컨디셔너를 재활용함으로써 자원을 절약할 수 있는 수명이 종료된 CMP 패드 컨디셔너 재활용방법 및 상기 재활용방법이 수행된 재활용 CMP 패드 컨디셔너에 관한 것이다.

    Abstract translation: CMP垫调节剂技术领域本发明涉及一种CMP垫调节剂,更具体地说,涉及一种循环利用废CMP表面处理剂和CMP垫调节剂的再循环方法,该再循环方法用于通过回收废弃的CMP垫调节剂来节省资源, 涂布在具有突出图案的CMP垫调节基板的表面上的金刚石层被磨损。

    CMP 장치
    6.
    发明申请
    CMP 장치 审中-公开
    CMP设备

    公开(公告)号:WO2013183799A1

    公开(公告)日:2013-12-12

    申请号:PCT/KR2012/004502

    申请日:2012-06-07

    CPC classification number: B24B49/186 B24B37/005 B24B49/18 B24B53/017

    Abstract: 본 발명은 CMP 장치에 대한 것으로 보다 구체적으로는 컨디셔넝할 CMP 패드가 놓여진 정반과 일정 간격 이격되어 설치되는 스윙부, 스윙부와 수직한 방향으로 스윙부의 상단에 일단이 설치되어 스윙부를 기준으로 CMP 패드 상에서 회동하는 연결부, 연결부의 타단에 설치되어 회전하는 회전부, 회전부와 결합되어 회전하면서 CMP 패드를 컨디셔닝하는 CMP 패드 컨디셔너 및 연결부에 설치되며 진동을 감지하여 CMP 패드 컨디셔너의 진동가속도를 측정하는 진동가속도 측정부를 포함하여 측정된 진동가속도에 의해 CMP 패드의 마모량을 예측하고, CMP 컨디셔너가 설치된 상태 또는 구동되는 상태를 예측할 수 있는 CMP 장치에 관한 것이다.

    Abstract translation: CMP装置技术领域本发明涉及一种CMP装置,更具体地说,涉及一种CMP装置,其特征在于,包括:摆放部,其从放置有CMP垫的表面板以固定的间隔设置, 连接部,其一端相对于所述摆动部在垂直方向上设置在所述摆动部的上端,用于根据所述摆动部在所述CMP垫上旋转; 旋转部,设置在所述连接部的另一端,用于旋转; 耦合到所述旋转部分以在旋转时调节所述CMP垫的CMP垫调节器; 以及振动加速度测量部,其通过感测振动而设置在所述连接部上,用于测量所述CMP垫调节器的振动加速度,其中,通过所测量的振动加速度来预测所述CMP垫的磨损量,以及设置所述CMP调节器的状态 或者可以预测CMP调节器操作的状态。

    자동차용 회전식 에어벤트
    8.
    发明申请
    자동차용 회전식 에어벤트 审中-公开
    旋转汽车空调

    公开(公告)号:WO2012053824A2

    公开(公告)日:2012-04-26

    申请号:PCT/KR2011/007797

    申请日:2011-10-19

    CPC classification number: B60H1/3414 B60H2001/3471

    Abstract: 본 발명은 자동차용 회전식 에어벤트에 관한 것으로, 종래의 자동차용 에어벤트는 사용자가 풍향을 조절하면 그 방향으로만 바람이 향하는 방식이었고, 별도의 셔터(Shutter) 구조 및 윙(Wing)으로 바람을 차단하는 방식이었던 바, 원통형의 아우터 하우징의 내부에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되는 원통형의 인너 하우징과; 상기 인너 하우징의 전방에 회전 가능하게 접속되는 베젤과; 상기 베젤의 전면 중앙부에 설치되는 노브와; 상기 베젤의 내부 후방에 설치되고, 상기 베젤에 의해 회전되면서 송풍개도량 및 송풍방향을 조절하는 다수의 블레이드와; 상기 인너 하우징의 내부 후방에 마련된 가이드관의 전방에 설치되는 푸시푸시 구조의 래치와; 상기 아우터 하우징의 내부 후방에 고정 설치되고, 중앙에 상기 가이드관에 삽입되는 돌출보스가 마련되며, 돌출보스의 선단에 상기 래치와 접속되는 래치돌기가 마련되는 인너 하우징 조립체;를 구비하는 것 등을 특징으로 하는 본 발명의 자동차용 회전식 에어벤트에 의하면 덕트로부터 공급되는 바람을 통해 인너 하우징을 회전시킬 수 있게 되므로 승객에게 쾌적한 바람을 제공할 수 있게 되어 승객의 기분을 좋게 할 수 있게 됨은 물론 자동차의 상품성 향상에도 크게 기여할 수 있게 되는 등의 효과를 얻을 수 있게 된다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于汽车的旋转通风口,用于汽车的现有空气通道仅朝向用户通过单独的闸门结构和机翼调节和停止空气的方向引导空气,因此转动空气 用于本发明的汽车的通风口包括:圆筒形内壳,其安装在圆柱形外壳内部以便向前和向后移动; 可旋转地连接到所述内壳体的前部的边框; 安装在挡板前表面中间的旋钮; 多个叶片,其安装在所述挡板内部的后部,用于调节所述开口和所述方向以在由所述边框旋转的同时吹送空气; 安装在引导管的前部的推推式闩锁,其设置在内壳体的内部的后部; 并且固定地安装在外壳内的背面的内壳体组件在中间设置有插入导管中的突出凸台,并且在凸缘的前端设置有闩锁突起 突出的凸台用于连接闩锁。 根据本发明,内壳可以通过通过管道供应的空气旋转,从而使乘客能够提供新鲜空气,从而使乘客感到愉快,并且有效地促进了汽车的增加的可销售性。

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