Abstract:
하전입자 빔(charged particle beam)에 영향을 미치지 않는 복수의 도넛형 코일(toroidal coil)들을 이용하여, 상기 하전입자 빔이 측정대상물체에 의하여 감소되는 에너지를 결정하고, 상기 결정된 에너지를 이용하여 단층영상 및 3차원 영상을 재구성하는 하전입자 빔 촬영 장치 및 방법을 개시한다.
Abstract:
본 발명은 반도체 소자 제작공정의 일부인 화학적 기계적 연마(CMP) 공정에서 사용되는 CMP 패드용 컨디셔너에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 슬러리 종류와 컨디셔너의 압력 변화에도 연마 패드의 마모량 변화가 크지 않은 절삭팁 구조를 갖는 CMP 패드 컨디셔너 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 반도체 소자 제작공정의 일부인 화학적 기계적 연마(CMP) 공정에서 사용되는 CMP 패드용 컨디셔너에 대한 것으로, 보다 구체적으로는 연마입자 함량이 낮은 슬러리 및/또는 패드의 경도가 비교적 낮고 기공율이 매우 높은 다공질 패드를 사용하는 CMP 환경에서 사용할 수 있는 연약패드용 컨디셔너 및 그 제조방법에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 기판과, 상기 기판의 적어도 일면에 형성되는 절삭팁 패턴을 갖는 CMP 패드 컨디셔너에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 절삭팁 패턴의 구조를 개선하여 생산성이 향상 및 미세한 절삭팁 패턴의 강도와 안전성을 충분히 보장할 수 있는 구조의 절삭팁 패턴을 갖는 CMP 패드 컨디셔너에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 CMP 패드 컨디셔너에 대한 것으로 보다 구체적으로는 CMP 패드 컨디셔너 중 기판 표면에 일정한 패턴 형태로 형성된 돌출부와 그 표면에 다이아몬드층이 코팅된 CMP 패드 컨디셔너는 다이아몬드층이 마모되면 수명이 종료되는데, 이처럼 수명이 종료된 CMP 패드 컨디셔너를 재활용함으로써 자원을 절약할 수 있는 수명이 종료된 CMP 패드 컨디셔너 재활용방법 및 상기 재활용방법이 수행된 재활용 CMP 패드 컨디셔너에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 CMP 장치에 대한 것으로 보다 구체적으로는 컨디셔넝할 CMP 패드가 놓여진 정반과 일정 간격 이격되어 설치되는 스윙부, 스윙부와 수직한 방향으로 스윙부의 상단에 일단이 설치되어 스윙부를 기준으로 CMP 패드 상에서 회동하는 연결부, 연결부의 타단에 설치되어 회전하는 회전부, 회전부와 결합되어 회전하면서 CMP 패드를 컨디셔닝하는 CMP 패드 컨디셔너 및 연결부에 설치되며 진동을 감지하여 CMP 패드 컨디셔너의 진동가속도를 측정하는 진동가속도 측정부를 포함하여 측정된 진동가속도에 의해 CMP 패드의 마모량을 예측하고, CMP 컨디셔너가 설치된 상태 또는 구동되는 상태를 예측할 수 있는 CMP 장치에 관한 것이다.
Abstract:
본 발명은 혈관생성억제 활성을 가 지는 [화학식 I]의 화합물 또는 이의 약제학적으로 허용 가능한 염, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 약학적 조성물을 제공한다. 본 발명의 [화학식 I]의 화합물은 혈관생성억제 활성이 우수하여, 혈관생성억제 활성 이 상에 의해 유발된 질환의 예방 및 치료에 유용하게 사용될 수 있다.
Abstract:
본 발명은 자동차용 회전식 에어벤트에 관한 것으로, 종래의 자동차용 에어벤트는 사용자가 풍향을 조절하면 그 방향으로만 바람이 향하는 방식이었고, 별도의 셔터(Shutter) 구조 및 윙(Wing)으로 바람을 차단하는 방식이었던 바, 원통형의 아우터 하우징의 내부에 전후방향으로 이동 가능하게 설치되는 원통형의 인너 하우징과; 상기 인너 하우징의 전방에 회전 가능하게 접속되는 베젤과; 상기 베젤의 전면 중앙부에 설치되는 노브와; 상기 베젤의 내부 후방에 설치되고, 상기 베젤에 의해 회전되면서 송풍개도량 및 송풍방향을 조절하는 다수의 블레이드와; 상기 인너 하우징의 내부 후방에 마련된 가이드관의 전방에 설치되는 푸시푸시 구조의 래치와; 상기 아우터 하우징의 내부 후방에 고정 설치되고, 중앙에 상기 가이드관에 삽입되는 돌출보스가 마련되며, 돌출보스의 선단에 상기 래치와 접속되는 래치돌기가 마련되는 인너 하우징 조립체;를 구비하는 것 등을 특징으로 하는 본 발명의 자동차용 회전식 에어벤트에 의하면 덕트로부터 공급되는 바람을 통해 인너 하우징을 회전시킬 수 있게 되므로 승객에게 쾌적한 바람을 제공할 수 있게 되어 승객의 기분을 좋게 할 수 있게 됨은 물론 자동차의 상품성 향상에도 크게 기여할 수 있게 되는 등의 효과를 얻을 수 있게 된다.