公开(公告)号：WO2018060118A2

公开(公告)日：2018-04-05

申请号：PCT/EP2017/074183

申请日：2017-09-25

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： SCHINELLER, Bernd ,  TEO, Kenneth B. K. ,  RUPESINGHE, Nalin Lalith

IPC: H01M4/04 ,  H01M4/134 ,  H01M4/1395 ,  H01M4/38 ,  H01M4/62

Abstract: Die Erfindung betrifft eine als Elektrode (34, 35) für einen Lithium-Ionen-Akkumulator verwendbare Vorrichtung, mit einem elektrisch leitenden Träger (1), auf dessen Oberfläche Nano-Filamente (2) aufgebracht sind, die eine Ionen aufnehmende Belegung (5) aufweisen, wobei die Nano-Filamente (2) durch eine Lichtbeaufschlagung zu einer Vielzahl von jeweils eine Mehrzahl von Nano-Filamenten (2) aufweisenden Bündeln (3) zusammengeformt sind, und zwischen benachbarten Bündeln (3) ein Abstandsraum (6) ausgebildet ist.

Abstract translation:

本发明涉及一种用于导航中使用的电极（34，35）R是锂离子电池中使用的装置，有导电Tr的AUML; GER（1）在其表面BEAR枝纳米纤维 （2）被施加到一个离子接收分配（5），其中所述纳米纤维（2）通过光暴露于多种在每种情况下多个纳米长丝（2），其具有乙导航用途ndeln（3）模制在一起 并且在相邻的束（3）之间形成空间（6）

公开(公告)号：WO2016207088A1

公开(公告)日：2016-12-29

申请号：PCT/EP2016/064117

申请日：2016-06-20

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： RUPESINGHE, Nalin Lalith ,  GONCALVES, Goncalo Pedro ,  TEO, Kenneth B. K.

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/50 ,  C23C16/54 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  C23C16/26

CPC classification number: C23C16/545 ,  B65H20/00 ,  B65H20/18 ,  B65H2301/511 ,  B82B3/0004 ,  C23C14/50 ,  C23C14/562 ,  C23C16/26 ,  C23C16/4583 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/6776

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport eines bandförmigen Substrates (1) durch einen Reaktor (20), wobei das Substrat (1) von Transportelementen (3, 3', 4, 4', 5, 5', 6, 6') gehalten ist, die in einer Transportrichtung (V) von einem Antriebsaggregat (15, 15') verlagerbar sind. Die Transportmittel weisen erste Transportbalken (3, 3', 4, 4') und zweite Transportbalken (5, 5', 6, 6') auf, die in einem zeitlichen Wechsel am Substrat (1) angreifen, wobei die jeweils am Substrat (1) angreifenden Transportbalken in Transportrichtung (V) und die jeweils nicht am Substrat angreifenden Transportbalken in einer Rückwärtsrichtung (R) entgegengesetzt zur Transportrichtung (V) bewegt werden. Es sind paarweise in Transportrichtung (V) jeweils vor und hinter den Reaktor (20) angeordnete Transportschlitten (13, 13', 14, 14') vorgesehen.

Abstract translation: 本发明涉及一种设备，用于通过反应器（20），其中，所述衬底（1）的运输元件（3,3“ 4,4' ，5,5”，6,6' ）保持输送的带状衬底（1） 是，在一个驱动单元（15，15“）位移的输送方向（V）。 输送装置包括第一输送杆（3,3”，4，4‘）和第二传输杆（5,5’，6,6' ），其接合于一时间变化检测所述基板（1）上，其中所述（每个基片上 1）接合在输送方向（V）传输栏和其中的每一个不侵蚀基板传送光束以相反的方向（R）相反的要被移动到搬送方向（V）。 有在输送方向（V）之前被成对地与布置在所述反应器（20）搬送台车（13，13”，14，14' ）设置的后面。