公开(公告)号：WO2013127891A1

公开(公告)日：2013-09-06

申请号：PCT/EP2013/053986

申请日：2013-02-28

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： LEIERS, Ralf ,  LÜNENBÜRGER, Markus ,  STRAUCH, Gerhard, Karl ,  SCHINELLER, Bernd ,  BÜCHEL, Karl-Heinz

IPC: C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  H01L21/67 ,  C30B25/10 ,  G05D23/19

CPC classification number: C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  G05D23/1932 ,  H01L21/67115 ,  H01L21/67248

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Behandeln mindestens eines Substrates (105, 106, 107) in einer Prozesskammer (101) eines Reaktorgehäuses, wobei das ein oder mehrere Substrat (105, 106, 107) auf einem mit Heizelementen (109, 110, 111) beheizbaren Suszeptor (108) aufgelegt wird, wobei mit den Heizelementen (109, 110, 111) räumlich zugeordnete Zonen des Suszeptors (108) beheizt werden, denen jeweils Oberflächenzonen (112, 113, 113', 114) der zur Prozesskammer (101) weisenden Seite des Suszeptors (108) zugeordnet sind, wobei an einer Mehrzahl von Messpunkten mittels optischer Messsensoren (1 bis 35) Temperaturen der Oberflächenzonen (112, 113, 113', 114) und/oder des dort angeordneten mindestens einen Substrates (105, 106, 107) gemessen werden, und die mit den Sensoren (1 bis 35) ermittelten Messwerte einer Regeleinrichtung (115, 116, 117, 122) zugeführt werden, mit der die Heizleistung der Heizelemente (109, 110, 110', 111) geregelt wird. Zur Optimierung der Temperaturregelung wird vorgeschlagen, dass zur Regelung der Heizleistung der Heizelemente (109, 110, 110', 111) jeweils eine Kombination von Temperatur-Messwerten verwendet wird.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于在反应器外壳的工艺腔室（101），处理至少一个基板（105，106，107），其中在所述一个或多个基底（105，106，107）与加热元件（109，110，111） 可加热的感受器（108）放置，其特征在于，在空间上与基座（108）的区域相关联的所述加热元件（109，110，111）被加热时，其面向处理室的每个表面区域（112，113，113”，114）（101） 基座（108）的侧相关联，其中，在多个由光学测量传感器（1至35）的表面区域的温度来测量点（112，113，113”，114）和/或布置有至少一个衬底（105，106， 107）测得的，并用所述传感器（1至35）确定的测量值的控制装置（115，116，117，122）与所述加热元件（109，110的加热功率被提供，110”，111）被控制。 为了优化温度控制提出，用于控制加热输出（111 109，110，110“）中的加热元件的每一个包括温度读数的组合被使用。

公开(公告)号：WO2020249750A1

公开(公告)日：2020-12-17

申请号：PCT/EP2020/066334

申请日：2020-06-12

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： TEO, Kenneth B.K. ,  SCHINELLER, Bernd

IPC: H01M4/04 ,  H01M4/134 ,  H01M4/1395 ,  H01M4/38 ,  H01M4/62 ,  H01M10/0525 ,  H01M4/13 ,  H01M4/1393 ,  H01M4/66 ,  H01M4/75 ,  H01M4/80

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Elektrode oder eines Lithium-Ionen-Akkumulators sowie eine derartige Elektrode. Die Elektrode (12, 12') besitzt einen elektrisch leitenden Träger (1), auf dessen Oberfläche gebündelte Nano-Filamente (2) angeordnet sind. Eine Ionen aufnehmende Belegung (6) ist erfindungsgemäß mit einer elastischen Schutzschicht (7) versehen. Zwischenräume zwischen den Bündeln (4) sind mit einer Füllung aus Graphit aufgefüllt. Die Schutzschicht (7) ist durchlässig für Li+Ionen aber undurchlässig für ein Elektrolyt.

公开(公告)号：WO2018087118A1

公开(公告)日：2018-05-17

申请号：PCT/EP2017/078545

申请日：2017-11-08

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： SCHINELLER, Bernd

IPC: B23K26/00 ,  B82B3/00 ,  B23K26/073 ,  B23K26/08 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  B23K26/354 ,  B23K26/0622 ,  C01B32/158 ,  B23K101/16 ,  B23K101/34 ,  B23K103/08 ,  B23K103/10 ,  B23K103/16 ,  B23K103/18

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen einer strukturierten Keimschicht zum darauf Abscheiden von Kohlenstoff-Nanoröhrchen (16), wobei eine zuvor auf ein Substrat aufgebrachte Metallschicht mit einem Laserstrahl (4) derart energiebeaufschlagt wird, dass sich die Metallschicht zu vereinzelten Inseln umformt, wobei der Laserstrahl (4) zu einem im Querschnitt linienförmigen Strahl (5) aufgeweitet wird, mit dem gleichzeitig eine linienförmige Belichtungszone (15) der Metallschicht belichtet wird, welche Belichtungszone (15) in einer Richtung quer zu ihrer Erstreckungsrichtung über die Metallschicht wandert. Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens weist eine Einrichtung (9, 10) zum Transport eines Substrates mit einer darauf aufgebrachten Metallschicht und einen Laser (6) zur Erzeugung eines Laserstrahls (4), eine Einrichtung (7) zur Aufweitung des Laserstrahls zur Erzeugung einer linienförmigen Belichtungszone (15) auf, wobei die Einrichtung (7) derart angeordnet ist, dass sich die linienförmige Belichtungszone (15) senkrecht zur Transportrichtung des Substrates (1) erstreckt.

Abstract translation:

本发明涉及一种制造图案化种子层，以它的方法，在沉积碳耐诺＆OUML; Hrchen（16），其特征在于，预先施加到基底金属层用激光束（4）以这样的方式被通电时 所述金属层变换成孤岛，其中所述激光束（4）的横截面linienf＆oUML;膨胀成型梁（5），具有相同时间linienf金属层的波状曝光区（15）被暴露，其曝光区（15）在 横向于其延伸方向的方向在金属层上行进。 用于执行导航使用该方法的装置包括：装置（9，10），用于传送其上的金属层和用于产生激光束（4），装置的激光（6），其具有基底（7），用于扩展的激光束，以产生 一个linienf＆oUML;形曝光区（15），其中所述装置（7）被布置成使得linienf＆oUML; .-形曝光区（15）垂直于所述衬底的输送方向（1）延伸

公开(公告)号：WO2018060118A2

公开(公告)日：2018-04-05

申请号：PCT/EP2017/074183

申请日：2017-09-25

Applicant: AIXTRON SE

Inventor： SCHINELLER, Bernd ,  TEO, Kenneth B. K. ,  RUPESINGHE, Nalin Lalith

IPC: H01M4/04 ,  H01M4/134 ,  H01M4/1395 ,  H01M4/38 ,  H01M4/62

Abstract: Die Erfindung betrifft eine als Elektrode (34, 35) für einen Lithium-Ionen-Akkumulator verwendbare Vorrichtung, mit einem elektrisch leitenden Träger (1), auf dessen Oberfläche Nano-Filamente (2) aufgebracht sind, die eine Ionen aufnehmende Belegung (5) aufweisen, wobei die Nano-Filamente (2) durch eine Lichtbeaufschlagung zu einer Vielzahl von jeweils eine Mehrzahl von Nano-Filamenten (2) aufweisenden Bündeln (3) zusammengeformt sind, und zwischen benachbarten Bündeln (3) ein Abstandsraum (6) ausgebildet ist.

Abstract translation:

本发明涉及一种用于导航中使用的电极（34，35）R是锂离子电池中使用的装置，有导电Tr的AUML; GER（1）在其表面BEAR枝纳米纤维 （2）被施加到一个离子接收分配（5），其中所述纳米纤维（2）通过光暴露于多种在每种情况下多个纳米长丝（2），其具有乙导航用途ndeln（3）模制在一起 并且在相邻的束（3）之间形成空间（6）