公开(公告)号：WO0219377A3

公开(公告)日：2002-05-10

申请号：PCT/GB0103758

申请日：2001-08-21

Applicant: AXCELIS TECH INC ,  EATON LTD

Inventor： HARRINGTON ERIC RYAN ,  BENVENISTE VICTOR MAURICE ,  GRAF MICHAEL ANTHONY ,  RATHMELL ROBERT DAY

IPC: H01J3/40 ,  H01J37/02 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/3171 ,  H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: A system (10) for inhibiting the transport of contaminant particles (60) with an ion beam (44) includes a pair of electrodes (14, 16) that provide opposite electric fields (26, 28, 30, 32) through which the ion beam (44) travels. A particle (60) entrained in the ion beam (44) is charged to a polarity matching the polarity of ion beam (44) when traveling through a first of the electric fields (26, 28). The downstream electrode (16) provides another electric field (30, 32) for repelling the positively charged particle (60) away from the direction of beam travel.

Abstract translation: 用于抑制具有离子束（44）的污染物颗粒（60）的传输的系统（10）包括一对提供相反电场（26,28,30,32）的电极（14,16），通过该电极 梁（44）行进。 夹带在离子束（44）中的粒子（60）在通过第一电场（26,28）时被充电至与离子束（44）的极性相匹配的极性。 下游电极（16）提供了另一个电场（30,32），用于将带正电粒子（60）远离光束行进方向排斥。

公开(公告)号：WO0219378A3

公开(公告)日：2002-05-10

申请号：PCT/GB0103760

申请日：2001-08-21

Applicant: AXCELIS TECH INC ,  EATON LTD

Inventor： HARRINGTON ERIC RYAN ,  BENVENISTE VICTOR MAURICE ,  GRAF MICHAEL ANTHONY ,  RATHMELL ROBERT DAY

IPC: H01J37/04 ,  H01J3/40 ,  H01J37/02 ,  H01J37/16 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J3/40 ,  H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: A system for inhibiting the transport of contaminant particles with an ion beam includes an electric field generator (12, 14) for generating an electric field (28) relative to a path of travel (20) for the ion beam (16). A particle (66) located in the ion beam (16) and in a region of the electric field (28) is charged to a polarity according to the ion beam (16), so that the electric field (28) may urge the charged particle (66) out of the ion beam (16).

Abstract translation: 用于抑制用离子束输送污染物颗粒的系统包括用于相对于离子束（16）的行进路径（20）产生电场（28）的电场发生器（12,14）。 位于离子束（16）中并且在电场（28）的区域中的粒子（66）根据离子束（16）被充电到极性，使得电场（28）可以促使带电 粒子（66）离开离子束（16）。

公开(公告)号：WO0219376A3

公开(公告)日：2002-05-10

申请号：PCT/GB0103709

申请日：2001-08-17

Applicant: AXCELIS TECH INC ,  EATON LTD

Inventor： BENVENISTE VICTOR MAURICE ,  GRAF MICHAEL ANTHONY ,  HARRINGTON ERIC RYAN ,  RATHMELL ROBERT DAY

IPC: H01J27/20 ,  H01J37/02 ,  H01J37/04 ,  H01J37/30 ,  H01J37/317 ,  H01L21/265

CPC classification number: H01J37/026 ,  H01J37/3002 ,  H01J37/3171 ,  H01J2237/004 ,  H01J2237/022 ,  H01J2237/31705

Abstract: A system for inhibiting the transport of contaminant particles with an ion beam (16) includes a particle charging system (12) for charging particles within a region through which the ion beam travels. An electric field (50) is generated downstream relative to the charged region so as to urge charged particles away from a direction of travel (18) for the ion beam (16).

Abstract translation: 用于抑制用离子束（16）运输污染物颗粒的系统包括用于在离子束行进的区域内的颗粒的带电粒子装料系统（12）。 在相对于带电区域的下游产生电场（50），以便使带电粒子远离离子束（16）的行进方向（18）。