Abstract:
Verfahren und Vorrichtung zur Ansteuerung eines akustooptischen Bauteils zum Beeinflussen hindurchtretenden Lichtes, insbesondere zur Beeinflussung des Beleuchtungs- und/ oder Detektionslichtes im Strahlengang eines Mikroskops, vorzugsweise eines Laser-Scanning-Mikroskops, wobei eine Einstellung der Beleuchtungs und/oder Detektionswellenlänge mit mindestens einem Frequenzgenerator erfolgt der mit dem akustooptischen Bauteil verbunden ist und die Beeinflussung steuert, wobei, vorzugsweise zur Gewährleistung einer temperaturunabhängigen Beeinflussung, der Frequenzgenerator ein Signal erzeugt das für die Intensitätsverteilung der Wellenlänge des Beleuchtungs und/oder Detektionslichtes eine spektrale Spreizung erzeugt wobei die Ansteuerung durch zwei oder mehrere Ansteuersignale derart erfolgt dass zwei oder mehr sich überlappende und/ oder überlagernde Hauptkeulen der Übertragungsfunktion des akustooptischen Bauteils oder Hauptmaxima erzeugt werden.
Abstract:
Die Erfindung betrifft Verfahren zur Bestimmung und Kompensation von geometrischen Abbildungsfehlern, die bei der Abbildung eines Objektes durch sequentielle Einzel- oder Multispotabtastung mittels eines mikroskopischen Abbildungssystems entstehen, umfassend folgende Verfahrensschritte: - Festlegen eines Bezugsobjektes mit einer definierten ebenen Struktur, - Erzeugung eines von geometrischen Abbildungsfehlern freien elektronischen Bilddatensatzes dieser Struktur, - Erzeugen mindestens eines elektronischen Ist-Bilddatensatzes mit dem Abbildungssystem, - Vergleichen des Ist-Bilddatensatzes mit dem Referenz-Bilddatensatz bezüglich der Orte derjenigen Bildpunkte, die jeweils denselben Objektpunkt als Ursprung haben, - Bestimmen von Orts-Abweichungen im Ist-Bilddatensatz gegenüber dem Referenz-Bilddatensatz, - Speichern ermittelter Orts-Abweichungen als Korrektionsdaten, - Kompensation der geometrischen Abbildungsfehler durch Korrektur der Orts-Abweichungen im Ist-Bilddatensatz anhand der Korrektionsdaten.
Abstract:
Ein Mikroskopsystem umfasst mehrere Mikroskopmodule, welche zur Datenübertragung miteinander verbunden sind. Das Mikroskopsystem ist gekennzeichnet durch einen zentralen Taktgeber, dessen Taktsignal an alle Mikroskopmodule gegeben wird. Die Mikroskopmodule sind dazu eingerichtet, das Taktsignal oder einen hieraus abgeleiteten Takt als internen Takt zu verwenden. Zudem wird ein entsprechendes Verfahren zum Betreiben eines solchen Mikroskopsystems beschrieben.