公开(公告)号：WO2006109039A2

公开(公告)日：2006-10-19

申请号：PCT/GB2006/001306

申请日：2006-04-11

Applicant: GSI GROUP LTD ,  PAVEY, Christopher, John

Inventor： PAVEY, Christopher, John

IPC: F16C33/14 ,  F16C33/04 ,  F16C29/02 ,  F16C32/06

CPC classification number: F16C33/043 ,  F16C29/025 ,  F16C32/0603 ,  F16C32/0618 ,  F16C33/14 ,  F16C2223/70 ,  H01J2237/20214 ,  H01J2237/31701 ,  H01L21/68792

Abstract: A gas bearing spindle (2) for use in processing apparatus (1), for example ion implantation apparatus. The spindle (2) has a steel bearing surface (23) and a shaft (3) coated with chrome (3a) or another hard material.

Abstract translation: 一种用于处理装置（1）的气体轴承轴（2），例如离子注入装置。 主轴（2）具有钢支承表面（23）和涂有铬（3a）或另一种硬质材料的轴（3）。

公开(公告)号：WO2004103619A2

公开(公告)日：2004-12-02

申请号：PCT/GB2004/002214

申请日：2004-05-24

Applicant: WESTWIND AIR BEARINGS LTD ,  PAVEY, Christopher, John ,  Tempest, Michael, Clinton

Inventor： PAVEY, Christopher, John ,  Tempest, Michael, Clinton

IPC: B23B31/20

CPC classification number: B23B31/265 ,  B23B31/202 ,  B23B31/207 ,  B23B2224/40 ,  B23B2228/10 ,  B23B2260/136 ,  H05K3/0047 ,  Y10T279/247 ,  Y10T409/309464

Abstract: A rotary tool holder assembly comprising a collet (2) carried by a shaft (1). The collet (2) is moveable relative to the shaft (1) between a tool gripping position, in which an inserted tool can be gripped for rotation, and a tool release position. In some cases, the shaft (1) comprises a bore, an inner surface of which is shaped for contact with an outer surface of the collet (2). The shaft (1) and collet (2) are shaped such that when the rotary tool holder assembly is rotated at a predetermined high speed the shape of the inner surface of the shaft (1) substantially matches the shape of the outer surface of the collet (2). A friction reducing coating is provided between at least a portion of the inner surface of the shaft (1) and the outer surface of the collet (2). In alternatives, particular parts of the rotary tool holder may have a friction reducing coating.

Abstract translation: 一种旋转工具架组件，包括由轴（1）承载的夹头（2）。 夹头（2）可相对于工具夹持位置相对于轴（1）移动，工具夹持位置中插入的工具可以被夹持以便旋转，并且刀具释放位置。 在一些情况下，轴（1）包括孔，其内表面成形为与夹头（2）的外表面接触。 轴（1）和夹头（2）成形为使得当旋转刀具组件以预定的高速旋转时，轴（1）的内表面的形状基本上与筒夹的外表面的形状相匹配 （2）。 在轴（1）的内表面的至少一部分和夹头（2）的外表面之间设置减摩涂层。 在替代方案中，旋转工具保持器的特定部分可以具有减摩擦涂层。