テーブル装置、及び搬送装置
    1.
    发明申请
    テーブル装置、及び搬送装置 审中-公开
    表装置和载体装置

    公开(公告)号:WO2015001690A1

    公开(公告)日:2015-01-08

    申请号:PCT/JP2013/083978

    申请日:2013-12-18

    发明人: 佐藤 俊徳

    摘要:  テーブル装置(100)は、所定面内において移動可能な第1部材(1)と、第1部材に対して相対移動可能な第2部材(2)と、少なくとも一部が第1部材に配置され、第1部材の移動により所定面と直交する第1軸と平行な方向に第2部材が移動するように第2部材をガイドする第1ガイド装置(4)と、第2部材に支持されるテーブル(10)と、テーブルの少なくとも一部に接続される第3部材(3)と、第3部材との間に気体を供給可能な第1供給口を有し、第1供給口から供給される気体により第3部材との間に気体軸受を形成して、第1軸と平行な方向に第3部材を移動可能に支持する軸受部材(5)と、第1軸と平行となるように配置され、第2部材とテーブルとを連結する平行ピン(20)を含み、テーブルを支持する支持装置(19)と、を備え、テーブルは、支持装置を介して第2部材に支持される。

    摘要翻译: 台装置(100)具有:第一构件(1),其可在预定表面内移动; 第二构件(2),其相对于所述第一构件相对移动; 第一引导装置(4),其至少一部分设置在第一构件上,并且引导第二构件,使得第二构件沿平行于与预定表面正交的第一轴线的方向移动,借助于 第一个成员的运动; 由第二构件支撑的工作台(10); 连接到桌子的至少一部分的第三构件(3) 轴承构件(5),其具有能够在第三构件和轴承构件之间供应气体的第一供给开口,并且通过从第一供给口供给的气体在第三构件和轴承构件之间形成气体轴承, 以支撑第三构件以便能够在平行于第一轴线的方向上移动; 平行销(20),其被设置为平行于所述第一轴线,并且将所述第二构件和所述工作台联接; 和支撑台(19)。 第二个成员通过支持设备支持桌子。

    FÜHRUNGSEINRICHTUNG FÜR EINE WERKZEUGMASCHINE, WERKZEUGMASCHINE MIT EINER FÜHRUNGSEINRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER FÜHRUNGSEINRICHTUNG
    2.
    发明申请
    FÜHRUNGSEINRICHTUNG FÜR EINE WERKZEUGMASCHINE, WERKZEUGMASCHINE MIT EINER FÜHRUNGSEINRICHTUNG SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER FÜHRUNGSEINRICHTUNG 审中-公开
    导向装置用于机床,具有产生的导向装置的导向装置和方法机床

    公开(公告)号:WO2014118366A1

    公开(公告)日:2014-08-07

    申请号:PCT/EP2014/052030

    申请日:2014-02-03

    申请人: FRITZ STUDER AG

    IPC分类号: B24B41/02 B23Q1/58 F16C29/02

    摘要: Die Erfindung betrifft eine Führungseinrichtung für eine Werkzeugmaschine(10), insbesondere eine Schleifmaschine, eine Werkzeugmaschine(10), insbesondereeine Schleifmaschine, mit zumindest einer Führungseinrichtung (26, 28, 36, 60), sowie ein Verfahren zur Herstellung einer Führungseinrichtung für eine Werkzeugmaschine. Die Führungseinrichtung (26, 28, 36, 60) weist zumindest eine sich im Wesentlichen linear erstreckende erste Gleitfläche (66) auf, die mit zumindest einer sich im Wesentlichen linear erstreckenden zweiten Gleitfläche (68) koppelbar ist, um eine Relativbewegung, insbesondere eine lineare Relativbewegung, zwischen der ersten Gleitfläche (66) und der zweiten Gleitfläche (68) zu erlauben, wobei zumindest die erste Gleitfläche (66) oder die zweite Gleitfläche (68) zumindest abschnittweise mit einer strukturierten, insbesondere einer laserstrukturierten Oberfläche versehen ist, die eine Mikrostrukturierung (100) zur Reibungsoptimierung aufweist.

    摘要翻译: 本发明涉及一种引导装置的机床(10),特别是研磨机,机床(10),特别是研磨机,具有至少一个导向装置(26,28,36,60),以及用于产生一个引导装置用于机床的方法。 所述导向装置(26,28,36,60)具有至少一个基本上线性的第一延伸有至少一个第二滑动表面延伸基本上呈直线状延伸(68)的滑动面(66)被耦合到的相对运动,特别是线性 以允许具有微结构的第一滑动面(66)和所述第二滑动面(68)之间的相对运动,其中,至少所述第一滑动表面(66)或所述第二滑动面(68)被设置在至少部分,用结构化的,特别是激光纹理表面 (100),用于摩擦优化了。

    直動浮上装置
    3.
    发明申请
    直動浮上装置 审中-公开
    直接征税设备

    公开(公告)号:WO2013133036A1

    公开(公告)日:2013-09-12

    申请号:PCT/JP2013/054339

    申请日:2013-02-21

    发明人: 上田 智士

    IPC分类号: F16C32/06

    摘要:  直動浮上装置の一態様であるエアスライド装置1は、角柱形のスライド軸2と、スライド軸2の各支持対象21と対向する平面状の静圧気体軸受面31A~31Dを有する枠形状のスライダ3を有している。スライダ3は、各静圧気体軸受面31A~31Dを形成する多孔質層32A~32Dの裏側に、スライド軸2の各支持対象面21の縁に沿ったパターンの給気溝を含む給気路33A~33Dを有している。これにより、より高精度な直線案内を実現可能な直動浮上装置を実現することができる。

    摘要翻译: 根据直接悬浮装置的一个实施例的空气滑动装置(1)具有矩形的滑动轴(2)和具有面对物体的平面形状的空气静力支承面(31A-31D)的框架形状的滑块(3) 被支持(21)。 在形成空气静力轴承面(31A〜31D)的多孔层(32A〜32D)的背面侧,滑块(3)具有空气供给槽(33A〜33D),其具有沿着 滑动轴(2)的被支撑表面(21)。 因此可以实现用于实现更高精度的线性引导的直接悬浮装置。

    静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置
    4.
    发明申请
    静圧気体軸受及びこの静圧気体軸受を用いた直動案内装置 审中-公开
    航空轴承和线性导轨采用同类航空轴承

    公开(公告)号:WO2013065268A1

    公开(公告)日:2013-05-10

    申请号:PCT/JP2012/006867

    申请日:2012-10-25

    发明人: 佐藤 光

    IPC分类号: F16C32/06

    摘要:  静圧気体軸受1は、好ましくは、ポリアセタール樹脂(POM)、ポリアミド樹脂(PA)、ポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS)などの熱可塑性合成樹脂、又はこれらの熱可塑性合成樹脂にガラス繊維、ガラス粉末、炭素繊維もしくは無機充填材を30~50質量%含有した補強充填材含有熱可塑性合成樹脂、あるいはアルミニウム又はアルミニウム合金から形成されている軸受基体2と、軸受基体2に環状シール部材3を介して締結部材4により締結一体化されていると共に好ましくはポリアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂などの熱可塑性合成樹脂から形成されている合成樹脂製の軸受体5とを具備している。 

    摘要翻译: 配备有优选由聚缩醛树脂(POM),聚酰胺树脂(PA)或聚苯硫醚树脂(PPS)等热塑性合成树脂构成的轴承座(2)的空气静力轴承(1) 通过将玻璃纤维,玻璃粉末,碳纤维或无机填料掺入30-50质量%的这些热塑性合成树脂中的任何一种,或铝或铝合金和合成 - 树脂轴承体(5)优选由热塑性合成树脂如聚缩醛树脂,聚酰胺树脂或聚苯硫醚树脂构成,轴承件(5)通过紧固件紧固并结合到轴承座(2) (4)穿过环形密封件(3)。

    ウエハレンズ製造装置及びウエハレンズの製造方法
    5.
    发明申请
    ウエハレンズ製造装置及びウエハレンズの製造方法 审中-公开
    制造水晶镜片的装置和生产镜片的方法

    公开(公告)号:WO2010087082A1

    公开(公告)日:2010-08-05

    申请号:PCT/JP2009/070888

    申请日:2009-12-15

    摘要:  本発明は、ウエハレンズ製造装置及びウエハレンズの製造方法において、ガラス基板に対する樹脂製のレンズ部の位置ズレを抑制することを目的とする。本発明のウエハレンズ製造装置は、ガラス基板を保持するステージと、ステージをXY平面上で移動させるXY軸移動機構と、ステージをXYガイドに対してエアにより浮上させ、XY軸移動機構によるステージの移動をガイドするXYエアスライドガイド機構と、樹脂が充填される金型と、金型を昇降移動させるZ軸移動機構と、金型をZガイドに対してエアにより浮上させ、Z軸移動機構による金型の昇降移動をガイドするZエアスライドガイド機構と、XYエアスライドガイド機構の作動とその停止とを制御してステージの移動位置をロックさせ、かつ、Zエアスライドガイド機構の作動とその停止とを制御して金型の移動位置もロックさせる制御装置とを備える。

    摘要翻译: 公开了一种制造晶片透镜的装置以及晶片透镜的制造方法,其中由树脂相对于玻璃基板制成的透镜的位置偏差最小化。 制造晶片透镜的装置包括保持玻璃基板的台,XY平台上移动台架的XY轴移动机构,通过空气相对于XY导轨浮起台架的XY空气滑动引导机构,以及 引导由XY轴移动机构引起的平台的移动,待填充树脂的模具,使模具升高或降低的Z轴移动机构; Z空气滑动引导机构,其相对于Z导向器浮动模具 空气通道,引导由Z轴移动机构引起的模具的升降和下降;以及控制器,其通过控制XY空气滑动引导机构的操作和停止来锁定工作台的移动位置,并且还锁定移动位置 通过控制Z空气滑动引导机构的操作和停止。

    LINEARVERDICHTER MIT GESINTERTER LAGERBUCHSE
    7.
    发明申请
    LINEARVERDICHTER MIT GESINTERTER LAGERBUCHSE 审中-公开
    于烧结的LAGERBUCHSE线性压缩机

    公开(公告)号:WO2007098993A1

    公开(公告)日:2007-09-07

    申请号:PCT/EP2007/050537

    申请日:2007-01-19

    IPC分类号: F04B35/04 F16C32/06

    摘要: Die Erfindung betrifft einen Linearverdichter (1) sowie ein Verfahren zur Herstellung desselben umfassend ein Kolbengehäuse (2) und einen darin entlang einer Achse (4) hin und her beweglichen Verdichterkolben (3), wobei der Verdichterkolben (3) in dem Kolbengehäuse (2) mit Hilfe einer Öffnungen (6) aufweisenden Gehäusewand (5) und eines durch die Öffnungen (6) strömenden Gases gelagert wird, wobei die Gehäusewand (5) porös, insbesondere gesintert, ist, zeichnet sich durch ein hohe Zuverlässigkeit im Betrieb aus.

    摘要翻译: 本发明涉及一种线性压缩机(1)及其制造包括沿轴线的活塞壳体(2)和一个在其中的一个方法(4)的往复式压缩机的活塞(3),其中,所述压缩机的活塞(3)在活塞壳体(2) 通过包括壳体壁中的开口(6)的装置(5)和一个通过(6)被存储流动的气体中的开口,其中,所述壳体壁(5)是多孔的,特别是烧结,通过高可靠性特征操作。

    HYDROSTATISCHE LAGERUNG
    8.
    发明申请
    HYDROSTATISCHE LAGERUNG 审中-公开
    HYDROSTATIC STORAGE

    公开(公告)号:WO2006125572A1

    公开(公告)日:2006-11-30

    申请号:PCT/EP2006/004796

    申请日:2006-05-20

    IPC分类号: F16C29/02

    摘要: Hydrostatische Lagerung zur Aufnahme von horizontalen und vertikalen Kräften, mit einer Führungsschiene (2) und mit einem auf der Führungsschiene hydrostatisch gelagerten Tragelement (1), wobei der Winkel Alfa zwischen der kopfseitigen und der seitlichen Führungsfläche (6, 8) des Führungsabschnittes (3) gleich oder größer als 35 Grad und gleich oder kleiner als 75 Grad ist, und dass der Winkel Beta zwischen der Befestigungsfläche (7) und der seitlichen Fußfläche (9) des Befestigungsabschnittes (4) gleich oder größer als 10 Grad und gleich oder kleiner als 25 Grad ist.

    摘要翻译: 用于接收水平和垂直的力,有导轨静压轴承(2),并用一个在导轨流体静力支承的支承元件(1),其中,所述头部侧和侧引导表面之间的角度阿尔法(6,8)引导的部分(3) 等于或大于35度并且等于或小于75度更小,并且,所述安装表面(7)和横向基座之间的角度β(9)的固定部(4)是等于或大于10度并且等于或小于25 度。

    軸受装置及びステージ装置並びに露光装置
    9.
    发明申请
    軸受装置及びステージ装置並びに露光装置 审中-公开
    轴承装置和阶段装置以及曝光装置

    公开(公告)号:WO2006043434A1

    公开(公告)日:2006-04-27

    申请号:PCT/JP2005/018634

    申请日:2005-10-07

    发明人: 荒井 大

    摘要:  給気用のチューブ等を接続することなく十分な移動ストロークを確保する。パッド部(73)を有する移動体(3)と固定体(2)とを有する。パッド部(73)に媒体が供給されて移動体(3)が固定体(2)に移動自在に支持される。固定体(2)に設けられ前記媒体が供給される供給部(5)と、供給部(5)とパッド部(73)とを連絡する連絡部(75)と、固定体(2)に対する移動体(3)の位置に応じて連絡部(75)を開閉する開閉装置(6)とを有する。

    摘要翻译: 在不连接供气管等的情况下确保足够的移动行程。 存在具有垫部(73)和固定体(2)的移动体(3)。 在提供给垫部分(73)的介质中,可移动体(3)由固定体(2)可移动地支撑。 提供一种设置在固定体(2)中并供给介质的供应部分(5),用于在供应部分(5)和垫部分(73)之间建立连通的连通部分(75) 关闭装置(6),用于根据可移动体(3)相对于固定体(2)的位置来打开/关闭连通部分(75)。

    FÜHRUNGSKÖRPER FÜR EINE AEROSTATISCHE LINEARFÜHRUNG UND AEROSTATISCHE LINEARFÜHRUNG MIT DEM FÜHRUNGSKÖRPER
    10.
    发明申请
    FÜHRUNGSKÖRPER FÜR EINE AEROSTATISCHE LINEARFÜHRUNG UND AEROSTATISCHE LINEARFÜHRUNG MIT DEM FÜHRUNGSKÖRPER 审中-公开
    管理机构AERO静态直线导轨的AERO静线导,管理机构

    公开(公告)号:WO2005090806A1

    公开(公告)日:2005-09-29

    申请号:PCT/EP2005/050890

    申请日:2005-03-01

    发明人: MUTH, Michael

    IPC分类号: F16C29/00

    摘要: Die Lauffläche für einen aerostatischen Lagerfuß ist an einer flexiblen blechartigen Platine (3) ausgebildet, die leicht lösbar auf einer ebenen Stützfläche (2) eines Trägers (1) fixiert ist. Die Platine (3) ist so dünn, dass sie sich unter dem Lagerdruck spaltfrei am formstabilen Träger (1) abstützt. Die Fixierung am Träger (1) bedarf nur geringer Spannkräfte ohne Justieraufwand. Im Beschädigungsfall kann daher die Platine (3) vom Bedienpersonal selbst ausgewechselt werden.

    摘要翻译: 形成在柔性板状用于气体静压轴承脚胎面(3)(1)被固定在载体的一个平坦的支撑表面(2)易于拆卸。 所述电路板(3)是如此之薄,以致它们在(1)支承在无间隙的形态稳定的载体的支承压力下。 在支撑(1)固定仅需要极少的夹紧力,而不调整工作。 因此,在向所述电路板(3)的损伤的情况下,可以由操作员本身来代替。