公开(公告)号：WO2009119583A1

公开(公告)日：2009-10-01

申请号：PCT/JP2009/055825

申请日：2009-03-24

Applicant: JSR株式会社 ,  中川 恭志 ,  野辺 洋平 ,  鄭 康巨 ,  齊藤 隆一 ,  小久保 輝一

Inventor： 中川 恭志 ,  野辺 洋平 ,  鄭 康巨 ,  齊藤 隆一 ,  小久保 輝一

IPC: C23C16/42 ,  C08G77/50 ,  H01L21/312 ,  H01L21/316 ,  H01L21/768 ,  H01L23/522

CPC classification number: C23C16/401 ,  C07F7/1836 ,  C07F7/184 ,  C07F7/1844 ,  C07F7/1868 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02203 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02274 ,  H01L21/31633 ,  H01L21/31695 ,  H01L23/5329 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 　化学気相成長法用材料は、下記一般式（１）で表される有機シラン化合物を含む。 【化１】 ・・・・・（１） （式中、Ｒ １ およびＲ ２ は同一または異なり、水素原子、炭素数１～４のアルキル基、ビニル基、またはフェニル基を示し、Ｒ ３ およびＲ ４ は同一または異なり、炭素数１～４のアルキル基、アセチル基、またはフェニル基を示し、ｍは０～２の整数を示し、ｎは１～３の整数を示す。）

Abstract translation: 用于化学气相沉积的材料，其含有由通式（1）表示的有机硅烷[其中R 1和R 2可以相同或不同，各自为氢，具有1-4个碳原子的烷基，乙烯基或苯基; R 3和R 4可以相同或不同，并且各自为具有1至4个碳原子的烷基，乙酰基或苯基; m为0〜2的整数; n为1〜3的整数]。