公开(公告)号：WO2018036929A1

公开(公告)日：2018-03-01

申请号：PCT/EP2017/070957

申请日：2017-08-18

Applicant: MULTIPHOTON OPTICS GMBH

Inventor： HOUBERTZ, Ruth ,  KRUPP, Alexander ,  STENDER, Benedikt

IPC: B29C67/00 ,  B41C1/10 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: B29C64/135 ,  B29C64/40 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  G03F7/0037 ,  G03F7/2053 ,  G03F7/70416

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum lasergestützten Bearbeiten eines an einem Substrat anhaftenden Materials oder eines substratassoziierten oder substratfreien Körpers oder von dessen Oberfläche, insbesondere durch TPA/MPA und/oder durch Behandlung mit einem Ultrakurzpulslaser, aufweisend - ein Positioniersystem (9, 10, 11), das eine Probenaufnahme aufweist, wobei die Probenaufnahme so ausgebildet ist, dass sie das Substrat (7), an dem das zu bearbeitende Material haftet oder mit dem der zu bearbeitende Körper assoziiert ist, oder - in Abwesenheit eines Substrats - den zu bearbeitenden Körper (7) halten kann, - eine Laserquelle (1), die Laserpulse bzw. Laserpulsfolgen aussenden kann, und - eine Fokussieroptik (6), die die Laserpulse bzw. Laserpulsfolgen so formen kann, dass diese in einem Brennpunkt oder einem fokalen Volumen im Bereich des zu bearbeitenden Materials bzw. Körpers derart auftreffen, dass dort eine 2- oder Mehrphotonenpolymerisation stattfinden kann, oder dass diese in einem Brennpunkt oder in einem fokalen Volumen im Bereich des Körpers derart auftreffen, dass in diesem Brennpunkt oder fokalen Volumen befindliches Material den gewünschten chemischen und/oder physikalischen Veränderungen unterworfen wird. Eine Vielzahl von Bearbeitungsverfahren ist unter Einsatz dieser Vorrichtung möglich.

Abstract translation:

本发明涉及一种用于激光装置死于导航用途tzten处理被粘到基底材料上或相关联的基片或无基材K＆ouml; rpers或其表面＆AUML;澈，特别是通过TPA / MPA和/或通过用 超短脉冲激光，包括： - 具有一个样品贮器，其中所述样品接收器被配置为使得所述基板（7），其附着到被处理的材料或由被加工K＆ouml的定位系统（9，10，11）; 相关体，或 - 被处理的K＆ouml - 在不存在衬底的;可以容纳体（7）， - 一个激光源（1）能够发射激光脉冲或激光脉冲序列，以及 - 一个聚焦透镜（6）或激光脉冲 。激光脉冲序列可以形成使得这些在焦点处或材料或K＆ouml的范围内的聚焦体积要被处理;撞击rpers使得存在是2-或者多光子 可以发生聚合，或该在焦点处或K＆ouml的范围内的焦点容积;撞击rpers使得在该焦点或聚焦体积材料befindliches重量导航用途nschten化学和/或物理版BEAR进行变化。 使用这种设备可能有多种处理方法。

公开(公告)号：WO2020233757A1

公开(公告)日：2020-11-26

申请号：PCT/DE2020/200038

申请日：2020-05-25

Applicant: MULTIPHOTON OPTICS GMBH

Inventor： HOUBERTZ, Ruth ,  STENDER, Benedikt

IPC: B29C64/135 ,  B29C64/393 ,  B33Y10/00 ,  B33Y50/02 ,  G02B26/06 ,  B29C64/232 ,  B29C64/268 ,  G03F7/20

Abstract: Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zum Erzeugen einer dreidimensionalen Struktur mit wenigstens einem flächigen, unebenen Teilbereich (30) in einem durch Einstrahlung eines Lasers (18) in einem Fokus (18a) des Lasers ortsaufgelöst polymerisierbaren Lithografiematerial (16). Die Position des Fokus (18a) innerhalb des Lithografiematerials (16) ist durch einen ersten Me chanismus (20) zum Verstellen des Fokus (18a) entlang einer parallel zu einer Strahlachse des Lasers (18) verlaufenden Z-Richtung und durch einen zweiten Mechanismus (22) zum Verstellen des Fokus' (18a) in einer transversal zur Strahlachse des Lasers (18) verlaufenden XY-Ebene verstellbar. Das Verfahren umfasst das Bestimmen einer Reihe von aneinander angrenzenden Bahnkurven (24) für eine Bewegung des Fokus (18a) abhängig von Daten zu der dreidimensionalen Struktur (28) und das Erzeugen der dreidimensionalen Struktur (28) durch Bewegen des Fokus (18a) des La sers entlang der Bahnkurven (24). Es wird vorgeschlagen, dass wenigstens diejenigen Teilstücke der Bahnkurven (24), die zur Erzeugung des flächigen, unebenen Teilbereichs (30) bestimmt werden, in einer Projektion auf die XY- Ebene zumindest im Wesentlichen parallel verlaufen.

公开(公告)号：WO2018036930A1

公开(公告)日：2018-03-01

申请号：PCT/EP2017/070960

申请日：2017-08-18

Applicant: MULTIPHOTON OPTICS GMBH

Inventor： HOUBERTZ, Ruth ,  KRUPP, Alexander ,  STENDER, Benedikt

IPC: B29C67/00 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20

CPC classification number: B23K26/354 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/34 ,  B29C64/135 ,  B29C64/273 ,  B29C64/40 ,  B33Y10/00 ,  B33Y30/00 ,  G03F7/0037 ,  G03F7/2053 ,  G03F7/70416

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum lasergestützten Bearbeiten eines an einem Substrat anhaftenden Materials oder eines substratassoziierten oder substratfreien Körpers oder von dessen Oberfläche, insbesondere durch TPA/MPA und/oder durch Behandlung mit einem Ultrakurzpulslaser, aufweisend - ein Positioniersystem (9, 10, 11), das drei translatorische und drei rotatorische Freiheitsgrade ermöglicht und eine Probenaufnahme aufweist, wobei die Probenaufnahme so ausgebildet ist, dass sie das Substrat (7), an dem das zu bearbeitende Material haftet oder mit dem der zu bearbeitende Körper assoziiert ist, oder - in Abwesenheit eines Substrats - den zu bearbeitenden Körper (7) halten kann, - eine Laserquelle (1), die Laserpulse bzw. Laserpulsfolgen aussenden kann, und -eine Fokussieroptik (6), die die Laserpulse bzw. Laserpulsfolgen so formen kann, dass diese in einem Brennpunkt oder einem fokalen Volumen im Bereich des zu bearbeitenden Materials bzw. Körpers derart auftreffen, dass dort eine 2- oder Mehrphotonenpolymerisation stattfinden kann, oder dass diese in einem Brennpunkt oder in einem fokalen Volumen im Bereich des Körpers derart auftreffen, dass in diesem Brennpunkt oder fokalen Volumen befindliches Material den gewünschten chemischen und/oder physikalischen Veränderungen unterworfen wird. Eine Vielzahl von Bearbeitungsverfahren ist unter Einsatz dieser Vorrichtung möglich.

Abstract translation:

本发明涉及一种用于激光装置死于导航用途tzten处理被粘到基底材料上或相关联的基片或无基材K＆ouml; rpers或其表面＆AUML;澈，特别是通过TPA / MPA和/或通过用 超短脉冲激光，包括： - 定位系统（9，10，11）中，三个平移和三个旋转自由度ERM＆ouml的;转得更快，并且具有样品架，其中，所述样品保持器被形成为使得基板（7），其上以编辑 粘附材料或待加工K＆ouml;被身体相关联的，或 - 被处理的K＆ouml - 在不存在衬底的;可以容纳体（7）， - 一个激光源（1）能够发射激光脉冲或激光脉冲序列，以及 - 可以形成激光脉冲或激光脉冲序列的聚焦光学器件（6），使得它们位于待处理材料的区域中的焦点或聚焦体积中 IALS或K＆ouml; rpers撞击，使得存在可以发生一个2-或Mehrphotonenpolymerisation，或者说这在焦点处或K＆ouml的范围内的焦点容积;撞击rpers使得在该焦点或聚焦体积材料的重量导航用途befindliches 受化学和/或物理变化影响。 使用这种设备可能有多种处理方法。