公开(公告)号：WO2017085003A1

公开(公告)日：2017-05-26

申请号：PCT/EP2016/077549

申请日：2016-11-14

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  GUGEL, Denis ,  GUENTHER, Sebastian ,  LINCK-LESCANNE, Markus ,  PUYGRANIER, Antoine ,  HOEHR, Timm ,  ULLRICH, Guenther-Nino-Carlo

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  B81B5/00

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B5/00 ,  B81B2203/051 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0871

Abstract: Mikromechanische Struktur (100) für einen Beschleunigungssensor, aufweisend: - eine bewegliche seismische Masse (10) mit Elektroden (11), wobei die seismische Masse (10) mittels eines Anbindungselements (12) an ein Substrat (1) angebunden ist; - feststehende Gegenelektroden (20, 21) für die Elektroden (11), wobei erste Gegenelektroden (21) an eine erste Trägerplatte (30) angebunden ist, wobei zweite Gegenelektroden (22) an eine zweite Trägerplatte (31) angebunden sind und wobei die Gegenelektroden (20, 21) gemeinsam mit den Elektroden (11) in einer Sensierebene der mikromechanischen Struktur (100) ineinander verschachtelt angeordnet sind; und wobei - die Trägerplatten (30, 31) in einer Ebene unterhalb der Sensierebene ineinander verschachtelt angeordnet sind und mittels jeweils eines Anbindungselements (40, 41) an einen Zentralbereich des Substrats (1) angebunden sind.

Abstract translation:

为导航用的微机械结构（100）R的加速度传感器，其包括： - 可移动的地震质量（10），其具有电极（11），其中，所述地震质量（10）通过连接元件（12）到的手段 基板（1）连接; 附载板（30），所述第二对向电极（22）向第二Tr的AUML ;;固定对立电极（20，21），用于导航用途 - ; R在电极（11），所述第一对置电极（21），以在第一TR AUML承载板（31） 并且其中在微机械结构（100）的感测平面中的反电极（20,21）与电极（11）一起嵌套布置; 并且其中 - 所述Tr的AUML; gerplatten（30，31）被布置在Sensierebene交织下方的平面，并通过一个连接元件（40，41）的装置（1）被连接的基底的中心区域。

公开(公告)号：WO2015185449A1

公开(公告)日：2015-12-10

申请号：PCT/EP2015/061946

申请日：2015-05-29

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： NEUL, Reinhard ,  CLASSEN, Johannes ,  KRAMER, Torsten ,  REINMUTH, Jochen ,  HATTASS, Mirko ,  TEBJE, Lars ,  MEISEL, Daniel Christoph ,  REICHENBACH, Ralf ,  HEUCK, Friedjof ,  PUYGRANIER, Antoine

IPC: B81B7/00 ,  G01L19/14 ,  H01L23/13

CPC classification number: B81B7/0048 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/07 ,  B81B2207/096 ,  H01L23/13 ,  H01L23/49827 ,  H01L2224/16225

Abstract: Es wird ein Interposerkonzept zur Reduzierung von montagebedingten mechanischen Spannungen im Aufbau eines vertikal hybrid integrierten Bauteils vorgeschlagen, das eine zuverlässige mechanische Fixierung des Bauteils auf einem Bauteilträger und eine platzsparende elektrische Kontaktierung des Bauteils ermöglicht. Ein solcher Interposer (301) besteht aus einem flächigen Trägersubstrat (310) mit mindestens einer vorderseitigen Verdrahtungsebene (320), in der vorderseitige Anschlusspads (321) für die Montage des Bauteils (100) auf dem Interposer (301) ausgebildet sind, mit mindestens einer rückseitigen Verdrahtungsebene (330), in der rückseitige Anschlusspads (331) für die Montage auf einem Bauteilträger (110) ausgebildet sind, wobei die vorderseitigen Anschlusspads (321) und die rückseitigen Anschlusspads (331) versetzt zueinander angeordnet sind, und mit Durchkontakten (340) zur elektrischen Verbindung der mindestens einen vorderseitigen Verdrahtungsebene (320) und der mindestens einen rückseitigen Verdrahtungsebene (330). Erfindungsgemäß umfasst das Trägersubstrat (310) mindestens einen Randabschnitt (360) und mindestens einen Mittelabschnitt (350), die durch eine Stressentkopplungsstruktur (371) zumindest weitgehend mechanisch entkoppelt sind. Die vorderseitigen Anschlusspads (321) für die Montage des Bauteils (100) sind ausschließlich auf dem Mittelabschnitt (350) angeordnet, während die rückseitigen Anschlusspads (331) für die Montage auf einem Bauteilträger (110) ausschließlich auf dem Randabschnitt (360) angeordnet sind.

Abstract translation: 它提出了一种内插的概念，以减少在垂直集成式混合装置的构造，其允许分量载波和保存部件的电接触的空间上的部件的可靠的机械固定组件相关的机械应力。 这样的内插器（301）由具有在所述前侧接触垫中的至少一个前侧布线层（320）（321）的平坦载体基板（310）被设计用于在具有至少一个内插器（301）的安装部件（100）的 在后连接器焊盘（331）被设计用于安装一分量载波（110）上回布线平面（330）被布置，其中，所述前侧接触垫（321）和从彼此偏移的后部连接器焊盘（331），以及通孔（340） 用于所述至少一个前侧布线层（320）和所述至少一个背面布线层（330）电连接。 根据本发明，所述载体基片（310）包括至少一个边缘部分（360）和至少其至少在很大程度上由应力隔离结构（371）机械分离的中间部分（350）。 前侧接触垫（321），用于安装部件（100）被布置仅在中央部分（350），而所述后连接器焊盘（331），用于安装一个分量载波（110）上的上缘部（360）排他地布置。

公开(公告)号：WO2017194376A1

公开(公告)日：2017-11-16

申请号：PCT/EP2017/060604

申请日：2017-05-04

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  GUGEL, Denis ,  ULLRICH, Guenther-Nino-Carlo ,  LINCK-LESCANNE, Markus ,  PUYGRANIER, Antoine

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P15/18 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0834

Abstract: Mikromechanischer Sensor (200), aufweisend: - ein Substrat (1); - ein in drei Raumrichtungen (x, y, z) sensitives, bewegliches Massenelement (10); - zwei x-Lateralelektroden (20, 21, 22) zum Erfassen von lateraler x-Auslenkung des beweglichen Massenelements (10); - zwei y-Lateralelektroden (30, 31, 32) zum Erfassen von lateraler y-Auslenkung des beweglichen Massenelements (10); - z-Elektroden (33, 34) zum Erfassen einer z-Auslenkung des beweglichen Massenelements (10); wobei - jede Lateralelektrode (20, 21, 22, 30, 31, 32) mittels eines Befestigungselements (40, 50, 60, 70) am Substrat (1) befestigt ist; wobei - die Befestigungselemente (40, 50, 60, 70, 120, 130) aller Elektroden (20, 21, 22, 30, 31, 32, 33, 34) nahe an einem Anbindungselement (13) des beweglichen Massenelements (10) zum Substrat (1) ausgebildet sind.

Abstract translation: 一种微机械传感器（200），包括： - 基板（1）;以及 - 基板 - 在三个空间方向（x，y，z）敏感的可移动质量元件（10）上; - 用于检测所述可移动质量元件（10）的横向x偏转的两个x横向电极（20,21,22）; - 用于检测所述可移动质量元件（10）的横向y偏转的两个y侧电极（30,31,32）;以及 - - z电极（33,34），用于检测所述可移动质量元件（10）的z偏转; 其中， - 每个由基板（1）上的紧固元件的装置（40，50，60，70）固定Lateralelektrode（20，21，22，30，31，32）; 其中， - 所有电极（20，21，22，30，31，32，33，34）的靠近所述移动质量元件（10）的连接元件（13）的紧固元件（40，50，60，70，120，130） 基材（1）形成。

公开(公告)号：WO2015185455A1

公开(公告)日：2015-12-10

申请号：PCT/EP2015/061984

申请日：2015-05-29

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  REINMUTH, Jochen ,  HATTASS, Mirko ,  REICHENBACH, Ralf ,  PUYGRANIER, Antoine

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B7/0048 ,  B81B2207/012 ,  B81B2207/07 ,  H01L2224/16225

Abstract: Es werden Maßnahmen vorgeschlagen, die auf einfache Weise und zuverlässig zur mechanischen Entkopplung eines MEMS-Funktionselements aus dem Aufbau eines MEMS-Bauelements beitragen. Das MEMS-Bauelement (110) umfasst mindestens ein auslenkbares Funktionselement (14), das in einem Schichtaufbau (12) auf einem MEMS-Substrat (11) realisiert ist, so dass zwischen dem Schichtaufbau (12) und dem MEMS-Substrat (11) zumindest im Bereich des Funktionselements (14) ein Zwischenraum (15) besteht. Erfindungsgemäß ist im MEMS-Substrat eine Stressentkopplungsstruktur (17) in Form einer sacklochartigen Grabenstruktur (171) ausgebildet, die zu dem Zwischenraum (15) zwischen dem Schichtaufbau (12) und dem MEMS-Substrat (11) geöffnet ist und sich nur bis zu einer vorgegebenen Tiefe ins MEMS-Substrat (11) erstreckt, so dass das MEMS-Substrat (11) zumindest im Bereich der Grabenstruktur (171) rückseitig geschlossen ist.

Abstract translation: 有迹象表明，有助于容易且可靠地用于MEMS器件的结构的MEMS功能元件的机械去耦提出的措施。 的MEMS装置（110）包括其在MEMS衬底（11）上的层结构（12）实现的，至少一个可偏转的功能元件（14），以使层结构（12）和MEMS衬底（11）之间 至少在所述功能元件（14）的空间（15）的区域中。 在一个盲孔状的严重结构（171）的形式，根据本发明的MEMS衬底适于将所述中间空间（15）（12）和MEMS衬底（11）的应力去耦结构（17）的层结构之间，并且最多只有一个开 预定深度到MEMS衬底（11），从而使MEMS衬底（11）至少在严重的结构（171）的区域中的后部封闭。