公开(公告)号：WO2018185262A1

公开(公告)日：2018-10-11

申请号：PCT/EP2018/058818

申请日：2018-04-06

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  GENTER, Simon ,  SCHELLING, Christoph

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/48

Abstract: Vorgeschlagen wird ein Verfahren zur Herstellung einer leitfähigen Durchkontaktierung für ein Substrat (1), wobei die Durchkontaktierung eine Metallkomponente (2) aufweist, wobei auf oder in der Umgebung einer Oberfläche (19) des Substrats (1) eine erste leitfähige Struktur (3) angeordnet ist, wobei auf oder in der Umgebung einer weiteren Oberfläche (20) des Substrats (1) eine zweite leitfähige Struktur (4) angeordnet ist, wobei in einem ersten Schritt eine Gitterstruktur (5) zumindest teilweise oberhalb der Oberfläche (19) angeordnet wird, wobei die Gitterstruktur (5) eine Gruppe von Öffnungen (6) aufweist, wobei in einem auf den ersten Schritt folgenden zweiten Schritt ein Ätzschritt durchgeführt wird, wobei während des Ätzschritts mindestens ein Graben (7) sowohl im Substrat (1) als auch zumindest teilweise unterhalb der Gruppe von Öffnungen (6) erzeugt wird, dadurch gekennzeichnet, dass in einem dem zweiten Schritt nachfolgenden fünften Schritt ein Metallisierungsschritt durchgeführt wird, wobei während des Metallisierungsschritts die Metallkomponente (2) zumindest teilweise im Graben (7) angeordnet wird und wobei die Metallkomponente (2) während des Metallisierungsschritts derart ausgebildet wird, dass die Metallkomponente (2) ein Teil eines Verschlusses ist, wobei der Verschluss den Graben (7) im Bereich der Oberfläche (19) verschließt.

公开(公告)号：WO2015120940A1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：PCT/EP2014/079004

申请日：2014-12-22

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： CLASSEN, Johannes

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P2015/0817

Abstract: Mikromechanische Struktur (100) für einen Beschleunigungssensor (200), aufweisend: - eine seismische Masse(10),die bezogen auf die rotatorische z-Achse (A) der Struktur (100) des Beschleunigungssensors (200) definiert asymmetrisch ausgebildet ist; - Federelemente (20,20´,21,21´), die an der seismischen Masse (10) und an wenigstens einem Fixierelement (30) fixiert sind; - wobei mittels der Federelemente (20,20´,21,21´) eine rotatorische Bewegung der seismischen Masse (10) im Wesentlichen nur bei einer Beschleunigung in eine definierte Sensierrichtung innerhalb einer zur rotatorischen z-Achse (A) im Wesentlichen orthogonal ausgebildeten Ebene generierbar ist.

Abstract translation: 微机械为加速度传感器结构（100）（200），包括： - 一个地震震动质量（10）相对于所定义的不对称地形成的加速度传感器（200）的结构（100）的旋转z轴（A）; - 弹簧元件（20,20' ，21,21' ），其被固定到振动质量（10）和至少一个固定元件（30）; - 其特征在于，所述振动质量的旋转运动（10），仅在用于将旋转z轴（A）内的在限定的感测方向上的加速度基本上由弹簧元件的方式形成（20,20' ，21,21' ）电平是基本上正交 可以生成。

公开(公告)号：WO2015106854A1

公开(公告)日：2015-07-23

申请号：PCT/EP2014/074748

申请日：2014-11-17

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： CLASSEN, Johannes

IPC: G01L9/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: G01L9/0042 ,  B81B7/0061 ,  B81B7/02 ,  B81B2201/025 ,  B81B2201/0264 ,  B81C1/00246 ,  G01L9/0073 ,  H01L2224/11

Abstract: Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drucksensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drucksensorvorrichtung umfasst einen ASIC-Wafer (1) mit einer Vorderseite (VS) und einer Rückseite (RS), eine auf der Vorderseite (VS) gebildeten Umverdrahtungseinrichtung (1a) mit einer Mehrzahl von Leiterbahnebenen (LB0, LB1, LB2) und dazwischenliegenden Isolationsschichten (I), eine über einer obersten Leiterbahnebene (LB0) der Mehrzahl von Leiterbahnebenen (LB0, LB1, LB2) gebildeten strukturierten Isolationsschicht (6), eine auf der Isolationsschicht (6) gebildeten mikromechanischen Funktionsschicht (2; 2"), welche einen mit Druck beaufschlagbaren Membranbereich (M; Μ'; M") über einer Aussparung (A1; A1 ") der Isolationsschicht (6) als eine erste Druckdetektionselektrode aufweist, und eine in der obersten Leiterbahnebene (LB0) beanstandet vom Membranbereich (M; M'; M") in der Aussparung (A1; A1") gebildeten zweiten Druckdetektionselektrode (7; 7"), welche vom Membranbereich (M; Μ'; M") elektrisch isoliert ist. Der Membranbereich (M; Μ'; M") ist durch ein oder mehrere erste Kontaktstöpsel (P1, P2; P1", P2") mit der obersten Leiterbahnebene (LB0) elektrisch verbunden, welche durch den Membranbereich (M; Μ'; M") und durch die Isolationsschicht (6) geführt sind.

Abstract translation: 本发明提供了一种微机械压力传感器装置和相应的制造方法。 微机械压力传感器装置包括（1）具有前侧（VS）和后侧（RS），一个上形成再布线（1A）与多个导体路径平面（LB0，LB1，LB2）和中间体的前侧（VS）的ASIC晶片 所述多个导体路径平面（LB0，LB1，LB2）的绝缘层（I），一个在顶部导体电平（LB0）来形成结构化的绝缘层（6），一个绝缘层（6）上形成的微机械的功能层（2; 2“），其具有 “;通过的凹部;（M“（A1; A1加压膜部分MΜ）‘）的所述绝缘层作为第一压力检测电极，并在最上面的导体轨道平面（LB0）反对（6）（从隔膜区域M; M’ ; M “）在所述凹部（A1; A1” 形成第二压力检测电极）（7; 7 “），其（从隔膜区域M;Μ“; M”）电从膜片区域（M ;.Μ绝缘'; M“） 是通过 或多个第一接触插塞（P1，P2的; P1”，P2" ）（与最上面的导体轨道平面LB0）电连接，其（通过膜区域M;Μ“; M“）和（通过绝缘层6）被引导。

公开(公告)号：WO2009132917A1

公开(公告)日：2009-11-05

申请号：PCT/EP2009/053860

申请日：2009-04-01

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  CLASSEN, Johannes ,  TEBJE, Lars

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  TEBJE, Lars

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/18 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0817 ,  G01P2015/0831

Abstract: Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einem Substrat, einer seismischen Masse und ersten und zweiten Detektionsmitteln, wobei das Substrat eine Haupterstreckungsebene aufweist und wobei die ersten Detektionsmittel zur Detektion einer im Wesentlichen translativen ersten Auslenkung der seismischen Masse entlang einer ersten Richtung im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene vorgesehen sind und wobei ferner die zweiten Detektionsmittel zur Detektion einer im Wesentlichen rotativen zweiten Auslenkung der seismischen Masse um eine erste Rotationsachse parallel zu einer zweiten Richtung im Wesentlichen senkrecht zur Haupterstreckungsebene vorgesehen sind. Die seismische Masse kann als asymmetrische Wippe ausgebildet werden, wodurch Beschleunigungen als Rotationen erfassbar werden. Die Detektion kann über kapazitive Sensoren erfolgen.

Abstract translation: 它与一基板，一地震质量和第一和第二检测装置，其中所述衬底具有主面和微机械部件，其中所述第一检测装置，用于沿着大致平行地设置于主平面的第一方向检测振动质量的基本上平移第一偏转装置 并且其中进一步地所述第二检测装置，用于检测围绕平行的第一轴的振动质量的第二基本上旋转排量基本上垂直于主延伸平面设置的第二方向。 地震质量可以形成为不对称的摇杆，由此检测加速度作为旋转。 所述检测可以通过电容式传感器来执行。

公开(公告)号：WO2008080683A3

公开(公告)日：2008-07-10

申请号：PCT/EP2007/062307

申请日：2007-11-14

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  CLASSEN, Johannes ,  FRANKE, Axel ,  SCHUBERT, Dietrich ,  KEHR, Kersten ,  REICHENBACH, Ralf

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  FRANKE, Axel ,  SCHUBERT, Dietrich ,  KEHR, Kersten ,  REICHENBACH, Ralf

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/18

Abstract: Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Beschleunigungssensor, umfassend ein Substrat (1), eine parallel zur Substratebene verlaufende elastische Membran (5), die teilweise mit dem Substrat verbunden ist und einen Flächenbereich aufweist, der senkrecht zur Substratebene ausgelenkt werden kann, eine seismische Masse (6), deren Schwerpunkt außerhalb der Ebene der elastischen Membran (5) liegt, wobei sich die seismische Masse (6) in einem Abstand über Substratbereiche erstreckt, die außerhalb des Bereiches der elastischen Membran (5) liegen und eine Anordnung aus mehreren Elektroden (3a, 3b, 3c, 3d) aufweisen, die jeweils mit gegenüberliegenden Bereichen der seismischen Masse (6) schaltungstechnisch einen Kondensator bilden, und wobei die seismische Masse (6) in ihrem zentralen Bereich in dem Flächenbereich der elastischen Membran (5), der senkrecht zur Substratebene ausgelenkt werden kann, an der elastischen Membran (5) befestigt ist.

公开(公告)号：WO2020178135A1

公开(公告)日：2020-09-10

申请号：PCT/EP2020/055145

申请日：2020-02-27

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  REINMUTH, Jochen ,  TEBJE, Lars

IPC: B81B7/02

Abstract: Die Erfindung schafft eine mikromechanische Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Sensorvorrichtung ist ausgestattet mit einem Substrat (S), welches eine Vorderseite (VS) und eine Rückseite (RS) aufweist; wobei auf der Vorderseite (VS) ein Inertialsensorbereich (SB1) mit einer Inertialstruktur (IE) zum Erfassen von äußeren Beschleunigungen und/oder Rotationen und ein Drucksensorbereich (SB2) mit einem Membranbereich (M) zum Erfassen eines äußeren Drucks (Pa) lateral beabstandet gebildet sind; einer mikromechanischen Funktionsschicht (P2), durch die im Drucksensorbereich (SB2) der Membranbereich (M) gebildet ist; einer auf der mikromechanischen Funktionsschicht (P2) aufgebrachten mikromechanischen Funktionsschicht (P3); wobei die Inertialstruktur (IS) aus der zweiten und dritten mikromechanischen Funktionsschicht (P2, P3) gebildet ist; und einer Kappeneinrichtung (K) der im Inertialsensorbereich (SB1) einen ersten vorbestimmten Referenzdruck (PP1) in einer ersten Kavität (CI) einschließt; und unterhalb des Membranbereich (M) eine zweite Kavität (C2) gebildet ist.

公开(公告)号：WO2018001597A1

公开(公告)日：2018-01-04

申请号：PCT/EP2017/059601

申请日：2017-04-24

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  STROHRMANN, Anna Christina

IPC: G06F3/01 ,  G01S17/42 ,  G01S7/481 ,  G02B26/08 ,  G06F3/03 ,  G06F21/32 ,  F24C15/00 ,  G06F1/16 ,  H04N5/44

CPC classification number: G06F3/017 ,  F24C7/08 ,  G01S7/4817 ,  G01S7/4916 ,  G01S17/32 ,  G01S17/42 ,  G01S17/58 ,  G01S17/88 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/105 ,  G06F3/0304 ,  G06F21/31 ,  H04N5/4403 ,  H04N2005/4425 ,  H04N2005/4428

Abstract: Es wird ein System zur Nutzererkennung und/oder Gestensteuerung vorgeschlagen mit einer Erfassungseinrichtung und einer Auswerteeinrichtung, wobei die Erfassungseinrichtung zur Erfassung statischer und/oder dynamischer Informationen eines Nutzers konfiguriert ist, wobei die Auswerteeinrichtung zur Auswertung der durch die Erfassungseinrichtung erfassten Informationen konfiguriert ist, wobei die Erfassungseinrichtung einen Laserscanner aufweist, wobei der Laserscanner eine Laserquelle, einen Lichtsensor und einen beweglichen Spiegel zum Ablenken eines Laserstrahls in einen Erfassungsbereich umfasst.

Abstract translation:

与检测装置和分析装置提出了用于用户标识和/或手势控制的系统，其中所述检测装置被配置用于检测用户的静态和/或动态信息，通过进行评估，其中所述评估装置 检测器构造成，其中检测装置包括激光扫描器，其中激光扫描器包括激光源，光传感器和用于在检测区域中偏转激光束的可移动镜。

公开(公告)号：WO2009077263A1

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：PCT/EP2008/065236

申请日：2008-11-10

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  CLASSEN, Johannes ,  GRACKI, Sebastian

Inventor： CLASSEN, Johannes ,  GRACKI, Sebastian

IPC: G01C19/56

CPC classification number: G01C19/5755

Abstract: Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat und einem ersten Coriolis-Element vorgeschlagen, wobei Anregungsmittel zur Schwingungsanregung des ersten Coriolis-Elements in einer ersten Richtung vorgesehen sind, wobei erste Detektionsmittel zur Detektion einer ersten Auslenkung des ersten Coriolis-Elements in einer zur ersten Richtung im Wesentlichen senkrechten dritten Richtung vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Coriolis-Element als Wippe ausgebildet ist.

Abstract translation: 因此建议，包括基板和第一科里奥利元件的旋转率传感器，其特征在于，所述激励装置，用于在第一方向上设置在第一科里奥利元件的振动激发，所述第一检测装置，用于检测在第一方向上的第一科里奥利元件的第一位移 基本上提供垂直第三方向，其特征在于，所述第一科里奥利元件设计为一个摇杆。

公开(公告)号：WO2009010355A2

公开(公告)日：2009-01-22

申请号：PCT/EP2008/057553

申请日：2008-06-16

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  CLASSEN, Johannes

Inventor： CLASSEN, Johannes

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0086 ,  B81B2201/033 ,  B81B2203/0136 ,  G01P15/125

Abstract: Es wird ein mikromechanisches Bauelement und ein Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement eine Feststruktur und eine seismische Masse aufweist, wobei die Feststruktur erste Elektroden und die seismische Masse zweite Elektroden aufweist und wobei die seismische Masse gegenüber der Feststruktur in einer zur direkten Verbindungslinie der seismischen Masse mit der Feststruktur parallelen Hauptbewegungsrichtung in einer Haupterstreckungsebene der Feststruktur beweglich ist und wobei ferner in einer Ruhelage der seismischen Masse die ersten Elektroden und die zweiten Elektroden derart voneinander beabstandet sind, dass keine Überlappung der ersten Elektroden relativ zu den zweiten Elektroden in einer zur Hauptbewegungsrichtung senkrechten ersten Richtung in der Haupterstreckungsebene vorgesehen ist und lediglich in einem Auslenkungszustand eine derartige Überlappung entsteht.

Abstract translation: 公开了一种微机械部件和用于操作微型机械装置的方法，该微机械部件具有实心结构和振动质量，其中第一电极的固体结构和振动质量具有第二电极，以及其中，所述地震质量相对的固定结构在用于 直线振动质量连接到运动的固定结构平行的主方向是固定结构的主延伸平面中移动和进一步其中，所述第一电极和所述第二电极中的地震质量的静止位置相互间隔开的，没有首先相对于第二电极的电极中的重叠 垂直于第一方向的主运动方向的方向在主延伸平面提供与仅在偏转状态下形成这样的重叠。

公开(公告)号：WO2007131835A1

公开(公告)日：2007-11-22

申请号：PCT/EP2007/053220

申请日：2007-04-03

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH ,  SCHUBERT, Dietrich ,  CLASSEN, Johannes ,  TEBJE, Lars ,  SEELHORST, Johannes

Inventor： SCHUBERT, Dietrich ,  CLASSEN, Johannes ,  TEBJE, Lars ,  SEELHORST, Johannes

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

CPC classification number: G01P15/125 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0831

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft Beschleunigungssensor mit einer seismischen Masse (1), die einen ersten und einen zweiten Flügel (2, 3) aufweist, die um mindestens einen Torsionssteg (4) drehbar sind, und mit einem Basissubstrat (13), wobei die Flügel (2, 3) derart ausgebildet sind, daß aufgrund ihrer Massenverteilungen unterschiedliche Drehmomente auf den mindestens einen Torsionssteg (4) ausgeübt werden. Die seismische Masse (1) und das Basissubstrat sind derart ausgebildet, daß auf den mindestens einen Torsionssteg (4) für eine Torsion und eine betragsmäßig gleiche Torsion in der entgegengesetzten Richtung betragsmäßig gleiche Dämpfungsdrehmomente wirken. Auf den Beschleunigungssensor wirken daher für betragsmäßig gleiche Beschleunigungen in entgegengesetzte Richtungen betragsmäßig gleiche Drehmomente.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有振动质量（1）的加速度传感器，其具有第一和第二翼（2,3），其可绕至少一个扭转片（4），以及具有基底（13），所述翼部（ 2，3）被设计成使得不同的扭矩其质量分布的基础上，所述至少一个扭转片（4）上施加。 振动质量（1）和底部基板上形成使至少一个扭转片（4），用于扭转和等量阻尼转矩的相反方向等量的扭曲该行为。 该加速度传感器因此具有用于在相反方向上相等的量的加速度的量值相等的转矩。