公开(公告)号：WO2014180693A1

公开(公告)日：2014-11-13

申请号：PCT/EP2014/058588

申请日：2014-04-28

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： PEDRON, Simon ,  FORSTPOINTNER, Gerhard

IPC: C01B33/021

CPC classification number: C01B33/03 ,  B01J8/0015 ,  B01J8/1827 ,  B01J8/1836 ,  B01J8/1872 ,  B01J8/24 ,  B01J2208/00752 ,  B01J2208/00761 ,  B01J2208/00902 ,  B01J2208/065 ,  C01B33/027 ,  C23C16/24 ,  C23C16/442

Abstract: Gegenstand der Erfindung ist ein Wirbelschichtreaktor zur Herstellung von granularem Polysilicium, umfassend einen Behälter mit einem Innen-Reaktorrohr für eine Wirbelschicht mit granularem Polysilicium und einen Reaktorboden, eine Heizvorrichtung zum Heizen der Wirbelschicht im Innen-Reaktorrohr, wenigstens eine Öffnung im Reaktorboden zur Zuführung von Fluidisierungsgas sowie wenigstens eine Öffnung im Reaktorboden zur Zuführung von Reaktionsgas, eine Vorrichtung zum Abführen von Reaktorabgas, eine Zuführeinrichtung, um Siliciumpartikel zuzuführen sowie eine Entnahmeleitung für granulares Polysilicium, wobei wenigstens einer der Öffnungen im Reaktorboden außerhalb des Innenreaktorrohrs eine Lavaldüse vorgelagert ist, geeignet, um wenigstens einen zugeführten Massenstrom überkritisch zu expandieren.

Abstract translation: 本发明涉及一种流化床反应器制备粒状多晶硅包括具有用于流化床中用粒状多晶硅的内反应器管的容器中，和反应器底部，在内部反应器管加热流化床的加热器，在反应器的底部的至少一个开口用于将流化气体 并在反应器中反应气体的供给的底部的至少一个开口，用于排出该反应器排气，进给装置进给的硅粒子和粒状多晶硅的移除管线，其中在所述内反应器管的外侧的反应器的底部中的开口中的至少一个，拉瓦尔喷管被布置上游，适于至少 以扩展电流的供给质量流量超临界的。

公开(公告)号：WO2015197498A1

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：PCT/EP2015/063860

申请日：2015-06-19

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： PEDRON, Simon ,  BAUMANN, Bernhard ,  FORSTPOINTNER, Gerhard

IPC: C01B33/027 ,  C01B33/03 ,  C23C16/442

CPC classification number: C01B33/03 ,  B01J8/1827 ,  B01J8/1836 ,  B01J8/1872 ,  B01J2208/00761 ,  B01J2208/00902 ,  C01B33/027 ,  C01B33/029

Abstract: Gegenstand der Erfindung ist ein Wirbelschichtreaktor zur Herstellung von polykristallinem Siliciumgranulat, umfassend einen Reaktorbehälter (1), ein Reaktorrohr (2) und einen Reaktorboden (15) innerhalb des Reaktorbehälters (1), wobei sich zwischen einer Außenwand des Reaktorrohrs (2) und einer Innenwand des Reaktorbehälters (1) ein Zwischenmantel (3) befindet, weiterhin umfassend eine Heizvorrichtung (5), wenigstens eine Bodengasdüse (9) zur Zuführung von Fluidisierungsgas sowie wenigstens eine Sekundärgasdüse (10) zur Zuführung von Reaktionsgas, eine Zuführeinrichtung (11), um Silicium-Keimpartikel zuzuführen, eine Entnahmeleitung (14) für polykristallines Siliciumgranulat sowie eine Einrichtung zum Abführen von Reaktorabgas (16), wobei ein Grundkörper des Reaktorrohrs (2) zu mindestens 60 Gew.-% aus Siliciumcarbid besteht und eine CVD-Beschichtung mit einer Schichtdicke von wenigstens 5 µm, bestehend zu mindestens 99,995 Gew.-% aus SiC, umfasst, oder wobei ein Grundkörper des Reaktorrohrs (2) aus Saphirglas, enthaltend mindestens 99,99 Gew.-% α-AI 2 0 3 , besteht. Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Siliciumgranulat in einem solchen Wirbelschichtreaktor.

Abstract translation: 本发明涉及一种流化床反应器制备多晶硅颗粒，包括反应器容器（1）中，反应器容器内的反应器管（2）和反应器底部（15）（1），其中，所述反应器管（2）的外壁和内壁之间 反应器容器（1）是一个中间护套（3），还包括一个加热器（5），至少一个Bodengasdüse（9），用于向硅供给的反应气体，进给装置（11）供给流化气体和至少一个第二气体（10） 供给-Keimpartikel，多晶硅粒的抽出管线（14）和一个设备，用于排出气体（16），其中，所述反应器管的基体（2）至少60由重量碳化硅％，与层厚度的CVD涂层去除反应器 至少5微米，由至少99.995重量的SiC的％，包括或其中一个初学者 örper反应器管（2）由含有至少99.99重量％的α-Al 2 O 3，有蓝宝石玻璃。 本发明的另一个目的是用于以这样一种流化床反应器制备多晶硅的颗粒的方法。

公开(公告)号：WO2019037850A1

公开(公告)日：2019-02-28

申请号：PCT/EP2017/071258

申请日：2017-08-23

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： PEDRON, Simon ,  BAUMANN, Bernhard ,  FORSTPOINTNER, Gerhard

IPC: C01B33/027 ,  B01J8/18

Abstract: Gegenstand der Erfindung ist ein Wirbelschichtreaktor zur Herstellung von polykristallinem Siliciumgranulat. Der Wirbelschichtreaktor umfasst ein zwischen einem Reaktorkopf und einem Reaktorboden angeordnetes segmentiertes Reaktorrohr, eine Heizvorrichtung, zumindest eine Düse zur Zuführung von Fluidisierungsgas, zumindest eine Düse zur Zuführung von Reaktionsgas, eine Vorrichtung zur Zuführung von Silicium-Keimpartikeln, eine Produktentnahmeleitung sowie eine Abgasentnahmeleitung. Das segmentierte Reaktorrohr umfasst ein Basissegment und zumindest ein Distanzsegment, wobei zwischen Basissegment und Distanzsegment eine Flachdichtung aus einem kohlenstoffhaltigen Material angeordnet ist und wobei das Distanzsegment aus einem Material besteht, das in einem Temperaturbereich von 100 bis 950°C eine Wärmeleitfähigkeit von

公开(公告)号：WO2017032713A1

公开(公告)日：2017-03-02

申请号：PCT/EP2016/069708

申请日：2016-08-19

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： FORSTPOINTNER, Gerhard ,  MAYRHOFER, Martin

IPC: C01B33/02 ,  C01B33/03 ,  C01B33/027 ,  C01B33/029

CPC classification number: C01B33/02 ,  C01B33/027

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Sinterfilter aus polykristallinem Silicium, umfassend aggregierte Partikel aus polykristallinem Siliciumgranulat, dessen Verwendungen, dessen Herstellung sowie einen Wirbelschichtreaktor enthaltend einen solchen Sinterfilter.

Abstract translation: 本发明涉及由多晶硅制成的烧结过滤器，其包含多晶硅的颗粒，它使用其制造和流化床反应器，包括这样的烧结过滤器的聚集的颗粒。

公开(公告)号：WO2017162414A1

公开(公告)日：2017-09-28

申请号：PCT/EP2017/054754

申请日：2017-03-01

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： FORSTPOINTNER, Gerhard ,  BAUMANN, Bernhard

IPC: F16K7/04 ,  B01J8/18 ,  B01J8/00 ,  C01B33/027

Abstract: Die vorliegende Erfindung betrifft die Verwendung wenigstens einer Quetscharmatur umfassend eine Quetschmanschette zur Regulierung oder Absperrung eines Stroms von partikelförmigem Polysilicium, eine Wirbelschichtreaktoranlage zur Herstellung von Polysilicium-Granulat, in welcher wenigstens eine solche Quetscharmatur (1, 3, 5, 10, 14) zum Einsatz kommt, sowie ein Verfahren zur Herstellung von Polysilicium-Granulat unter Verwendung einer solchen Quetscharmatur. Insbesondere hat sich gezeigt, dass Quetscharmaturen mit Quetschmanschetten aus Ethylen-Propylen-Dien-Kautschuk und/oder fluoriertem Elastomer zur Verwendung bei der Regulierung und/oder Absperrung eines Stroms von partikelförmigem Polysilicium, insbesondere für die Verwendung in einer Wirbelschichtreaktoranlage (7) zur Herstellung von Silicium-Granulat, geeignet sind. Die Quetscharmatur reguliert bzw. sperrt den Polysilicium-Strom dabei dauerhaft gasdicht und kontaminationsarm ab, wobei die Quetschmanschette eine hohe Lebensdauer hat, chemisch und thermisch beständig ist sowie der hohen Härte und Abrasivität des Polysiliciums gerecht wird.

Abstract translation:

本发明中，至少包括涉及使用一个Quetscharmatur一个Quetschmanschette的用于调节或切断partikelf＆OUML的流; rmigem多晶硅，用于生产多晶硅颗粒，其中至少一个这样的Quetscharmatur（1的流化床反应器系统， 3,5,10,14）以及使用这种箍缩配件生产多晶硅颗粒的方法。 特别地，已经发现，Quetscharmaturen与乙烯 - 丙烯 - 二烯橡胶的Quetschmanschetten和/或氟化弹性体中的调节使用和/或关断partikelf＆OUML的流; rmigem多晶硅，尤其是F导航用途（在流化床反应器系统7 R使用 ）适用于硅颗粒的生产。 的Quetscharmatur调节和块多晶硅电流，从而永久气体紧和低污染，所述Quetschmanschette具有高的耐久性，耐化学和热的最佳＆AUML;是不断地高HANDS RTE和Abrasivit＆AUML;吨多晶硅相遇的是

公开(公告)号：WO2016030402A1

公开(公告)日：2016-03-03

申请号：PCT/EP2015/069494

申请日：2015-08-26

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： FORSTPOINTNER, Gerhard ,  BAUMANN, Bernhard ,  FRICKE, Michael

IPC: C23C24/04

CPC classification number: C23C24/04

Abstract: Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Beschichtung einer einen Kunststoff enthaltenden Oberfläche eines Substrats mit Silicium durch Kaltgasspritzen, wobei ein Pulver enthaltend Silicium in ein Gas injiziert und mit hoher Geschwindigkeit auf die den Kunststoff enthaltende Oberfläche des Substrats aufgebracht wird, so dass das Silicium eine auf der den Kunststoff enthaltenden Oberfläche des Substrats (fest haftende) Schicht bildet. Gegenstand ist auch eine Vorrichtung, die wenigstens teilweise eine Oberfläche aus einem Kunststoff aufweist, wobei die Kunststoffoberfläche mit einer fest haftenden Siliciumschicht versehen ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于涂覆基板的一个含塑料的表面与由冷气喷涂硅，与包含注入硅成气体的粉末和施加到所述基底的表面以高速含塑料的，使得硅一个上 基板的含塑料的表面的形式（牢固粘附）层。 还提供了一种装置，该装置至少部分地包括塑料，其特征在于，在塑料表面上设置有硅的牢固粘附的层的一个表面上。

公开(公告)号：WO2016074978A1

公开(公告)日：2016-05-19

申请号：PCT/EP2015/075507

申请日：2015-11-03

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： WECKESSER, Dirk ,  FORSTPOINTNER, Gerhard ,  HERTLEIN, Harald

IPC: B01J8/18 ,  C01B33/027

CPC classification number: B01J8/1818 ,  B01J8/1827 ,  B01J8/1836 ,  B01J8/1872 ,  B01J2208/00407 ,  B01J2208/00902 ,  B01J2219/00018 ,  C01B33/027 ,  C01B33/029 ,  C23C16/24

Abstract: Gegenstand der Erfindung sind ein Wirbelschichtreaktor zur Herstellung von polykristallinem Siliciumgranulat sowie ein Verfahren zur Montage eines solchen Wirbelschichtreaktors, umfassend nachfolgende Schritte in der angegebenen Reihenfolge: Bodenplatte (4) aufbauen und mit Gaszufuhrleitungen für Fluidisierungsgas und Reaktionsgas und Produktabzugsleitung (20) verbinden; Bodenplatte (4) mit wenigstens einer Fluidisierungsdüse (6) und mit wenigstens einer Reaktionsgasdüse (5) bestücken; Untere Reaktorrohrdichtung (7) einsetzen; Reaktorrohr (8) mit Heizer (10), Elektroden (1 1 ) und Isolationen (12, 13) auf untere Reaktorrohrdichtung (7) aufbauen; Aufstellen des Reaktorschusses (1 ) über dem Reaktorrohr (8); Obere Reaktorrohrein- spannung (14) mit oberer Reaktorrohrdichtung (15) aufbauen; Montage des Reaktorkopfes (16); Montage Seedzufuhreinrichtung (17); Montage Abgasrohrleitung (18).

Abstract translation: 本发明涉及一种流化床反应器制备多晶硅颗粒和一种装配该流化床反应器，包括在给定顺序的以下步骤的方法：在底板（4）建立和与气体供给管连接用于流化气体和反应气体和产物抽出管线（20）; 底板（4）具有至少一个fluidisizing（6）和具有至少一个反应气体喷嘴（5）配合; 插入较低的反应器管的密封件（7）; 反应器管（8）建立的加热器（10），电极（11）和绝缘（12，13），以降低反应器管密封件（7）; 定位所述镜头反应器（1）的反应器管上述（8）; 建立与反应器上部管密封件（15）上Reaktorrohrein-电压（14）; 反应器头部（16）的组件; Seedzufuhreinrichtung组件（17）; 安装在排气管（18）。

公开(公告)号：WO2016066488A1

公开(公告)日：2016-05-06

申请号：PCT/EP2015/074339

申请日：2015-10-21

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： FORSTPOINTNER, Gerhard ,  WECKESSER, Dirk

IPC: C01B33/033 ,  F23C10/00

CPC classification number: B01J8/24 ,  B01J8/1827 ,  B01J8/1836 ,  B01J2208/00752 ,  B01J2208/00902 ,  C01B33/03 ,  C01B33/033 ,  F23C10/20

Abstract: Gegenstand der Erfindung ist ein Wirbelschichtreaktor zur Herstellung von polykristallinem Siliciumgranulat, umfassend einen Reaktorkopf (10), ein Reaktorrohr (3) und einen Reaktorboden (9), weiterhin umfassend eine Heizvorrichtung, wenigstens eine Bodengasdüse zur Zuführung von Fluidisierungsgas (2) sowie wenigstens eine Sekundärgasdüse zur Zuführung von Reaktionsgas (1), eine Seedzuführeinrichtung (4), um Silicium-Keimpartikel zuzuführen, eine Produktentnahmeleitung (5) für polykristallines Siliciumgranulat sowie eine Einrichtung zum Abführen von Abgas (6), dadurch gekennzeichnet, dass Bodengasdüse, die wenigstens eine Sekundärgasdüse sowie die Produktentnahmeleitung (5) für polykristallines Siliciumgranulat mittels Dichtungen / Packungen (8) gegenüber dem Reaktorboden (9) abgedichtet sind und dass das Reaktorrohr (3) gegenüber dem Reaktorkopf (10) und dem Reaktorboden (9) mittels Dichtungen (7) abgedichtet ist, wobei die Dichtungen / Packungen (7,8) aus Graphit bestehen und weniger als 500 ppmw Phosphor enthalten.

Abstract translation: 本发明涉及一种流化床反应器制备多晶硅颗粒，其包括反应器头部（10），反应器管（3）和反应器的底部（9），还包括一加热装置，至少一个Bodengasdüse用于供给流化气体（2）和至少一个第二气体 用于供给反应气体（1），一个Seedzuführeinrichtung（4）进料硅晶种颗粒，产品移除管线（5），用于多晶硅颗粒和用于排出废气的装置（6），其特征在于Bodengasdüse，所述至少一个第二气体，并 该产品排出管道（5），用于多晶硅的颗粒通过的密封件/封装（8）朝向反应器底部（9）的装置是密封的，并且该反应器管（3）相对于所述反应器头部（10）和所述反应器的底部（9）通过密封件的装置（7）被密封， 其中besteh由石墨制成的密封件/组（7,8） 秒和小于500 ppmw的磷。

公开(公告)号：WO2015189072A1

公开(公告)日：2015-12-17

申请号：PCT/EP2015/062274

申请日：2015-06-02

Applicant: WACKER CHEMIE AG

Inventor： FORSTPOINTNER, Gerhard ,  HAUSWIRTH, Rainer

IPC: B02C19/06 ,  C01B33/021

CPC classification number: B02C19/068 ,  C01B33/021 ,  C04B35/5626 ,  C04B2235/3839 ,  C04B2235/3843 ,  C04B2235/3847 ,  C04B2235/405

Abstract: Gegenstand der Erfindung ist eine Verfahren zur Herstellung von Siliciumkeimpartikeln, die zur Herstellung von polykristallinem Siliciumgranulat in einem Wirbelschichtreaktor verwendet werden können, umfassend Einbringen eines Mahlgasstroms in eine Kammer (5) mit polykristallinem Siliciumgranulat, wodurch einzelne Partikel des polykristallinen Siliicumgranulats derart beschleunigt werden, dass sie mit anderen Partikeln des polykristallinen Siliciumgranulats kollidieren und dabei das polykristallines Siliciumgranulat zerkleinert wird, dadurch gekennzeichnet, dass der Mahlgasstrom durch wenigstens eine Strahldüse (4) aus Hartmetall in die Kammer eingebracht wird.

Abstract translation: 本发明是一种生产硅籽晶颗粒的方法，它可用于生产多晶硅颗粒到流化床反应器，包括在一个腔室（5）与多晶硅颗粒，引入Mahlgasstroms使上述多Siliicumgranulats的单个颗粒被加速，使得它们 与多晶硅颗粒的其它粒子碰撞而多晶硅颗粒粉碎，其特征在于，通过硬质金属中的至少一个喷嘴（4）的研磨气体流被引入到室中。