公开(公告)号：WO2016141276A1

公开(公告)日：2016-09-09

申请号：PCT/US2016/020849

申请日：2016-03-04

Applicant: SAINT-GOBAIN ABRASIVES, INC. ,  SAINT-GOBAIN ABRASIFS

Inventor： MEJEAN, Cecile O. ,  RAMANATH, Srinivasan ,  VEDANTHAM, Ramanujam ,  MCNEAL, Kelley

IPC: B24D7/04 ,  B24D18/00

CPC classification number: B24D7/06

Abstract: An abrasive article includes a body having an annular surface including abrasive segments coupled to the annular surface, and the abrasive segments define an abrasive annular region and a percent abrasive surface area of not greater than 24% for the total surface area of the abrasive annular region.

Abstract translation: 磨料制品包括具有环形表面的主体，该环形表面包括联接到环形表面的磨料段，并且磨料段限定研磨环形区域和磨料环形区域的总表面积不大于24％的百分比研磨表面积 。

公开(公告)号：WO2011056509A3

公开(公告)日：2011-10-27

申请号：PCT/US2010053962

申请日：2010-10-25

Applicant: ILLINOIS TOOL WORKS

Inventor： SWIATOWY JEFFREY

IPC: B24D7/06 ,  B24D3/10 ,  B24D7/16 ,  B24D13/14

CPC classification number: B24D13/142 ,  B24D3/10 ,  B24D7/06

Abstract: A tool (10) for removing fusion bonded epoxy coating from the surface of a pipe has an elongate rotatable shaft (12) suitable for being received in a rotating tool holder of a machine. Extending radially outward of the distal end (16) of the shaft (12) are a plurality of fingers (40), the outer ends of which are spaced apart. Each of the fingers (40) is made of a spring metal, and at the distal end of each finger is an abrasive pad (60) having diamond particles embedded in soft metal. Spring force is independently applied by each spring finger (40) to its associated abrasive pad (60).

Abstract translation: 用于从管表面去除熔接环氧树脂涂层的工具（10）具有适于容纳在机器的旋转工具架中的细长的可旋转轴（12）。 在轴（12）的远端（16）的径向外侧延伸的是多个指状物（40），其外端间隔开。 每个手指（40）由弹簧金属制成，并且在每个手指的远端处是具有镶嵌在软金属中的金刚石颗粒的研磨垫（60）。 每个弹簧手指（40）独立地施加弹簧力到其相关联的研磨垫（60）。

公开(公告)号：WO2009138435A1

公开(公告)日：2009-11-19

申请号：PCT/EP2009/055786

申请日：2009-05-13

Applicant: O'CEALLAIGH, Micheal

Inventor： O'CEALLAIGH, Micheal

IPC: B24B7/22 ,  B24B37/04 ,  B24D3/10 ,  B24D5/06 ,  B24D7/06 ,  B24D18/00

CPC classification number: B24B7/228 ,  B24D3/10 ,  B24D5/06 ,  B24D7/06 ,  B24D18/00

Abstract: A cup wheel for a grinding tool for use in grinding semiconductor substrates is presented herein, the wheel comprising: a hub having a pair of opposing faces and a peripheral rim linking said faces; and at least one grinding segment mounted on and upstanding from at least one face of the hub; wherein in use, as the wheel is rotated, the face ofthe hub on which the at least one grinding segment is mounted is directed towards the substrate to be ground, to bring the at least one grinding segment into contact withthe substrate, and wherein at least one pair of side faces of the at least one grinding segment intersect at a leading edge which substantially faces the direction of travel of the grinding segment as the wheel rotates.

Abstract translation: 本文提出了一种用于研磨半导体衬底的研磨工具的杯轮，该轮包括：轮毂，其具有一对相对面和连接所述面的外围边缘; 以及至少一个磨削段，其安装在所述轮毂的至少一个面上并且直立; 其中在使用中，当车轮旋转时，其上安装有至少一个研磨段的毂的表面被引向待研磨的基底，以使至少一个研磨段与基底接触，并且其中至少 所述至少一个研磨段的一对侧面在前进边缘处相交，所述前缘基本上面对所述研磨段随所述轮旋转时的行进方向。

公开(公告)号：WO2006131280A1

公开(公告)日：2006-12-14

申请号：PCT/EP2006/005310

申请日：2006-06-02

Applicant: LAPPORT DCS GMBH ,  SCHWAB, Karl-Heinz

Inventor： SCHWAB, Karl-Heinz

IPC: B23F21/02 ,  B24D5/06 ,  B24D7/06

CPC classification number: B23Q11/10 ,  B24D5/06 ,  B24D7/06

Abstract: Ein Schleifwerkzeug enthält einen Tragkörper (2) und einen im Umfangsbereich angeordneten Schleifbelag (28) mit Lamellen (30), zwischen welchen Spalte (32) vorhanden sind, wobei zum Schleifen Kühlmittel zuführbar ist. Das Schleifwerkzeug soll mit einem geringen Aufwand dahingehend weitergebildet werden, dass eine sichere Befestigung und Fixierung der Lamellen (30) bezüglich des Tragkörpers (2) erreicht wird und die Standzeit sowie die Schleifeigenschaften verbessert werden. Zur Lösung wird vorgeschlagen, dass das Schleifwerkzeug als Schleifschnecke ausgebildet ist und die Lamellen (30) ein Außenprofil mit Zähnen (26) aufweisen, dass der Tragkörper (2) Nuten (10) aufweist, in welchen die Lamellen (30) teilweise eingesetzt sind, wobei die Lamellen (30) um einen vorgegebenen Betrag aus den Nuten (10) und dem Tragkörper (2) hervorstehen, und dass die Lamellen (30) eine poröse Struktur derart aufweisen, dass das Kühlmittel durch die Lamellen (30) strömen kann.

Abstract translation: 包括支撑体（2）以及设置在所述磨料层（28）的周边区域具有叶片（30）在它们之间（32）存在间隙，用于研磨冷却剂的研磨工具可以被提供。 该研磨工具是待开发的效果与较低的努力，所述薄片（30）的可靠的固定和固定相对于所述支撑体（2）和所述使用寿命以及研磨性提高实现的。 向该溶液中，提出的是，磨削工具被设计为蜗杆砂轮和所述薄片（30）具有齿（26）的外部轮廓，该支撑体（2）具有凹槽（10），其中，叶片（30）部分地插入， 其中，所述板条（30）通过从所述槽（10）和所述支撑体（2）的预定量突出，并且所述薄片（30）具有多孔结构，使得冷却剂能够通过该薄片（30）流动。

公开(公告)号：WO2004011020A9

公开(公告)日：2004-05-21

申请号：PCT/US0323517

申请日：2003-07-29

Applicant: UNOVA IND AUTOMATION SYS INC ,  GALEN EDWARD E ,  SCHLIE DONALD R

Inventor： GALEN EDWARD E ,  SCHLIE DONALD R

IPC: B24B5/00 ,  B24D3/20 ,  B24D3/28 ,  B24D3/34 ,  B24D5/06 ,  B24D7/06

CPC classification number: B24D3/20 ,  B24D3/28 ,  B24D3/344 ,  B24D3/346 ,  B24D5/06 ,  B24D5/063 ,  B24D7/06 ,  B24D7/063

Abstract: The present invention is for a grinding device (10), such as a surface grinding disc or an annular grinding wheel (100), constructed from a plurality of abrasive segments (30) arranged in an array thereon (26) (26'), wherein the plurality of abrasive segments are embedded in a matrix composition (40), and wherein the device is abapted to perform a "dry machining" operation. The abrasive segments may be resin bonded or vitrified and may include diamond or other superhard or superabrasive particles, such as, for example, cubic boron nitride ("cBN"), dispersed therein. Both the abrasive segments (30) and the matrix composition (40) include a dry lubricant, such as hexagonal boron nitride, molybdenum disulfide or graphite, dispersed therein. The abrasive segments (30) further include a melt phase metal composition, such as bronze or other copper alloys, to aid in heat dissipation.

Abstract translation: 本发明涉及一种研磨装置（10），例如由布置成阵列上的多个磨料段（30）构成的表面研磨盘或环形砂轮（100） 其中所述多个研磨段嵌入到基质组合物（40）中，并且其中所述装置被装载以执行“干加工”操作。 研磨部分可以是树脂粘合或玻璃化的，并且可以包括分散在其中的金刚石或其它超硬或超研磨颗粒，例如立方氮化硼（“cBN”）。 磨料段（30）和基体组合物（40）都包括分散在其中的干润滑剂，例如六方氮化硼，二硫化钼或石墨。 研磨段（30）还包括熔融相金属组合物，例如青铜或其它铜合金，以有助于散热。

公开(公告)号：WO2004011020A1

公开(公告)日：2004-02-05

申请号：PCT/US2003/023517

申请日：2003-07-29

Applicant: UNOVA IP CORP. ,  GALEN, Edward, E. ,  SCHLIE, Donald, R.

Inventor： GALEN, Edward, E. ,  SCHLIE, Donald, R.

IPC: B24B5/00

CPC classification number: B24D3/20 ,  B24D3/28 ,  B24D3/344 ,  B24D3/346 ,  B24D5/06 ,  B24D5/063 ,  B24D7/06 ,  B24D7/063

Abstract: The present invention is for a grinding device (10), such as a surface grinding disc or an annular grinding wheel (100), constructed from a plurality of abrasive segments (30) arranged in an array thereon (26) (26’), wherein the plurality of abrasive segments are embedded in a matrix composition (40), and wherein the device is abapted to perform a "dry machining" operation. The abrasive segments may be resin bonded or vitrified and may include diamond or other superhard or superabrasive particles, such as, for example, cubic boron nitride ("cBN"), dispersed therein. Both the abrasive segments (30) and the matrix composition (40) include a dry lubricant, such as hexagonal boron nitride, molybdenum disulfide or graphite, dispersed therein. The abrasive segments (30) further include a melt phase metal composition, such as bronze or other copper alloys, to aid in heat dissipation.

Abstract translation: 本发明用于由多个在其上排列的磨料段（30）构成的磨削装置（10），例如平面磨盘或环形磨轮（100） （26）（26'），其中所述多个研磨部分嵌入在基质组合物（40）中，并且其中所述装置被烘烤以进行“干式加工” 操作。 磨料段可以是树脂粘结或玻璃化的，并且可以包括分散在其中的金刚石或其他超硬或超级磨料颗粒，例如立方氮化硼（“cBN”）。 研磨段（30）和基质组合物（40）都包括分散在其中的干润滑剂，例如六方氮化硼，二硫化钼或石墨。 研磨段（30）还包括熔融相金属组合物，例如青铜或其他铜合金，以有助于散热。

公开(公告)号：WO02055264A1

公开(公告)日：2002-07-18

申请号：PCT/JP2002/000180

申请日：2002-01-15

IPC: B24B13/01 ,  B24B13/02 ,  B24D7/06 ,  B24D7/18 ,  B24D3/06 ,  B24D3/00

CPC classification number: B24D7/18 ,  B24B13/01 ,  B24B13/02 ,  B24D7/06 ,  B24D7/066

Abstract: A grinding stone pellet (1) comprises a cylindrical base (2) fixed on a stand tray (9), and a grinding particle section (5) formed on the end surface (3) of the base (2) by electroless deposition and having a large number of grinding particles. In forming the grinding particle section (5), the distribution of grinding particles in the grinding particle section (5) can be uniformized by forming a plating layer on the end surface (3) of the base (2) while stirring a plating liquid containing grinding particles.

Abstract translation: 磨石颗粒（1）包括固定在支架托盘（9）上的圆柱形基座（2）和通过无电沉积形成在基座（2）的端表面（3）上的研磨颗粒部分，并且具有 大量研磨颗粒。 在研磨粒子部（5）的形成中，通过在基体（2）的端面（3）上形成镀层，同时搅拌含有 研磨颗粒。

公开(公告)号：WO02038339A1

公开(公告)日：2002-05-16

申请号：PCT/BE2000/000137

申请日：2000-11-10

IPC: B24D3/08 ,  B24D5/06 ,  B24D7/06 ,  B24D18/00

CPC classification number: B24D18/0009 ,  B24D3/08 ,  B24D5/06 ,  B24D7/06

Abstract: The invention concerns a method for making a tool comprising at least a machining tip (1) consisting of one or several materials, in particular diamond-based, and a support (3) for the tip(s), the method comprising for the tip or each tip, the shaping of a cavity (2) in the support, according to the desired shape for the tip, setting the support such that the cavity has an opening (4) upwards, filling the cavity with the material(s) (6) constituting said tip, setting a mass (7) of a bonding metal alloy on the material(s) constituting the filling, the alloy being selected to have at least a melting temperature less than that of the support and of the constituting materials, raising the temperature of the whole assembly thus formed, until the bonding alloy melts, so as to allow the alloy to melt and naturally infiltrate so that it fills all the interstices between the constituting materials and between the latter and the wall of the cavity, and cooling the whole infiltrated assembly.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造工具的方法，该工具至少包括由一种或几种材料，特别是金刚石构成的加工尖端（1）和用于尖端的支撑件（3），该方法包括用于尖端 或每个尖端，根据所需的顶端形状将支座中的空腔（2）成形，将支撑件设置成使空腔具有向上的开口（4），用材料填充空腔（ 6）构成所述端头，将构成填充物的材料上的接合金属合金的质量（7）设定为至少具有比载体和构成材料的熔融温度低的熔融温度， 提高如此形成的整个组件的温度，直到接合合金熔化，以使合金熔化并自然渗透，使其填充构成材料之间以及后者与空腔壁之间的所有间隙，以及 冷却整个渗透的组件。

公开(公告)号：WO02032624A1

公开(公告)日：2002-04-25

申请号：PCT/GB2001/004654

申请日：2001-10-19

IPC: B24B37/26 ,  B24D7/06 ,  B24B37/04

CPC classification number: B24B37/26 ,  B24D7/06

Abstract: Working plate (10) is formed of forty-eight sections (10'), with groove (12) extending through the majority of the thickness of the plate. In one form, dovetail grooves are machined to the back of the sections of the plates (10') attached to the base plate (19). In an alternative arrangement, fixing rails are attached to the backs of the sections and the dovetail grooves are in the base plate (19).

Abstract translation: 工作板（10）由四十八个部分（10'）形成，其中凹槽（12）延伸穿过板的大部分厚度。 在一种形式中，将燕尾槽加工到附接到基板（19）的板（10'）的部分的后部。 在另一种布置中，固定导轨附接到部分的后部，燕尾槽位于基板（19）中。

公开(公告)号：WO00058053A1

公开(公告)日：2000-10-05

申请号：PCT/US2000/005709

申请日：2000-03-03

IPC: B24B53/12 ,  B24B37/04 ,  B24B49/02 ,  B24B53/007 ,  B24B53/017 ,  B24B53/14 ,  B24D7/06 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B53/017 ,  B24B37/042 ,  B24B49/02 ,  B24B53/14 ,  B24D7/06

Abstract: A pad shaping tool (10) for shaping a polishing pad (36). The tool includes a disk (12) having a first side (14) and a second side (16) and at least two discontinuous pad shaping surfaces (18) located in spaced apart positions relative to each other on the first side (14) of the disk (12). A process for reconditioning the polishing pad (36) on a rotatable platform of a wafer polishing machine includes the steps of engaging the pad shaping tool (10) with the polishing surface (44) of the pad (36) such that at least two discontinuous pad shaping surfaces (18) of the tool simultaneously engage the polishing surface (44), and rotating the polishing pad (36) while preventing translational movement of the tool (10) relative to the pad so that the tool (10) shapes the polishing surface (44), changing its cross sectional profile from a curved shape to a flatter shape.

Abstract translation: 一种用于成形抛光垫（36）的垫整形工具（10）。 工具包括具有第一侧面（14）和第二侧面（16）的盘片（12）和至少两个不连续的衬垫整形表面（18），它们位于第一侧面（14）上相对于彼此间隔开的位置 盘（12）。 用于在晶片抛光机的可旋转平台上修复抛光垫（36）的方法包括以下步骤：使焊盘成形工具（10）与衬垫（36）的抛光表面（44）接合，使得至少两个不连续 工具的垫成形表面（18）同时接合抛光表面（44），并且旋转抛光垫（36）同时防止工具（10）相对于垫的平移运动，使得工具（10）对抛光进行成形 表面（44）将其横截面轮廓从弯曲形状改变成更平坦的形状。