公开(公告)号：WO2018048788A1

公开(公告)日：2018-03-15

申请号：PCT/US2017/050054

申请日：2017-09-05

申请人： HONEYWELL INTERNATIONAL INC.

发明人： WADE, Richard ,  BRADLEY, Alistair David ,  DAVIS, Richard Alan ,  PATCH, Jason Dennis

IPC分类号： G01L19/06

CPC分类号： G01L9/0054 ,  G01L19/0618

摘要： A pressure sensor may comprise a first wafer comprising a plurality of recesses formed thereon; a second wafer bonded to the first wafer over the plurality of recesses, wherein the second wafer comprises a plurality of sensing diaphragms defined by an area of the second wafer disposed over each recess, and wherein the each recess forms a cavity between the first wafer and the second wafer; one or more sense elements supported by each sensing diaphragm, wherein the at least one sensing diaphragm is configured to contact a surface of the respective cavity to prevent overforce on the at least one sensing diaphragm, and wherein the one or more sense elements on the at least one sensing diaphragm continue to provide an indication of a pressure when the at least one sensing diaphragm is in contact with the surface of the respective cavity.

摘要翻译： 压力传感器可以包括第一晶片，所述第一晶片包括在其上形成的多个凹陷; 第二晶片，所述第二晶片在所述多个凹槽上方结合到所述第一晶片，其中所述第二晶片包括由设置在每个凹槽上方的所述第二晶片的区域限定的多个感测膜片，并且其中，所述每个凹槽在所述第一晶片和所述第二晶片之间形成空腔; 第二晶片; 由每个感测膜片支撑的一个或多个感测元件，其中，所述至少一个感测膜片被配置为接触相应腔体的表面以防止对所述至少一个感测膜片施加过度的力，并且其中， 当至少一个感测膜片与相应腔体的表面接触时，至少一个感测膜片继续提供压力的指示。

公开(公告)号：WO2017092887A1

公开(公告)日：2017-06-08

申请号：PCT/EP2016/068410

申请日：2016-08-02

申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

发明人： ENS, Wolfgang ,  ERDLER, Gilbert Alexander ,  KLEHR, Stefan ,  VON DOSKY, Stefan

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L13/02 ,  G01L19/06 ,  G01L19/14

CPC分类号： G01L9/0044 ,  G01L9/0072 ,  G01L13/025 ,  G01L19/0618 ,  G01L19/141

摘要： Die Erfindung betrifft eine Drucksensoranordnung (1) mit einem Rohr (2 ), in dessen Querschnitt eine mit dem zu messenden Druck (P) beaufschlagte Membran (3) angeordnet ist. Die Membran (3) weist im mittleren Bereich eine hohe Biegesteifigkeit auf und ist im Randbereich mittels zweier Schenkel (8, 9) federnd im Rohr (2) gelagert. Mittel (7, 14, 15) zur Erfassung der axialen Verschiebung sind an der Außenseite des Rohrs (2) von außen gut zugänglich angeordnet und stehen vorteilhaft nicht in Kontakt zum Prozessmedium. Die Drucksensoranordnung (1) zeichnet sich durch einen besonders einfachen konstruktiven Aufbau aus und ist vorteilhaft bei Messumformern zur Prozessinstrumentierung verwendbar.

摘要翻译：

本发明涉及一种压力传感器装置（1），包括一个管（2），进行了压力被测量（P）膜（3）被布置在其横截面。 膜（3）在中间区域具有高弯曲刚度并且借助管（2）中的两个腿（8,9）弹性地安装在边缘区域中。 轴向位移感测装置（7,14,15）以良好间隔的方式布置在管（2）的外侧并且有利地不与过程介质接触。 压力传感器装置（1）的特征在于特别简单的结构设计，并且可有利地用于过程仪表的变送器中。

公开(公告)号：WO2017058046A1

公开(公告)日：2017-04-06

申请号：PCT/RU2015/000632

申请日：2015-09-30

申请人： ROSEMOUNT INC.

发明人： FETISOV, Aleksandr Vladimirovich ,  PETUKHOV, Pavel Aleksandrovich ,  CHERKASHINA, Galina Vladimirovna ,  WILLCOX, Charles R.

IPC分类号： G01L7/08

CPC分类号： G01L19/0618 ,  G01L9/0064 ,  G01L9/0072 ,  G01L19/0046 ,  G01L19/06

摘要： A process fluid pressure transmitter is provided. The process fluid pressure transmitter includes a pressure sensor having an electrical characteristic that changes in response to a deformation of the pressure sensor in response to pressure. Measurement circuitry is coupled to the pressure sensor and is configured to provide an indication of the electrical characteristic. An isolation diaphragm is configured to contact the process fluid and deform in response to process fluid pressure. A substantially incompressible fill fluid fluidically couples the isolation diaphragm to the pressure sensor. An overpressure compliant structure is coupled to the fill fluid and is configured to be substantially rigid at pressures below a selected threshold, but to deform in response to pressure above the selected threshold.

摘要翻译： 提供了一种工艺流体压力变送器。 过程流体压力变送器包括具有响应于压力响应于压力传感器的变形而改变的电特性的压力传感器。 测量电路耦合到压力传感器并且被配置为提供电特性的指示。 隔离隔膜构造成接触过程流体并响应过程流体压力变形。 基本不可压缩的填充流体将隔离膜流体地耦合到压力传感器。 超压兼容结构耦合到填充流体并且构造成在低于所选择的阈值的压力下基本上刚性，但是响应于高于所选阈值的压力而变形。

公开(公告)号：WO2016128950A1

公开(公告)日：2016-08-18

申请号：PCT/IB2016/050777

申请日：2016-02-13

申请人： APLISENS S.A.

发明人： KOŁPAK, Rafał ,  MROZEK, Waldemar

IPC分类号： G01L13/02 ,  G01L19/06 ,  G01L19/14 ,  G01L15/00

CPC分类号： G01L13/026 ,  G01L15/00 ,  G01L19/0618 ,  G01L19/0645 ,  G01L19/142

摘要： The transducer includes a pressure sensor as well as a first and a second seal- tight measurement zone filled with a manometer liquid acting upon sensing elements (10,11) of the pressure sensor. The measurement zones are separa- ted with an overload diaphragm (4) and separated from the sources of measu- red pressures with a first (7') and a second (7") measurement diaphragm. The pressure sensor has a first (15) and a second (16) measurement chamber. Each of the measurement chambers (15,16) has a first (17,18) and a second (19, 20) inlet for the manometer liquid separated from each other with the sensing element (10,11). The first measurement zone is connected with the first inlet (17) of the first measurement chamber (15) and with the second inlet (20) of the second measurement chamber (16). The second measurement zone is connected with the first inlet (18) of the second measurement chamber (16) and with the second inlet (19) of the first measurement chamber (15).

摘要翻译： 换能器包括压力传感器以及填充有作用在压力传感器的感测元件（10,11）上的压力计液体的第一和第二密封紧密测量区域。 测量区域与过载隔膜（4）分开，并与第一（7'）和第二（7“）测量隔膜与测量源的源分离，压力传感器具有第一（15） 每个测量室（15,16）具有第一（17,18）和第二（19,20）入口，用于使用感测元件（10）彼此分离的压力计液体 ，11），第一测量区域与第一测量室（15）的第一入口（17）和第二测量室（16）的第二入口（20）连接，第二测量区域与 第二测量室（16）的第一入口（18）和第一测量室（15）的第二入口（19）。

公开(公告)号：WO2014095417A1

公开(公告)日：2014-06-26

申请号：PCT/EP2013/075765

申请日：2013-12-06

申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG

发明人： THAM, Anh Tuan ,  TEIPEN, Rafael

IPC分类号： G01L13/02 ,  G01L19/06 ,  G01L19/00 ,  G01L19/04

CPC分类号： G01L13/025 ,  G01L19/0618

摘要： Ein hydraulisches Messwerk umfasst einen Messwerkkörper mit einer in eine Richtung orientierten Prozessanschlussfläche (16), welcher einen ersten und einen zweiten hydraulischen Pfad (32, 33) aufweist, die sich von der Prozessanschlussfläche (16) durch den Messwerkkörper zu einer rückseitigen Oberfläche des Messwerkkörpers erstreckten; eine erste und eine zweite Trennmembran (28, 30), welche den ersten und zweiten hydraulischen Pfad (32, 33) verschließen; wobei die hydraulischen Pfad jeweils ein erstes bzw. zweites Druckrohr (20, 22) aufweisen, welche aus der rückseitigen Oberfläche des Messwerkkörpers herausragen, und druckdicht mit dem Messwerkkörper verbunden sind; wobei der Messwerkkörper eine erste und eine zweite Überlastkammer (34, 35), die mittels einer elastischen Überlastmembran (36) getrennt sind, wobei die beiden Überlastkammern (34, 35) jeweils mit einem hydraulischen Pfad (32, 33) kommunizieren.

摘要翻译： 一种液压测量单元包括测量单元体与在具有第一和来自过程连接面（16）延伸的第二液压路径（32，33）的方向上的过程连接面（16）定向为通过测量机构本体延伸到测量单元主体的背面 ; 第一和第二隔膜（28,30），其关闭所述第一和第二液压路径（32，33）; 其中每一个都具有第一和第二压力管（20，22），其从测量单元主体的背面突出的液压路径，和压力密封连接到测量单元主体; 其中，所述测量单元主体具有第一和通过弹性过载膜片（36）的装置的第二过载室（34，35）进行通信是分开的，其中，所述两个过载室（34，35），每个与液压路径（32,33）。

公开(公告)号：WO2013060697A1

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：PCT/EP2012/071000

申请日：2012-10-24

申请人： AUXITROL S.A.

发明人： BRIDA, Sebastiano

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L19/06

CPC分类号： G01L9/0047 ,  B81B3/0051 ,  B81B3/0097 ,  B81B2201/0264 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0048 ,  G01L19/0618

摘要： L'invention concerne une structure micromécanique destinée à mesurer ou à détecter une grandeur mécanique ou une grandeur dynamique, comprenant une membrane (20) déformable et un substrat support (10), la membrane (20) comprenant une première partie (20a) et une seconde partie (20b) entourée par la première partie (20a), la seconde partie (20b) présentant une épaisseur inférieure à l'épaisseur de la première partie (20a), la membrane (20) étant suspendue au-dessus du substrat support (10) définissant ainsi un espace libre (30), ladite structure micromécanique comportant en outre une butée inférieure (21) adaptée pour limiter les déformations de la membrane (20), ladite butée inférieure (21) étant disposée au-dessus du substrat support (10) et s'étend dans l'espace libre (30) à partir dudit substrat support (10) vers la membrane (20), caractérisée en ce que la butée inférieure (21) comporte des ilôts (101 -108) qui s'étendent dans l'espace libre (30) vers la membrane (20) à partir d'une surface plane de la butée inférieure (21 ), les ilôts (101 -108) formant une structure en relief de sorte qu'en cas de contact entre les ilôts (101 -108) et la partie fine (20b) de la membrane (20), la surface de contact entre les ilôts (101 -108) et la partie fine (20b) de la membrane (20) soit faible par rapport aux dimensions de la partie fine (20b) de la membrane (20).

摘要翻译： 本发明涉及一种用于测量或检测包括可变形膜（20）和支撑衬底（10）的机械量或动态量的微机械结构，所述膜（20）包括第一部分（20a）和第二部分 （20b），由所述第一部分（20a）包围，所述第二部分（20b）的厚度小于所述第一部分（20a）的厚度，所述膜（20）悬挂在所述支撑基板（10）的上方，以及 从而限定自由空间（30），所述微机械结构另外包括用于限制膜（20）的变形的下支座（21），所述下支座（21）布置在支撑基板（10）的上方并延伸到 从所述支撑基底（10）到所述膜（20）的自由空间（30），其特征在于，所述下基台（21）包括朝向所述膜（20）延伸到所述自由空间（30）中的小岛（101-108） ）从下部邻接的平坦表面 （21），所述胰岛（101-108）以这样的方式形成浮雕结构，即在所述胰岛（101-108）和所述膜（20）的微细部分（20b）之间接触的情况下， 胰岛（101-108）与膜（20）的微细部分（20b）之间的接触表面相对于膜（20）的微细部分（20b）的尺寸较小。

公开(公告)号：WO2010046149A1

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：PCT/EP2009/060411

申请日：2009-08-12

申请人： ENDRESS+HAUSER GMBH+CO.KG ,  STOLZE, Dieter ,  THAM, Anh Tuan ,  PÄßLER, Frank

发明人： STOLZE, Dieter ,  THAM, Anh Tuan ,  PÄßLER, Frank

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01L19/06 ,  G01L13/02

CPC分类号： G01L9/0042 ,  G01L19/0618

摘要： Ein Drucksensor 20 umfasst einen Grundkörper, eine Messmembran 7, und einen Wandler, wobei die Messmembran 7 ein Halbleitermaterial aufweist, wobei die Messmembran 7 unter Einschluss einer Druckkammer 6 an dem Grundkörper befestigt ist, wobei die Messmembran mit mindestens einem Druck beaufschlagbar ist und druckabhängig elastisch verformbar ist, wobei der Wandler ein von der Verformung der Messmembran abhängiges elektrisches Signal bereitstellt, wobei der Grundkörper ein Membranbett aufweist, an welchem die Messmembran im Falle einer Überlast anliegt, um die Messmembran abzustützen wobei das Membranbett eine Glasschicht 2 aufweist, deren Oberfläche 3 der Messmembran zugewandt ist, und eine Wand der Druckkammer bildet, und wobei die Oberfläche der Glasschicht mit einer Kontur 3 versehen ist, die geeignet ist, die Messmembran im Falle einer Überlast abzustützen.

摘要翻译： 压力传感器20包括一基体，一测量膜片7，和一个转换器，其中，所述测量膜片7包括半导体材料，其中，所述测量膜片7固定，包括一个压力室6到基体，其中，所述测量膜片与至少一个可加压和压力相关的弹性 是可变形的，其特征在于，所述换能器提供了一个依赖于测量膜片电信号的变形，其中，所述基体包括在其上被施加在过载的情况下测量膜支持测量膜片，其特征在于所述隔膜床包括玻璃层2的膜床，的表面3的 测量膜的面，并且形成压力腔室的壁，并且其中所述玻璃层的表面设置有轮廓3，其适合于在过载的情况下支撑所述测量膜片。

公开(公告)号：WO9859228A3

公开(公告)日：1999-03-18

申请号：PCT/US9811645

申请日：1998-06-04

申请人： MKS INSTR INC

发明人： DENNER JOHN A

IPC分类号： G01L9/12 ,  G01L9/00

CPC分类号： G01L19/0618 ,  G01L9/0072

摘要： The disclosed pressure transducer assembly includes metallic body (150, 160), a diaphragm (120), a metallic plate (232), an insulator (236), and a conductor (238). The body defines an interior cavity (110, 112). The diaphragm is mounted in the body and divides the interior cavity into a first chamber and a second chamber. A portion of the diaphragm flexes in a first direction in response to a pressure in the first chamber being greater than a pressure in the second chamber, and that portion of the diaphragm flexes in a second direction opposite the first direction in response to the pressure in the second chamber being greater than the pressure in the first chamber. The metallic plate (232) is fixed to the metallic body in one of the first and second chambers. The insulator (236) is also disposed in that chamber and is fixed to the metallic plate. The conductor (238) is disposed on the insulator. The diaphragm (120) and the conductor (238) are characterized by a capacitance. The capacitance is representative of a difference between the pressures in the first and second chambers.

公开(公告)号：WO1996006338A2

公开(公告)日：1996-02-29

申请号：PCT/US1995010610

申请日：1995-08-18

申请人： THE FOXBORO COMPANY

发明人： THE FOXBORO COMPANY ,  KARAS, Edwin, L.

IPC分类号： G01L09/00

CPC分类号： G01L19/147 ,  G01L13/026 ,  G01L19/0046 ,  G01L19/0618 ,  G01L19/0663 ,  G01L19/0681

摘要： A pressure transmitter apparatus having a unitary body portion, separate diaphragms and flange elements and disposed within the body, a first and second normally vertical pressure passages. The first and second pressure passageways communicate respectively between first and second pressure openings extending normally horizontally through the body portion, and a transducer mounting element. The mounting element, coupled to the body portion and located above the pressure passageways, mounts a transducer that generates a differential pressure signal. One or a pair of diaphragm elements are configured to form first and second process diaphragms, closing first and second pressure openings. The flange element overlies the diaphragm element and is removably and replaceably secured to the body portion. The pressure transmitter also includes a flame retardation element that is disposed within at least one of the pressure passageways, and an overrange protection element, integrally arranged with the unitary body portion, that protects the transducer from overrange pressure fluctuations. Special flange plane geometries optimize size and sensitivity of isolation diaphragms.

摘要翻译： 一种具有整体主体部分，分离的隔膜和凸缘元件并设置在主体内的压力变送器设备，第一和第二正常垂直的压力通道。 第一和第二压力通道分别在通过主体部分正常水平延伸的第一和第二压力开口之间连通，以及换能器安装元件。 耦合到主体部分并且位于压力通道上方的安装元件安装产生差压信号的换能器。 一个或一对隔膜元件构造成形成第一和第二过程隔膜，关闭第一和第二压力开口。 凸缘元件覆盖在隔膜元件上，并可拆卸地且可更换地固定在主体部分上。 压力变送器还包括设置在压力通道中的至少一个压力通道中的阻燃元件和与整体主体部分整体设置的超范围保护元件，其保护换能器免受过大的压力波动的影响。 特殊的法兰面几何尺寸优化隔离膜的尺寸和灵敏度。

公开(公告)号：WO1987004789A1

公开(公告)日：1987-08-13

申请号：PCT/GB1987000079

申请日：1987-02-04

申请人： SEETRU LIMITED ,  VARGA, Otto, Herman ,  GODDARD, Robert, William

发明人： SEETRU LIMITED

IPC分类号： G01L07/08

CPC分类号： G01L11/006 ,  G01L19/0618

摘要： Pneumatic pressure sensor of the kind where the pressure to be sensed acts on a diaphragm (50) which moves to control the exhaust of gas from a pressurized control chamber (20). The invention provides means for inhibiting or preventing the diaphragm from becoming overstrained. To support the diaphragm against excessive external pressure the diaphragm is mounted spaced a small distance in front of a backing plate (10); while to protect it from excessive internal pressure, firstly, mechanical stop means (62) are provided for limiting the outward movement permitted to a rod (60) fixed to the diaphragm centre, and secondly, pressure control means are provided for limiting to a predetermined extent, and relative to the pressure acting externally, the maximum gas pressure which can act upon the internal face of the diaphragm.

摘要翻译： 要感测的压力的气动压力传感器作用在隔膜（50）上，该隔膜（50）移动以控制来自加压控制室（20）的气体排气。 本发明提供了抑制或防止隔膜变得过大的装置。 为了支撑隔膜抵抗过大的外部压力，隔膜在背板（10）的前面安装间隔很小的距离; 同时为了保护其免受过度的内部压力，首先，提供机械止动装置（62），用于限制允许固定到隔膜中心的杆（60）的向外运动，其次提供压力控制装置以限制到预定的 程度和相对于外部作用的压力，可以作用在隔膜内表面上的最大气体压力。