公开(公告)号：WO2007019045A1

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：PCT/US2006/028790

申请日：2006-07-25

Applicant: EASTMAN KODAK COMPANY ,  GIESE, Troy A.

Inventor： GIESE, Troy A.

IPC: B65H3/62 ,  B65H3/46 ,  B65H7/18 ,  G03B27/53

CPC classification number: B65H3/46 ,  B65H3/08 ,  B65H2301/42342 ,  B65H2515/50 ,  G03B27/53 ,  B65H2220/02

Abstract: A media supply system (40) suitable for use in an imaging apparatus (30) to remove sheets of imaging media from a stack (42) . Media supply system includes a pickup assembly (50) and an actuator system (52) . Pickup assembly is moveable between a first and second position, wherein a portion of the pickup assembly is configured to selectively engage a first sheet of the stack when the pickup assembly is in the first position. Actuator system is selectively coupled to the pickup assembly to move the pickup assembly between the first and the second position and to vibrate the portion of the pickup assembly engaging the first sheet at a desired frequency after moving the pickup assembly from the first position, wherein the desired frequency is based on characteristics of the sheets of imaging media.

Abstract translation: 一种适于在成像设备（30）中使用以从堆叠（42）去除成像介质的片材的介质供应系统（40）。 介质供应系统包括拾取组件（50）和致动器系统（52）。 拾取组件可在第一和第二位置之间移动，其中拾取组件的一部分构造成当拾取组件处于第一位置时选择性地接合堆叠的第一片。 致动器系统选择性地联接到拾取器组件以在第一位置和第二位置之间移动拾取器组件，并且在将拾取组件从第一位置移动之后使拾取组件的与第一片材接合的部分以期望的频率振动，其中 期望的频率基于成像介质片的特性。

公开(公告)号：WO2012010458A1

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：PCT/EP2011/061822

申请日：2011-07-12

Applicant: ASML NETHERLANDS B.V. ,  VAN DER SCHAAR, Maurits ,  DEN BOEF, Arie ,  FUCHS, Andreas ,  COOGANS, Martyn ,  BHATTACHARYYA, Kaustuve ,  KUBIS, Michael ,  MORGAN, Stephen

Inventor： VAN DER SCHAAR, Maurits ,  DEN BOEF, Arie ,  FUCHS, Andreas ,  COOGANS, Martyn ,  BHATTACHARYYA, Kaustuve ,  KUBIS, Michael ,  MORGAN, Stephen

IPC: G03F7/20

CPC classification number: A01H1/06 ,  A01G22/00 ,  C12N15/8201 ,  G03B27/52 ,  G03B27/53 ,  G03F7/705 ,  G03F7/70633

Abstract: A method of determining an overlay error. Measuring an overlay target having process-induced asymmetry. Constructing a model of the target. Modifying the model, e.g., by moving one of the structures to compensate for the asymmetry. Calculating an asymmetry-induced overlay error using the modified model. Determining an overlay error in a production target by subtracting the asymmetry-induced overlay error from a measured overlay error. In one example, the model is modified by varying asymmetry p (n'), p (n'') and the calculating an asymmetry-induced overlay error is repeated for a plurality of scatterometer measurement recipes and the step of determining an overlay error in a production target uses the calculated asymmetry-induced overlay errors to select an optimum scatterometer measurement recipe used to measure the production target.

Abstract translation: 确定重叠错误的方法。 测量具有过程引起的不对称性的覆盖目标。 构建目标模型。 修改模型，例如通过移动结构之一来补偿不对称性。 使用修改的模型计算不对称引起的覆盖误差。 通过从测量的重叠错误中减去不对称引起的覆盖误差来确定生产目标中的重叠错误。 在一个示例中，通过改变不对称p（n'），p（n“）修改模型，并且对于多个散射仪测量配方重复计算不对称引起的重叠误差，并且确定叠加误差的步骤 生产目标使用计算的不对称引起的重叠误差来选择用于测量生产目标的最佳散射仪测量配方。

公开(公告)号：WO1993021559A1

公开(公告)日：1993-10-28

申请号：PCT/JP1993000472

申请日：1993-04-13

Applicant: NORITSU KOKI CO., LTD. ,  MIYAWAKI, Hiroshi ,  ITOJIMA, Mitsuhiko ,  NAKAO, Hiroto ,  OKA, Takayuki ,  MAEDA, Hisahiro ,  TSUJI, Masaaki ,  AKIRA, Toshiro

Inventor： NORITSU KOKI CO., LTD.

IPC: G03B27/32

CPC classification number: G03B13/18 ,  G03B27/32 ,  G03B27/522 ,  G03B27/53 ,  G03B27/588 ,  G03B35/14

Abstract: A printing machine includes a movable lens, which may be placed in position at the time of printing and held at a stand-by position spaced apart from a film during other operations. In this way, maintenance and adjustment of the lens become easy. A sample print monitor comprising a CCD camera, a line sensor, etc., is provided for measuring deviation of the center of exposure to automatically register correction values. A desired exposure angle is obtained by rotating a negative mask portion, a lens portion, an exposure table, etc., at the same angle. In addition to a rotary mechanism, the lens portion is slid finely so as to constitute a printing machine of a three-dimensional photograph having higher accuracy. Moving means are provided to an enlarging lens and to the exposure table so as to effect printing by trimming. An edge shaver is caused to act in a rectangular direction to the travelling direction of printing paper so as to cut off dust within the range of the end surface of the tip of printing paper cut by a cutter, and the dust is sucked by a dust suction mechanism and is sent to a dust box.

Abstract translation: 印刷机包括可移动透镜，其可以在打印时放置在适当的位置，并且在其它操作期间保持在与胶片隔开的待机位置。 以这种方式，镜头的维护和调整变得容易。 提供了包括CCD照相机，线传感器等的样本打印监视器，用于测量曝光中心的偏差以自动记录校正值。 通过以相同的角度旋转阴罩部分，透镜部分，曝光台等来获得期望的曝光角度。 除了旋转机构之外，透镜部分被精细地滑动以构成具有更高精度的三维照片的打印机。 将移动装置提供给放大镜头和曝光台，以通过修剪来实现打印。 使边缘剃须刀沿着打印纸的行进方向的矩形方向作用，以便在由切割器切割的打印纸的端部的端表面的范围内切除灰尘，并且灰尘被灰尘吸入 抽吸机构，并送到集尘箱。

公开(公告)号：WO2012032904A1

公开(公告)日：2012-03-15

申请号：PCT/JP2011/068575

申请日：2011-08-16

Applicant: 株式会社ブイ・テクノロジー ,  水村 通伸

Inventor： 水村　通伸

IPC: G03F9/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68

CPC classification number: G03F9/00 ,  G03B17/24 ,  G03B27/53 ,  G03B27/58 ,  G03F7/2002 ,  G03F7/70791

Abstract: 　フィルム基材（２０）の幅方向の両側のフィルム基材送給用領域の少なくとも一方に側部露光材料膜を形成し、アライメントマーク形成部（１４）により、露光光を照射してアライメントマーク（２ａ）を形成し、このアライメントマーク（２ａ）を使用して、フィルム蛇行を検出してマスク（１２）の位置を調整する。これにより、フィルムを連続露光する際のアライメントマークの形成が容易であり、フィルムの蛇行を精度良く補正して、安定的に露光できるフィルム露光装置及びフィルム露光方法を得ることができる。

Abstract translation: 在本发明中，在膜基材（20）的交叉方向的两侧的一个或两个膜基材供给区域中形成有横向设置的曝光材料膜。 对准标记形成区域（14）通过曝光光的照射形成对准标记（2a）。 该对准标记（2a）用于检测胶片的曲折并调整掩模（12）的位置。 因此，获得了能够在连续曝光期间容易地形成对准标记的膜曝光装置和膜曝光方法，以高精度校正膜曲折并且稳定地曝光膜的这种曝光装置和膜曝光方法。