公开(公告)号：WO2013022713A2

公开(公告)日：2013-02-14

申请号：PCT/US2012049369

申请日：2012-08-02

Applicant: KLA TENCOR CORP ,  KREN GEORGE ,  DOYLE PAUL ,  BELYAEV ALEXANDER

Inventor： KREN GEORGE ,  DOYLE PAUL ,  BELYAEV ALEXANDER

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/66

CPC classification number: H01L21/68735 ,  Y10T279/11 ,  Y10T279/21 ,  Y10T279/34

Abstract: The present invention is directed to a high speed, spinning chuck for use in a semiconductor wafer inspection system. The chuck of the present disclosure is configured with a turbulence-reducing lip. Spinning of the chuck produces radial airflows proximal to a surface of the wafer and proximal to the bottom of the chuck. The turbulence-reducing lip of the chuck of the present disclosure directs the radial airflows off of the top surface of the wafer and the bottom surface of the chuck in a manner that minimizes the size of the low pressure zone formed between these radial airflows. The minimization of the low pressure zone reduces air turbulence about the periphery of the chuck and substrate, thereby reducing the possibility of contaminants in the system being directed onto the surface of the substrate by such air turbulence.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于半导体晶片检查系统的高速纺丝卡盘。 本公开的卡盘配置有减少湍流的唇部。 卡盘的旋转产生靠近晶片表面并靠近卡盘底部的径向气流。 本公开的卡盘的减少湍流的唇部以使得在这些径向气流之间形成的低压区域的尺寸最小化的方式引导径向气流离开晶片的顶表面和卡盘的底表面。 低压区域的最小化减小了卡盘和基板周边的空气湍流，从而降低了系统中的污染物通过这种空气湍流被引导到基板的表面上的可能性。

公开(公告)号：WO2011038730A1

公开(公告)日：2011-04-07

申请号：PCT/DE2010/075068

申请日：2010-07-29

Applicant: RÖHM GMBH ,  HANGLEITER, Eugen ,  SCHENK, Peter

Inventor： HANGLEITER, Eugen ,  SCHENK, Peter

IPC: B23B31/28 ,  B23Q17/00

CPC classification number: B23B31/28 ,  B23B2260/062 ,  B23B2260/128 ,  Y10T29/49771 ,  Y10T29/4978 ,  Y10T29/49998 ,  Y10T29/53087 ,  Y10T279/21 ,  Y10T279/275 ,  Y10T409/30952

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einspannen eines Werkzeugs oder eines Werkstücks mittels eines Elektrospanners (1), der ein an der Arbeitsspindel einer Werkzeugmaschine befestigtes Gehäuse (2), in dem axial verstellbar eine Gewindestange (3) zur Verstellung der Spannbacken eines Spannfutters gelagert ist, und einen elektrischen Stellmotor (4) umfaßt, dessen Rotor in Antriebsverbindung mit einem die Spindelmutter (7) der Gewindestange (3) verstellenden Antriebsrad (6) steht, wobei der Gewindestange (3) ein erster Sensor zur Erfassung von deren axialer Position und der Spindelmutter (7) ein zweiter Sensor zur Erfassung von deren axialer Position zugeordnet ist, umfassend den Verfahrensschritt der Bestimmung der Position der Gewindestange (3) mittels des erstens Sensors bei Auftreten einer leichten axialen Kraft infolge des Anliegens der Spannbacken an dem Werkzeug bzw. dem Werkstück, und fortgesetzter Verstellung der Spindelmutter (7), bis mittels des zweiten Sensors eine vorgegebene Geberdifferenz (12) zwischen dem ersten Sensor und dem zweiten Sensor festgestellt ist. Gegenstand der Erfindung ist weiterhin eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于夹紧刀具或工件的方法通过（1）固定于工具机壳体（2）的工作主轴的壳体，在轴向可调节螺纹杆（3），用于调节的卡盘的夹爪支承的电动张紧的装置， 和电动控制马达（4），其中转子在驱动具有心轴螺母（7）的螺纹杆（3）的驱动轮（6），其中，所述螺纹杆（3），用于检测的轴向位置的第一传感器和所述主轴螺母连接调节 （7）的第二传感器被分配用于检测的轴向位置包括：在轻微轴向力发生由所述第一传感器来确定所述螺纹杆（3）的位置的步骤，由于在刀具或工件上的夹紧爪的抵接， 延续了主轴螺母（7）的位移，所述第二传感器的装置，VO rgegebene差编码器（12）在所述第一传感器和第二传感器之间建立。 本发明进一步提供了用于执行该方法的装置。

公开(公告)号：WO2007124809A1

公开(公告)日：2007-11-08

申请号：PCT/EP2007/001797

申请日：2007-03-02

Applicant: SYSTEM 3R INTERNATIONAL AB ,  DAHLQUIST, Hakan

Inventor： DAHLQUIST, Hakan

IPC: B23Q17/24

CPC classification number: B23H7/26 ,  B23B31/02 ,  B23C2260/76 ,  B23Q1/0072 ,  B23Q1/34 ,  B23Q17/003 ,  B23Q17/2495 ,  Y10T279/21 ,  Y10T279/34

Abstract: Es wird eine Spannvorrichtung (1) vorgeschlagen für ein Werkzeug oder ein Werkstück, umfassend ein Spannfutter (2) und einen zum Spannfutter (2) passenden Werkzeug- oder Werkstückhalter (3), wobei das Spannfutter (2) Pfosten (7) mit Anlageflächen (13) zur Ausrichtung des Werkzeuges oder Werkstückes in einer X- und Y-Richtung und mit Stirnflächen (6) zur Festlegung einer Ebene senkrecht zur Z-Richtung aufweist, wobei in den Anlageflächen (13) und in den Stirnflächen (6) Einrichtungen (5) zur Messung der Distanz zwischen dem Spannfutter (2) und dem Werkzeug- oder dem Werkstückhalter (3) ausgebildet sind.

Abstract translation: 它提出了一种张紧装置（1）用于工具或工件，包括：卡盘（2）和一个到卡盘（2）匹配的工具或工件保持器（3），所述卡盘（2）柱（7）（与对接面 13）用于定向在X和Y方向上的工具或工件，并具有端面（6）建立的平面垂直于Z方向（在接触表面13）和（在端面6）的装置（5 ）被设计用于测量卡盘（2）和所述工具或所述工件保持器（3）之间的距离。

公开(公告)号：WO2012018592A1

公开(公告)日：2012-02-09

申请号：PCT/US2011/045221

申请日：2011-07-25

Applicant: ILLINOIS TOOL WORKS INC. ,  KALEJA, Bodo

Inventor： KALEJA, Bodo

IPC: B23Q17/00 ,  B23B31/16

CPC classification number: B23B31/16 ,  B23B31/1627 ,  B23B2260/128 ,  B23Q17/005 ,  Y10T279/21

Abstract: The invention relates to a power-operated chuck (100) for a tool spindle of a machine tool, in particular a lathe, comprising a chuck body (11) and at least one chucking device (10, 10a, 10b, 10c) which is guided in a radial guide of the chuck body (11) and which, for exerting a desired chucking force on a workpiece chucked in the chuck (100), can be adjusted relative to the chuck body (11) by a chucking-force generator via at least one drive member arranged in the chuck body (11). In order to ensure, in a manner which is simple to realize but is nonetheless effective, that a machining operation is carried out only under predetermined conditions, it is provided according to the invention that the at least one chucking device (10, 10a, 10b, 10c) has a measuring device (14) for measuring a chucking force exerted by the chucking device (10, 10a, 10b, 10c) on the workpiece chucked in the chuck (100) and an evaluating device (12) for evaluating the chucking force measured by the measuring device (14).

Abstract translation: 本发明涉及一种用于机床，特别是车床的工具主轴的动力操作卡盘（100），其包括卡盘主体（11）和至少一个夹紧装置（10,10a，10b，10c） 在卡盘主体（11）的径向引导件中被引导，并且为了在卡盘（100）上夹紧的工件上施加期望的夹紧力，可以通过夹紧力发生器通过卡盘体（11）相对于卡盘体（11）进行调节 布置在卡盘主体（11）中的至少一个驱动构件。 为了确保以简单实现但仍然有效的方式仅在预定条件下进行加工操作，根据本发明提供了至少一个夹紧装置（10,10a，10b） ，10c）具有用于测量夹持装置（10,10a，10b，10c）施加在卡盘（100）上的工件上的夹持力的测量装置（14）和用于评估夹紧装置 由测量装置（14）测量的力。

公开(公告)号：WO2008052513A1

公开(公告)日：2008-05-08

申请号：PCT/DE2007/001893

申请日：2007-10-24

Applicant: RÖHM GMBH ,  TAGLANG, Johann ,  KUSNIK, Thorsten

Inventor： TAGLANG, Johann ,  KUSNIK, Thorsten

IPC: B23B31/28

CPC classification number: B23B31/28 ,  B23B2260/062 ,  B23B2260/076 ,  Y10T74/18576 ,  Y10T82/26 ,  Y10T279/19 ,  Y10T279/21

Abstract: Die Erfindung betrifft einen Elektrospanner mit einem an der Arbeitsspindel einer Werkzeugmaschine befestigbaren Gehäuse (2), in dem axial verstellbar eine Gewindestange (3) zur Verstellung der Spannbacken eines Spannfutters gelagert ist, und mit einem elektrischen Stellmotor (4), dessen Rotor in Antriebsverbindung mit einem Antriebsrad (6) steht. Das Antriebsrad (6) ist mit dem Wellengenerator (7) eines Gleitkeilgetriebes (harmonic drive) und das Hohlrad (8) des Gleitkeilgetriebes ist mit dem Gehäuse (2) verbunden, wobei dass die eine Außenverzahnung aufweisende Stahlbüchse (Flexspline) (9) des Gleitkeilgetriebes als Antrieb für die der. Gewindestange (3) zugeordnete Spindelmutter vorgesehen ist.

Abstract translation: 本发明涉及一种电动卡件与紧固到机床壳体（2）的工作主轴，在轴向可调节螺纹杆被支撑（3），用于调节卡盘的夹爪，并用电气控制马达（4），其转子驱动地连接到 是驱动轮（6）。 驱动轮（6）被连接到一个Gleitkeilgetriebes（谐波驱动器）的波发生器（7）和环形齿轮（8）Gleitkeilgetriebes被连接到所述壳体（2），其中，所述Gleitkeilgetriebes的具有钢套管（柔轮）的外齿（9） 作为驱动的。 相关联的螺纹杆（3）主轴螺母设置。

公开(公告)号：WO2007012397A2

公开(公告)日：2007-02-01

申请号：PCT/EP2006006753

申请日：2006-07-11

Applicant: SCHUNK GMBH & CO KG ,  SCHUSTER ANDREAS ,  FELLHAUER BRUNO

Inventor： SCHUSTER ANDREAS ,  FELLHAUER BRUNO

IPC: B23Q17/00

CPC classification number: B23B31/24 ,  B23B2231/26 ,  B23B2260/128 ,  Y10T279/21

Abstract: The invention relates to a polling system for a moved machine component, comprising a polling subunit that is to be disposed at the machine component end and is provided with at least one switch which operates without power in a certain state of the machine component or a certain position of a part of the machine component, a radio transmitter unit that evaluates the switching modes of the switch and transmits the evaluated switching signals with digital radio switching signals, and an electric power source for supplying the radio transmitter unit. The inventive polling system further comprises a radio receiver unit which is stationary relative to the polling subunit and is used for receiving and evaluating, forwarding and/or displaying the signals received from the radio transmitter unit.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于运动的机器部件的询问系统，包括在所述机器组件的一个特定的状态或在无电源操作开关的机器组成部件的特定位置，用于与至少一个机器部件侧布置的查询模块，与所述交换机以及与数字所评估的开关信号的开关状态评估 无线电EHALT信号航运无线电发送器单元，以及用于提供所述无线电发送单元和包括一个相对于所述查询模块固定可布置无线接收单元，用于接收和评估，转发和/或显示从无线发射器单元的信号接收到的信息的电功率源。

公开(公告)号：WO1992009401A1

公开(公告)日：1992-06-11

申请号：PCT/US1991008329

申请日：1991-11-18

Applicant: BRYANT GRINDER CORPORATION

Inventor： BRYANT GRINDER CORPORATION ,  CROSSMAN, Richard, E. ,  DZEWALTOWSKI, Victor ,  DODD, Walter

IPC: B23Q03/18

CPC classification number: B24B41/067 ,  B23Q3/183 ,  B24B47/22 ,  G05B19/402 ,  Y10T82/27 ,  Y10T279/21 ,  Y10T279/26

Abstract: A workpart chuck centering mechanism moves towards the axis of rotation of the chuck as the chuck rotates in an eccentric non-centered position. The centering mechanism includes two independent shoes (14, 16). Each shoe is driven by a servo-motor and encoder. The two shoes (14, 16) function in a cooperative manner to center the workpart (18). A sensing device (12) monitors any eccentric movement of the workpart (18) and controls the positioning of the shoes (14, 16). The two shoes (14, 16) and the sensing device (12) are mounted on a base (10) which can pivot about the chuck axis. The directions of movement of the respective shoes (14, 16) are displaced 90° relative to one another and intersect at the chuck axis.

公开(公告)号：WO2009019794A1

公开(公告)日：2009-02-12

申请号：PCT/JP2007/065791

申请日：2007-08-06

Applicant: 株式会社牧野フライス製作所 ,  金子弘生

Inventor： 金子弘生

IPC: B23Q3/12 ,  G05B19/418

CPC classification number: B23Q3/15546 ,  G05B2219/49304 ,  Y02P90/10 ,  Y10T279/21 ,  Y10T279/34 ,  Y10T408/16 ,  Y10T408/21 ,  Y10T409/309408 ,  Y10T409/309464 ,  Y10T409/30952 ,  Y10T483/134

Abstract: ＩＤタグ（２７）は、中空テーパシャンクを有する工具ホルダ（１１）の中空穴（１７）の底面（３１）に取り付けられる。具体的には、中空部（１７）の底面（３１）に円形の凹部（３３）を形成し、形成された凹部（３３）内に円柱形状のＩＤタグ（２７）が接着剤等により取り付けられる。ここで円形の凹部（３３）の中心を工具ホルダ（１１）の回転中心軸に一致させる。

Abstract translation: ID标签（27）与具有中空锥形柄的工具架（11）的中空部（17）的底面（31）相配合。 特别地，在中空部（17）的底面（31）上形成有圆形的凹部（33），圆柱形的ID标签（27）通过粘合剂等固定在所形成的凹部 部分（33）。 使圆形凹部（33）的中心与工具架（11）的旋转中心轴一致。

公开(公告)号：WO2007012397A8

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：PCT/EP2006006753

申请日：2006-07-11

Applicant: SCHUNK GMBH & CO KG ,  SCHUSTER ANDREAS ,  FELLHAUER BRUNO

Inventor： SCHUSTER ANDREAS ,  FELLHAUER BRUNO

IPC: B23Q17/00

CPC classification number: B23B31/24 ,  B23B2231/26 ,  B23B2260/128 ,  Y10T279/21

Abstract: The invention relates to a polling system for a moved machine component, comprising a polling subunit that is to be disposed at the machine component end and is provided with at least one switch which operates without power in a certain state of the machine component or a certain position of a part of the machine component, a radio transmitter unit that evaluates the switching modes of the switch and transmits the evaluated switching signals with digital radio switching signals, and an electric power source for supplying the radio transmitter unit. The inventive polling system further comprises a radio receiver unit which is stationary relative to the polling subunit and is used for receiving and evaluating, forwarding and/or displaying the signals received from the radio transmitter unit.

Abstract translation: 本发明涉及一种询问系统用于运动的机器部件，其包括评估查询模块，用于机器构件侧布置有至少一个无动力在所述机器组件的特定状态或在机器部件部分开关的某个位置工作，与开关的和所评估的开关信号与数字无线电内容的切换状态 信号航运无线电发送器单元，以及用于提供所述无线电发送单元和包括一个相对于所述查询模块固定可布置无线接收单元，用于接收和评估，转发和/或显示从无线发射器单元的信号接收到的信息的电功率源。

公开(公告)号：WO2006119728A1

公开(公告)日：2006-11-16

申请号：PCT/DE2006/000748

申请日：2006-04-27

Applicant: RÖHM GMBH ,  MACK, Hans-Dieter

Inventor： MACK, Hans-Dieter

IPC: B23B31/12

CPC classification number: B23B31/123 ,  B23B31/1238 ,  B23B31/1253 ,  B23B2231/06 ,  B23B2231/14 ,  B23B2231/38 ,  B23B2260/0445 ,  B23B2260/128 ,  Y10T279/17632 ,  Y10T279/20 ,  Y10T279/21 ,  Y10T408/165

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Bohrvorrichtung mit einer antreibbaren, in einem Spindelgehäuse (3) einer Bohrmaschine (1) drehbar gelagerten Bohrspindel (4) und mit einem an das Spindelende angeschlossenen Bohrfutter (2), das einen koaxial und drehfest an der Bohrspindel (4) angeschlossenen Futterkörper (5) mit Spannbacken (6) aufweist, die relativ zum Futterkörper (5) durch eine gegenüber dem Futterkörper (5) verdrehbare Spannhülse (14) verstellbar sind. Dem Spindelgehäuse (3) ist ein in Abhängigkeit des Betriebszustandes des Bohrfutters (2) die Antriebssteuerung der Bohrmaschine (1) beeinflussender Sensor (15, 16, 17, 18, 32, 33) zugeordnet.

Abstract translation: 本发明涉及一种具有可驱动的一个钻孔装置，在主轴壳体（3）钻机（1）可旋转地安装钻轴（4）和具有连接到所述主轴卡盘（2），其被同轴地且可转动地连接在钻轴的端部的输入（4） 具有卡盘主体（5）与夹爪（6）相对于所述卡盘主体（5）是由相对于所述卡盘主体（5）可旋转的夹紧套筒（14）可调节的。 主轴壳体（3）是（2），所述钻机（1）影响传感器的驱动控制（15，16，17，18，32，33）被分配该卡盘的操作条件的函数。