公开(公告)号：WO2021252779A1

公开(公告)日：2021-12-16

申请号：PCT/US2021/036836

申请日：2021-06-10

Applicant: MENLO MICROSYSYSTEMS, INC.

Inventor： JEON, Jaeseok ,  KEIMEL, Christopher, F. ,  NASSAR, Chris ,  MINNICK, Andrew

IPC: C03C17/36 ,  C03C17/09 ,  C03C17/22 ,  C03C17/34 ,  H01L21/48 ,  H01L23/15 ,  H01L23/498 ,  B81C1/00 ,  B81B2203/0353 ,  B81C1/00095 ,  B81C2201/0181 ,  C03C17/225 ,  C03C17/3411 ,  C03C17/3435 ,  C03C17/3602 ,  C03C17/3605 ,  C03C17/3615 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3639 ,  C03C17/3649 ,  C03C17/3655 ,  C03C17/3668 ,  C23C16/402 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/486 ,  H01L23/291 ,  H01L23/49827

Abstract: A through-glass via (TGV) formed in a glass substrate may comprise a metal plating layer formed in the TGV. The TGV may have a three-dimensional (3D) topology through the glass substrate and the metal plating layer conformally covering the 3D topology. The TGV may further comprise a barrier layer disposed over the metal plating layer, and a metallization layer disposed over the barrier layer. The metallization layer may be electrically coupled to the metal plating layer through the barrier layer. The barrier layer may comprise a metal- nitride film disposed on the metal plating layer that is electrically coupled to the metallization layer. The barrier layer may comprise a metal film disposed over the metal plating layer and over a portion of glass surrounding the TGV, and an electrically-insulating film disposed upon the metal film, the electrically-insulating film completely overlapping the metal plating layer and partially overlapping the metal film.

公开(公告)号：WO2023275493A1

公开(公告)日：2023-01-05

申请号：PCT/FR2022/051298

申请日：2022-06-29

Applicant: SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE

Inventor： FONNE, Jean-Thomas ,  GUIMARD, Denis ,  MANCINI, Lorenzo ,  ZENID, Nadia

IPC: C23C28/04 ,  C23C14/02 ,  C23C14/08 ,  C23C14/18 ,  C23C16/26 ,  C23C16/56 ,  C23C28/00 ,  C23C14/58 ,  C03C17/00 ,  C03C17/22 ,  C03C17/34 ,  C03C17/3411 ,  C03C2217/78 ,  C03C2218/355 ,  C23C14/024 ,  C23C14/086 ,  C23C14/185 ,  C23C14/5806 ,  C23C14/5873 ,  C23C28/046 ,  C23C28/321 ,  C23C28/322 ,  C23C28/343

Abstract: La présente invention se rapporte un substrat revêtu d'un empilement de couches comprenant la succession des couches suivantes à partir de la surface dudit substrat : - une couche de carbone de type diamant DLC, - une couche à base de germanium ou à base d'oxyde de germanium présentant une épaisseur comprise entre 2 et 40 nm, de préférence entre 2 et 20 nm, ladite couche à base de germanium ou à base d'oxyde de germanium comprenant une quantité d'étain inférieure à 20%, et - éventuellement une couche barrière à l'oxygène. La présente invention concerne également un procédé de fabrication d'un substrat traité thermiquement revêtu d'un empilement de couches, tel que décrit ci-dessus, comprenant au moins une couche de carbone de type diamant DLC.

公开(公告)号：WO2021254976A1

公开(公告)日：2021-12-23

申请号：PCT/EP2021/066008

申请日：2021-06-15

Applicant: SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE

Inventor： NEFT, Anna ,  DO ROSARIO, Jefferson

IPC: B32B17/10 ,  C03C17/36 ,  B32B17/10036 ,  B32B17/10119 ,  B32B17/10229 ,  B32B17/10275 ,  B32B17/10348 ,  B32B17/10504 ,  B32B17/10532 ,  B32B17/10577 ,  B32B17/10651 ,  B32B17/10761 ,  B32B17/1077 ,  B32B17/10788 ,  B32B2255/10 ,  B32B2333/12 ,  B32B2369/00 ,  C03C17/3411 ,  C03C17/3644 ,  C03C17/366 ,  C03C2217/944 ,  C03C2217/948

Abstract: Die Erfindung betrifft eine Verbundscheibe, umfassend eine laminierte Stapelfolge aus - einer Außenscheibe (1) mit einer außenseitigen Oberfläche (I) und einer innenraumseitigen Oberfläche (II), - einer Innenscheibe (2) mit einer außenseitigen Oberfläche (III) und einer innenraumseitigen Oberfläche (IV), und - mindestens einer thermoplastischen Zwischenschicht (3), welche die innenraumseitige Oberfläche (II) der Außenscheibe (1) mit der außenseitigen Oberfläche (III) der Innenscheibe (2) verbindet, wobei - eine Sonnenschutzbeschichtung (4) direkt auf die innenraumseitige Oberfläche (II) der Außenscheibe (1) aufgebracht ist, welche im Wesentlichen Strahlen außerhalb des sichtbaren Spektrums der Sonnenstrahlung, insbesondere Infrarotstrahlen, reflektiert oder absorbiert, - eine Wärmestrahlen reflektierende Beschichtung (5) direkt auf der innenraumseitigen Oberfläche (IV) der Innenscheibe (2) aufgebracht ist, und - die thermoplastische Zwischenschicht (3) in mindestens einem Bereich eine aufgedruckte opake Schicht (6) aufweist.

公开(公告)号：WO2021252779A8

公开(公告)日：2021-12-16

申请号：PCT/US2021/036836

申请日：2021-06-10

Applicant: MENLO MICROSYSTEMS, INC.

Inventor： JEON, Jaeseok ,  KEIMEL, Christopher, F. ,  NASSAR, Chris ,  MINNICK, Andrew

IPC: C03C17/36 ,  C03C17/09 ,  C03C17/22 ,  C03C17/34 ,  H01L21/48 ,  H01L23/15 ,  H01L23/498 ,  B81C1/00 ,  B81B2203/0353 ,  B81C1/00095 ,  B81C2201/0181 ,  C03C17/225 ,  C03C17/3411 ,  C03C17/3435 ,  C03C17/3602 ,  C03C17/3605 ,  C03C17/3615 ,  C03C17/3626 ,  C03C17/3639 ,  C03C17/3649 ,  C03C17/3655 ,  C03C17/3668 ,  C23C16/402 ,  C23C16/45525 ,  H01L21/486 ,  H01L23/291 ,  H01L23/49827

Abstract: A through-glass via (TGV) formed in a glass substrate may comprise a metal plating layer formed in the TGV. The TGV may have a three-dimensional (3D) topology through the glass substrate and the metal plating layer conformally covering the 3D topology. The TGV may further comprise a barrier layer disposed over the metal plating layer, and a metallization layer disposed over the barrier layer. The metallization layer may be electrically coupled to the metal plating layer through the barrier layer. The barrier layer may comprise a metal- nitride film disposed on the metal plating layer that is electrically coupled to the metallization layer. The barrier layer may comprise a metal film disposed over the metal plating layer and over a portion of glass surrounding the TGV, and an electrically-insulating film disposed upon the metal film, the electrically-insulating film completely overlapping the metal plating layer and partially overlapping the metal film.