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公开(公告)号:WO2022002533A1
公开(公告)日:2022-01-06
申请号:PCT/EP2021/065203
申请日:2021-06-08
申请人: CARL ZEISS SMT GMBH
发明人: MUELLER, Tanja , LITTELINK, Rudi
IPC分类号: G03F7/20 , G02B5/00 , G02B7/00 , G02B5/005 , G02B7/008 , G03F7/7025 , G03F7/70891
摘要: Die Erfindung betrifft ein optisches System, insbesondere ein Lithographiesystem (100A), umfassend: eine Aperturblende (202), die eine Blendenöffnung (204) mit einer Kante (206) zur Begrenzung eines Strahlengangs (200) des optischen Systems (100A) an seinem äußeren Umfang (200a) aufweist, sowie eine vor der Aperturblende (202) angeordnete Wärmeblende (208) zur teilweisen Abschattung der Aperturblende (202), wobei die Kante (206) der Aperturblende (202) von der Abschattung ausgenommen ist.
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公开(公告)号:WO2021260172A1
公开(公告)日:2021-12-30
申请号:PCT/EP2021/067478
申请日:2021-06-25
发明人: JUNG, Markus
IPC分类号: G01S7/481 , G01S17/66 , F41H13/00 , G02B27/14 , F41H13/005 , G01S7/4815 , G02B27/0905 , G02B27/0988 , G02B27/10 , G02B5/005 , G02B7/24 , H01S3/0014 , H01S3/005 , H01S3/0071 , H01S3/2383
摘要: Vorgestellt wird eine Laserstrahlvorrichtung (10) zum Erzeugen eines Wirklaserstrahls (20) und eines Beleuchtungslaserstrahls (18), mit einem Einkoppelelement (30) zum Einkoppeln des Beleuchtungslaserstrahls (18) in einen Strahlengang des Wirklaserstrahls (20). Die Laserstrahlvorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass das Einkoppelelement (30) einen ersten Teilbereich (54) und einen zweiten Teilbereich (56) aufweist, der von dem ersten Teilbereich (54) verschieden ist, und der Wirklaserstrahl (20), der Beleuchtungslaserstrahl (18) und das Einkoppelelement (30) relativ zueinander so angeordnet sind, dass der Wirklaserstrahl (20) auf den ersten Teilbereich (54) gerichtet ist und der Beleuchtungslaserstrahl (18) auf den zweiten Teilbereich (56) gerichtet ist, wobei der erste Teilbereich (54) für den Wirklaserstrahl (20) transparent ist und wobei der zweite Teilbereich (56) dazu eingerichtet ist, den Beleuchtungslaserstrahl (18) parallel zum Wirklaserstrahl (20) zu reflektieren.
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公开(公告)号:WO2021253515A1
公开(公告)日:2021-12-23
申请号:PCT/CN2020/100346
申请日:2020-07-06
申请人: 诚瑞光学(常州)股份有限公司
IPC分类号: G02B13/00 , G02B13/06 , G02B13/18 , G02B13/002 , G02B13/0045 , G02B27/0025 , G02B3/04 , G02B5/005 , G02B9/64
摘要: 本发明涉及光学镜头领域,公开了一种摄像光学镜头,共包含七片透镜,七片透镜自物侧至像侧依序为:具有正屈折力的第一透镜,具有负屈折力的第二透镜,具有负屈折力的第三透镜,具有正屈折力的第四透镜,具有负屈折力的第五透镜,具有正屈折力的第六透镜,具有负屈折力的第七透镜;满足下列关系式:8.00≤d1/d2≤16.00;0.40≤(d2+d6)/d4≤0.70;0.50≤R2/R3≤1.20。本发明提供的摄像光学镜头具有良好光学性能的同时,满足大光圈、广角化、超薄化的设计要求。
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公开(公告)号:WO2022208051A1
公开(公告)日:2022-10-06
申请号:PCT/GB2022/050705
申请日:2022-03-21
申请人: BAE SYSTEMS PLC
IPC分类号: G02B5/00 , G02B27/01 , G02B2027/0118 , G02B5/005
摘要: A projector for use in a head-up or head-worn display is described. The projector comprises a display source, an output screen, and a variable aperture assembly. The variable aperture assembly is positioned on an optical axis between the display source and the output screen and is adjustable to change a geometry (e.g. size and/or shape) of an aperture that is aligned with the optical axis and thereby change the efficiency of the optical train of the projector. The geometry that is changed may be a physical geometry or an effective geometry.
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公开(公告)号:WO2021148161A1
公开(公告)日:2021-07-29
申请号:PCT/EP2020/082415
申请日:2020-11-17
申请人: CARL ZEISS AG
发明人: STEINICH, Thomas
IPC分类号: G02B5/00 , G02B15/14 , G02B27/00 , G02B15/144 , G02B15/144113 , G02B27/0025 , G02B5/005
摘要: Es wird ein Kamerazoomobjektiv (1) mit einem Linsensystem (2) angegeben, wobei eine Brennweite f' des Linsensystems (2) zwischen einer minimalen Brennweite f'min und einer maximalen Brennweite f'max einstellbar ist und sich eine minimal einstellbare Blendenzahl F# des Linsensystems (2) in Abhängigkeit der Brennweite ändert. Die minimal einstellbare Blendenzahl F# ist bei einer Brennweite f', die größer als die minimale Brennweite f'min und kleiner als die maximale Brennweite f'max ist, am kleinsten. Daneben werden ein optisches Abbildungsgerät (100), ein Verfahren zum Steuern einer Aperturblende (60), eine Steuereinheit (103) zur Steuerung einer Aperturblende (60) ein Computerprogramm sowie ein computerlesbarer Datenträger angegeben.
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公开(公告)号:WO2021257419A1
公开(公告)日:2021-12-23
申请号:PCT/US2021/037158
申请日:2021-06-14
申请人: CORNING INCORPORATED
IPC分类号: B23K26/073 , B23K26/386 , H01L21/768 , H01L23/498 , G02B27/09 , G02B27/48 , B23K2101/40 , B23K2103/54 , B23K26/0624 , B23K26/0648 , B23K26/0652 , B23K26/0734 , B23K26/384 , B23K26/402 , G02B27/126 , G02B5/005 , H01L21/486 , H01L21/76825 , H01L21/76898 , H01L23/49827
摘要: Systems, devices, and techniques for creating blind annular vias for metallized vias are described. For example, a vortex beam may be applied to an optically transmissive substrate, where the vortex beam may modify a portion of the substrate in an annular shape. The annular shape may extend from a surface of the substrate to a depth that is less than a thickness of the substrate, and the annular shape may have an annular width (e.g., a ring width) that is the same for various diameters of the annular shape. A blind annular via may be formed by etching the modified portion of the substrate, where the blind annular via may include a pillar comprising the same material as the surrounding substrate. In addition, a metallized annular via may be created by filling the blind annular via with a conductive material, and removing a portion of the substrate opposite the surface.
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公开(公告)号:WO2021253518A1
公开(公告)日:2021-12-23
申请号:PCT/CN2020/100354
申请日:2020-07-06
申请人: 诚瑞光学(常州)股份有限公司
IPC分类号: G02B13/00 , G02B13/06 , G02B13/18 , G02B13/0045 , G02B27/005 , G02B3/04 , G02B5/005 , G02B9/62 , H04N5/372 , H04N5/374
摘要: 本发明涉及光学镜头领域,公开了一种摄像光学镜头,该摄像光学镜头共包含六片透镜,六片所述透镜自物侧至像侧依序为:具有正屈折力的第一透镜,具有负屈折力的第二透镜,具有负屈折力的第三透镜,具有正屈折力的第四透镜,具有正屈折力的第五透镜,具有负屈折力的第六透镜;且满足下列关系式:1.00≤R10/(R11+R12)≤10.00;0.60≤R9/(R7+R8)≤1.80;1.00≤R5/R3≤3.00。本发明提供的摄像光学镜头具有良好光学性能的同时,满足大光圈、广角化、超薄化的设计要求。
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公开(公告)号:WO2021253517A1
公开(公告)日:2021-12-23
申请号:PCT/CN2020/100353
申请日:2020-07-06
申请人: 诚瑞光学(常州)股份有限公司
IPC分类号: G02B13/00 , G02B13/06 , G02B13/18 , G02B13/002 , G02B13/0045 , G02B27/0025 , G02B3/04 , G02B5/005 , G02B9/64
摘要: 一种摄像光学镜头,摄像光学镜头共包含七片透镜,七片透镜自物侧至像侧依序为:第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、第六透镜(L6)以及第七透镜(L7);第五透镜(L5)的阿贝数为v5,第七透镜(L7)的阿贝数为v7,第一透镜(L1)的物侧面的曲率半径为R1,第一透镜(L1)的像侧面的曲率半径为R2,第二透镜(L2)的物侧面的曲率半径为R3,第二透镜(L2)的像侧面的曲率半径为R4,第四透镜(L4)的物侧面的曲率半径为R7,第四透镜(L4)的轴上厚度为d7,且满足下列关系式:20.00≤R7/d7≤30.00;20.00≤v7-v5≤30.00;-12.00≤(R1-R2)/(R3-R4)≤-1.00。
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