公开(公告)号：WO2023048014A1

公开(公告)日：2023-03-30

申请号：PCT/JP2022/034164

申请日：2022-09-13

申请人： 株式会社大真空

发明人： 岡前　裕基

IPC分类号： H03H9/02 ,  H01L23/04 ,  H03B5/30 ,  H03B5/32 ,  H03H9/19 ,  H03H9/215

摘要： 圧電振動片と、該圧電振動片を収納する収納部を有する筐体とを備え、収納部の圧電振動片が搭載される搭載面には、導電パッドが形成され、圧電振動片が、導電パッドに金属バンプによって接合される圧電振動デバイスであって、搭載面とは反対側の面となる筐体の外面は、平面視で導電パッドに重なる領域に空間が形成されるように、搭載面側へ窪んでいる。

公开(公告)号：WO2014158180A1

公开(公告)日：2014-10-02

申请号：PCT/US2013/034509

申请日：2013-03-28

申请人： INTEL CORPORATION

发明人： MANIPATRUNI, Sasikanth ,  KIM, Raseong ,  BASKARAN, Rajashree ,  DOKANIA, Rajeev K. ,  YOUNG, Ian A.

IPC分类号： B81B3/00 ,  H03B5/12 ,  H03B5/30 ,  H01L29/84

CPC分类号： H03B5/30 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7831 ,  H01L2924/13067 ,  H01L2924/13084

摘要： An embodiment includes an oscillator comprising an amplifier formed on a substrate; a multiple gate resonant channel array, formed on the substrate, including: (a) transistors including fins, each of the fins having a channel between source and drain nodes, coupled to common source and drain contacts; and (b) common first and second tri-gates coupled to each of the fins and located between the source and drain contacts; wherein the fins mechanically resonate at a first frequency when one of the first and second tri-gates is periodically activated to produce periodic downward forces on the fins. Other embodiments include a non planar transistor with a channel between the source and drain nodes and a tri-gate on the fin; wherein the fin mechanically resonates when the first tri-gate is periodically activated to produce periodic downward forces on the fin. Other embodiments are described herein.

摘要翻译： 实施例包括：振荡器，包括形成在基板上的放大器; 形成在所述衬底上的多栅极共振沟道阵列包括：（a）包括鳍片的晶体管，每个鳍片在源极和漏极节点之间具有耦合到共源极和漏极触点的沟道; 和（b）共同的第一和第二三栅极，其耦合到每个散热片并且位于源极和漏极接触之间; 其中当第一和第二三门中的一个被周期性地激活以在翅片上产生周期性向下的力时，翅片以第一频率机械共振。 其他实施例包括在源极和漏极节点之间具有沟道的非平面晶体管和鳍上的三栅极; 其中当所述第一三栅极被周期性地激活以在所述散热片上产生周期性向下的力时，所述翅片机械谐振。 本文描述了其它实施例。

公开(公告)号：WO2010143363A1

公开(公告)日：2010-12-16

申请号：PCT/JP2010/003440

申请日：2010-05-21

申请人： パナソニック株式会社 ,  中村邦彦

发明人： 中村邦彦

IPC分类号： H03H9/24 ,  B81B3/00 ,  H03B5/30 ,  H03H3/013 ,  H03L1/02 ,  H03L7/08 ,  H03L7/081 ,  H03L7/099

CPC分类号： H03H9/02409 ,  H03H9/02259 ,  H03H9/2463 ,  H03H2009/02496 ,  H03L1/026 ,  H03L7/099 ,  H03L2207/06

摘要： 　振動子の共振周波数を広範囲かつ高精度に補正可能な共振器及びこれを用いた発振器を提供する。　振動子１０１と、振動子１０１表面の一部と空隙を介して配置される電極４，５と、振動子１０１または電極４、５または双方を印加する可変電圧源２４，２５と、からなる共振器において、前記電極４、５が複数個からなり、各々の電極４、５が振動子１０１の振動振幅が異なる複数部位に空隙を介して近接されており、振動子１０１に近接する複数の電極のうち前記振動子の軸からの距離が異なる電極４，５に対し、印加する直流電圧を個別に調整する。

摘要翻译： 公开了一种谐振器和使用该谐振器的振荡器，其能够广泛且精细地校正振动元件的谐振频率。 所述谐振器包括振动元件（101），与所述振动元件（101）的表面的一部分间隔设置的电极（4,5）和向所述振动元件（101）提供电压的可变电压源（24,25） 101）和/或电极（4,5）。 有多个电极（4,5）。 电极（4,5）间隙与振动幅度不同的振动元件（101）的多个区域连续。 对于与振动元件（101）相邻的多个电极中与振动元件的轴的距离不同的电极（4,5），分别调节供给的直流电压。

公开(公告)号：WO2008097127A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：PCT/RU2008/000014

申请日：2008-01-15

申请人： ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "АЙСЕНС" ,  ФРОЛОВ Eвгений Николаевич

发明人： ФРОЛОВ Eвгений Николаевич ,  МЕЗЕНЦЕВ Александр Павлович

IPC分类号： G01C19/56 ,  H03B5/30 ,  G01M1/22 ,  G01P9/04

CPC分类号： G01M1/22 ,  G01C19/5642

摘要： Способ измерения угловой скорости заключается в возбуждении поступательных колебаний балки, которая является частью рамки инерционного узла гироскопа, вдоль некоторой оси, при этом об угловой скорости вращения судят по результатам измерения параметров угловых колебаний рамки вокруг оси, параллельной первой. Инерционный узел гироскопа выполнен в виде жесткой П-образной рамки, концы которой связаны двумя плоскими пружинами с маятником в виде балки, параллельной средней перекладине рамки, и ступицы, связанной с концами рамки двумя торсионами. Частотозадающим элементом автогенератора является механический резонатор, на инерционной массе которого жестко закреплена катушка, витки которой размещаются в магнитном поле постоянных магнитов и представляющая собой магнитоэлектрический преобразователь, включенный в качестве одного из плеч резистивноrо моста. При подаче постоянного напряжения на одну диагональ мостовой схемы при её разбалансировке на другой диагонали на выходе линейного дифференциального усилителя возникает постоянная составляющая, пропорциональная величине разбалансировки моста, которая используется как сигнал управления.

摘要翻译： 角速率测量方法包括沿着某个轴激励光束的平移振荡，所述光束构成陀螺仪的惯性单元的一部分框架，其中根据测量角度的结果判断角速度 围绕平行于上述轴线的轴的框架的振动参数。 陀螺仪的惯性单元是刚性n形框架的形式，其端部通过两个平板弹簧连接到与框架的中间横杆平行的梁形式的摆锤，以及 一个轮毂，通过两个扭杆连接到框架末端。 自激振荡器的频率设定元件是机械谐振器的形式，其中线圈刚性地连接到其惰性质量，所述线圈的绕组位于永磁体的磁场中，并且线圈构成变量 并联电阻桥的分支之一的磁阻换能器。 当在不平衡状态下向桥式电路的一个对角线提供直流电压时，在线性差分放大器的输出处产生恒定分量，所述恒定分量与桥梁的不平衡度成比例，用作桥 控制信号。

公开(公告)号：WO2007016604A3

公开(公告)日：2008-02-14

申请号：PCT/US2006030018

申请日：2006-08-01

申请人： MARVELL WORLD TRADE LTD ,  GREENBERG JODY

发明人： GREENBERG JODY

IPC分类号： H03B5/30 ,  H03B5/32

CPC分类号： H03L5/00 ,  H03B5/364

摘要： Apparatus and method for providing high stability crystal oscillator, see figure 2. A crystal oscillator (with resonator 210) is shown having controlled-amplitude differential output signals via amplitude control (250) and DC level control via (240). The DC level feedback loop can set the DC component of the oscillator signals to a voltage midway between the two supply volatges. The amplitude control loop sets the amplitude of the output of the crystal oscillator signal to be within a range. The amplitude can be set to provide a maximum swing without clipping the supply voltages in order to provide high stability and minimal jitter. The time constants of the two loops can be separated such that instabihtes are avoided.

摘要翻译： 用于提供高稳定性晶体振荡器的装置和方法参见图2.通过幅度控制（250）和通过（240）的直流电平控制，示出了具有受控振幅差分输出信号的晶体振荡器（具有谐振器210）。 直流电平反馈环路可以将振荡器信号的直流分量设置为两个电源电压之间的一个电压。 振幅控制回路将晶体振荡器信号的输出振幅设定在一个范围内。 振幅可以设定为提供最大摆幅而不削减电源电压，以提供高稳定性和最小抖动。 可以分离两个循环的时间常数，以避免instabilhtes。

公开(公告)号：WO2007076043A3

公开(公告)日：2007-07-05

申请号：PCT/US2006/049093

申请日：2006-12-20

申请人： MOBILEWISE, INC. ,  LEE, Yeechun ,  SU, Victor

发明人： LEE, Yeechun ,  SU, Victor

IPC分类号： H03B5/30

摘要： A system and method is provided for the inductive transfer of electric power between a substantially flat primary surface and a multitude of secondary devices in such a way that the power transfer is localized to the vicinities of individual device coils. The contact free power transfer does not require precise physical alignment between the primary surface and the secondary device and can allow the secondary device or devices to be placed anywhere and in arbitrary orientation with respect to the primary surface. Such power transfer is realized without the need of complex high frequency power switching network to turn the individual primary coils on or off and is completely scalable to almost arbitrary size. The local anti-resonance architecture of the primary device will block primary current from flowing when no secondary device or devices are in proximity to the local RF power network. The presence of a tuned secondary device detunes the local anti-resonance on the primary surface; thereby enable the RF power to be transferred from the local primary coils to the secondary device. The uniformity of the inductive coupling between the active primary surface and the secondary devices is improved with a novel multi-pole driving technique which produces an apparent traveling wave pattern across the primary surface.

公开(公告)号：WO02051004A1

公开(公告)日：2002-06-27

申请号：PCT/CH2001/000665

申请日：2001-11-13

IPC分类号： B81B3/00 ,  G10K15/00 ,  H03B5/30 ,  H03H9/21 ,  H03H9/24

CPC分类号： H03H9/2484 ,  H03H9/21 ,  H03H2009/02299

摘要： There is described a time base comprising a resonator (4) and an integrated electronic circuit (3) for driving the resonator into oscillation and for producing, in response to this oscillation, a signal having a determined frequency. The resonator is an integrated micromechanical tuning fork resonator (4) supported above a substrate (2) and adapted to oscillate in a plane substantially parallel to the substrate. The tuning fork resonator comprises a base member (5) extending substantially perpendicularly from the substrate, a free-substantially parallel fork tines (7, 8) and an electrode structure (9) disposed adjacent to the fork tines and connected to the integrated electronic circuit.

摘要翻译： 描述了包括谐振器（4）和集成电子电路（3）的时基，用于将谐振器驱动到振荡中，并且响应于该振荡而产生具有确定频率的信号。 谐振器是支撑在衬底（2）上并且适于在基本上平行于衬底的平面中振荡的集成微机械音叉谐振器（4）。 音叉谐振器包括从基板大致垂直延伸的基座构件（5），与叉齿相邻设置并连接到集成电子电路的自由基本上平行的叉齿（7,8）和电极结构（9） 。

公开(公告)号：WO0182479A3

公开(公告)日：2002-04-11

申请号：PCT/US0140566

申请日：2001-04-20

申请人： UNIV MICHIGAN ,  NGUYEN CLARK T C

发明人： NGUYEN CLARK T-C

IPC分类号： B81B3/00 ,  H01H59/00 ,  H03B5/30 ,  H03H5/12 ,  H03H7/12 ,  H03H9/00 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  H03H9/46 ,  H03H9/50 ,  H03H11/04 ,  H04B1/04 ,  H04B1/18 ,  H04B1/40

CPC分类号： H03H9/465 ,  H01H59/0009 ,  H03H9/02409 ,  H03H9/462 ,  H03H9/467 ,  H03H9/505 ,  H03H2009/02511 ,  H03H2009/02519 ,  H03H2009/02527

摘要： Several MEMS-based methods and architectures which utilize vibrating micromechanical resonators in circuits to implement filtering, mixing, frequency reference and amplifying functions are provided. Apparatus is provided for selecting at least one desired passband or channel in an RF transmitter subsystem utilizing a bank of vibrating micromechanical devices. One of the primary benefits of the use of such architectures is a savings in power consumption by trading power for high selectivity (i.e, high Q). Consequently, the present invention relies on the use of a large number of micromechanical links in SSI networks to implement signal processing functions with basically zero DC power consumption.

摘要翻译： 提供了一些利用电路中的振动微机械谐振器实现滤波，混频，频率参考和放大功能的基于MEMS的方法和架构。 提供了一种设备，用于利用一组振动微机械装置在RF发射机子系统中选择至少一个期望的通带或信道。 使用这种架构的主要优点之一是通过为高选择性（即高Q）的交易功率节省功耗。 因此，本发明依赖于在SSI网络中使用大量微机械链路来实现具有基本上零直流功率消耗的信号处理功能。

公开(公告)号：WO0182477A3

公开(公告)日：2002-04-11

申请号：PCT/US0140564

申请日：2001-04-20

申请人： UNIV MICHIGAN ,  NGUYEN CLARK T C

发明人： NGUYEN CLARK T C

IPC分类号： B81B3/00 ,  H01H59/00 ,  H03B5/30 ,  H03H5/12 ,  H03H7/12 ,  H03H9/00 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  H03H9/46 ,  H03H9/50 ,  H03H11/04 ,  H04B1/04 ,  H04B1/18 ,  H04B1/40

CPC分类号： H03H9/465 ,  H01H59/0009 ,  H03H9/02409 ,  H03H9/462 ,  H03H9/467 ,  H03H9/505 ,  H03H2009/02511 ,  H03H2009/02519 ,  H03H2009/02527

摘要： Several MEMS-based methods and architectures which utilize vibrating micromechanical resonators in circuits to implement filtering, mixing, frequency reference and amplifying functions are provided. Apparatus is provided for filtering signals utilizing vibrating micromechanical resonators. One of the primary benefits of the use of such architectures is a savings in power consumption by trading power for high selectivity (i.e., high Q). Consequently, the present invention relies on the use of a large number of micromechanical links in SSI networks to implement signal processing functions with basically zero DC power consumption.

摘要翻译： 提供了一些利用电路中的振动微机械谐振器实现滤波，混频，频率参考和放大功能的基于MEMS的方法和架构。 提供了利用振动微机械谐振器对信号进行滤波的装置。 使用这种架构的主要优点之一是通过为高选择性（即高Q）的交易功率节省了功耗。 因此，本发明依赖于在SSI网络中使用大量微机械链路来实现具有基本上零直流功率消耗的信号处理功能。

公开(公告)号：WO0182467A3

公开(公告)日：2002-04-11

申请号：PCT/US0140563

申请日：2001-04-20

申请人： UNIV MICHIGAN ,  NGUYEN CLARK T C

发明人： NGUYEN CLARK T C

IPC分类号： B81B3/00 ,  H01H59/00 ,  H03B5/30 ,  H03H5/12 ,  H03H7/12 ,  H03H9/00 ,  H03H9/02 ,  H03H9/24 ,  H03H9/46 ,  H03H9/50 ,  H03H11/04 ,  H04B1/04 ,  H04B1/18 ,  H04B1/40

CPC分类号： H03H9/465 ,  H01H59/0009 ,  H03H9/02409 ,  H03H9/462 ,  H03H9/467 ,  H03H9/505 ,  H03H2009/02511 ,  H03H2009/02519 ,  H03H2009/02527

摘要： Several MEMS-based methods and architectures which utilize vibrating micromechanical resonators in circuits to implement filtering, mixing, frequency reference and amplifying functions are provided. A method and apparatus are shown for generating a signal having at least one desired output frequency such as LO frequency in an RF subsystem in response to a tuning voltage and without the need for a phase-locking circuit. One of the primary benefits of the use of such architectures is a savings in power consumption by trading power for high selectivity (i.e., high Q). Consequently, the present invention relies on the use of a large number of micromechanical links in SSI networks to implement signal processing functions with basically zero DC power consumption.

摘要翻译： 提供了一些利用电路中的振动微机械谐振器实现滤波，混频，频率参考和放大功能的基于MEMS的方法和架构。 示出了用于在RF子系统中响应于调谐电压产生具有至少一个所需输出频率（例如LO频率）的信号并且不需要锁相电路的方法和装置。 使用这种架构的主要优点之一是通过为高选择性（即高Q）的交易功率节省了功耗。 因此，本发明依赖于在SSI网络中使用大量微机械链路来实现具有基本上零直流功率消耗的信号处理功能。