公开(公告)号：WO2023072699A1

公开(公告)日：2023-05-04

申请号：PCT/EP2022/079058

申请日：2022-10-19

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： WEBER, Heribert ,  MACH, Sophielouise ,  SCHMOLLNGRUBER, Peter

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00

摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil für eine Sensor- oder Mikrofonvorrichtung mit einer an und/oder in einer Kaverne (98) verstellbar angeordneten Aktorelektrode (46) aus Silizium, und einer in der Kaverne (98) angeordneten Statorelektrode (52) aus Silizium, welche an einer Isolierschicht (70) befestigt ist, wobei in der Kaverne (98) Vakuum oder mindestens ein Gas vorliegt, wobei die Isolierschicht (70) die Kaverne (98) zumindest auf der von der Aktorelektrode (46) weg gerichteten Seite der Statorelektrode (52) begrenzt, und wobei die Statorelektrode (52) über mindestens eine durch die Isolierschicht (70) ragende Stützstruktur (72) aus Silizium derart an der Isolierschicht (70) befestigt ist, dass mindestens ein Zwischenspalt (100) mit Vakuum oder dem mindestens einen Gas der Kaverne (98) zwischen der Statorelektrode (52) und der Isolierschicht (70) vorliegt.

公开(公告)号：WO2023068276A1

公开(公告)日：2023-04-27

申请号：PCT/JP2022/038789

申请日：2022-10-18

申请人： 旭化成株式会社 ,  国立研究開発法人産業技術総合研究所

发明人： 小谷　雄三 ,  飯野　亮 ,  水村　華菜子 ,  永井　秀典 ,  古谷　俊介

IPC分类号： B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  G01N37/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033

摘要： マイクロ流路１４を備える構造体１０であって、構造体１０は、基材１１、隔壁材１２、及び蓋材１３を含み、基材１１、及び隔壁材１２の少なくとも一部に、アルカリ可溶性樹脂由来の樹脂領域２１を有し、　樹脂領域２１は、赤外分光法による赤外吸収スペクトルにおいて、　１５５５～１５７５ｃｍ-1の第一範囲における最大ピーク強度（Ａａ）と、　１７１５～１７３５ｃｍ-1の第二範囲における最大ピーク強度（Ａｃ）と、 の比（Ａａ／Ａｃ）が、０超え０．２００以下であり、　基材１１における流路形成面１１ａの水接触角が４０～１５０度である。

公开(公告)号：WO2023046911A1

公开(公告)日：2023-03-30

申请号：PCT/EP2022/076547

申请日：2022-09-23

申请人： MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E. V.

发明人： WEIL, Tanja ,  HARVEY, Sean ,  TOMMASO, Marchesi D'Alvise ,  SYNATSCHKE, Christopher ,  FYTAS, Georg ,  GRACZYKOWSKI, Bartlomiej ,  POCHYLSKI, Mikolaj ,  GAPINSKI, Jacek ,  VASILEIADIS, Thomas

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B3/00

摘要： The present invention relates in a first aspect to a method for stimulus-sensitive actuation of nanomembranes made of or consisting of a stimulus-sensitive polymeric material, in particular polycatecholamine nanomembranes, comprising at least the following steps: a) providing a stimulus-sensitive nanomembrane on a support; b) exposing the nanomembrane to the stimulus for a predetermined time sufficient to induce a conformational change of said nanomembrane; c) optionally inducing reversal of said conformational change by removing the stimulus; wherein the stimulus is selected from the group consisting of electric or magnetic fields, electromagnetic irradiation, in particular visible light, change of temperature, air pressure and/or change of humidity or moisture below or above a threshold level. A further aspect of the invention relates to a device, in particular a nano- or microdevice, comprising at least the following components: - a stimulus-sensitive nanomembrane; - a support of a stimulus-insensitive material on which the nanomembrane is provided; means for exposing said stimulus-sensitive nanomembrane to a stimulus selected from the group consisting of electric or magnetic fields, electromagnetic irradiation, in particular visible light, change of temperature, air pressure and/or change of humidity or moisture below or above a threshold level. In particular, said device may be selected from the group comprising sensors, valves, in particular light or moisture valves, micromanipulators, actuators for remote control, or artificial muscles. In more specific embodiments of both aspects, the stimulus-sensitive polymeric material may represent a homopolymer or heteropolymer of monomers selected from catecholamines, in particular from the group comprising dopamine, L and D enantiomers of norepinephrine, L and D enantiomers of epinephrine, L and D enantiomers of 3,4-dihydroxyphenylalanine, and aminotyrosine.

公开(公告)号：WO2023032883A1

公开(公告)日：2023-03-09

申请号：PCT/JP2022/032330

申请日：2022-08-29

申请人： 株式会社ダイセル ,  国立大学法人　東京大学

发明人： 角田　誠 ,  福田　大祐 ,  大西　崇文 ,  莅戸　隆

IPC分类号： B01D15/08 ,  B01D15/38 ,  B01J19/00 ,  B01J20/285 ,  B81B1/00 ,  B81C1/00 ,  C07B57/00 ,  G01N30/88 ,  G01N35/10 ,  G01N37/00

摘要： トンネル状の分離流路と、前記分離流路内に設けられた柱状の障害物と、前記障害物の表面に担持されたリガンドと、を備え、前記リガンドが光学活性ポリマーであることを特徴とする、マイクロ流体デバイス。

公开(公告)号：WO2023017053A2

公开(公告)日：2023-02-16

申请号：PCT/EP2022/072381

申请日：2022-08-09

申请人： NANUSENS SL

发明人： SILVESTRE, Josep Montanya

IPC分类号： G01L9/00 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01L9/0044 ,  G01L9/0072

摘要： A MEMS pressure sensor is provided having a membrane made with one of plurality of metal layers. A lid is positioned above the membrane and connected to a plurality of cavity walls at distal ends of the membrane. The lid includes an array of holes positioned on a region of the lid. A fixed metal electrode is positioned below the lid.

公开(公告)号：WO2022271023A1

公开(公告)日：2022-12-29

申请号：PCT/NL2022/050358

申请日：2022-06-22

申请人： NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO

发明人： HENDRIKS, Rob Jacob ,  MAALDERINK, Herman Hendrikus ,  BRUNING, Fabien Bernard Jacques

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81B2201/051 ,  B81B2203/0127 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/0338 ,  B81C1/00373

摘要： A method of manufacturing a layered 3D product comprises providing (S2) a radiation transparent film (5) that carries a resin layer (6) which in at least a first lateral region (51) of a first sublayer (61) at a side of the film is at least substantially cured and which is at least substantially uncured in a second sublayer (62) thereof that has a free surface (622) at a side of the resin layer facing away from the radiation transparent film. The film is laminated (S3) with a target, wherein the resin layer faces the target. The resin layer is fully cured (S4) in at least a third lateral region (53). Subsequently, the film is delaminated (S5) from the target. Therewith the fully cured material of the resin layer present in the at least a third lateral region remains on the target and the film and the remainder of resin material thereon are removed from the target.

公开(公告)号：WO2022268870A2

公开(公告)日：2022-12-29

申请号：PCT/EP2022/066987

申请日：2022-06-22

申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

发明人： REINERT, Wolfgang ,  STENCHLY, Vanessa ,  QUENZER, Hans-Joachim

IPC分类号： G02B26/10 ,  G02B27/18 ,  B81B7/00 ,  B81C1/00 ,  B81B7/0067 ,  B81C1/00317 ,  G02B26/101 ,  G02B27/14 ,  H01S5/02208 ,  H01S5/02253 ,  H01S5/02255 ,  H01S5/02345 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4093

摘要： Eine optische Projektionsanordnung (10) umfasst eine erste Baugruppe (10-1), die auf einem gasdichten ersten Teilsubstrat (20-1) angeordnet ist, mit einem an dem ersten Teilsubstrat (20-1) angeordneten, optoelektronischen Bauteil (30), wobei zumindest ein Teil der Sendestrahlung (32) des optoelektronischen Bauteils (30) eine Hauptabstrahlrichtung in einem Bereich von ± 30° zu einer Vertikalen des ersten Teilsubstrats (20-1) aufweist, einem gasdichten Abdeckungselement (38), das mit dem ersten Teilsubstrat (20-1) hermetisch gefügt ist, um eine hermetisch dichte Häusung für das optoelektronische Bauteil (30) bereitzustellen, wobei das Abdeckungselement (38) zumindest im Bereich der Hauptabstrahlrichtung ein für die Sendestrahlung transparentes Material aufweist, einer Linsenanordnung (40), die fest bzgl. des Abdeckungselements (38) angeordnet ist, zur Kollimation der Sendestrahlung (32) des optoelektronischen Bauteils (30), und einer Prisma-Anordnung (50), die ausgebildet ist, um die kollimierte Sendestrahlung (32) des optoelektronischen Bauteils (30) zu führen und an einer Auskoppeloberfläche (52) auszukoppeln, und ferner eine zweite Baugruppe (10-1), die auf einem zweiten Teilsubstrat (20-1) angeordnet ist, mit einer MEMS-Spiegelanordnung (60) mit einem beweglich aufgehängten und auslenkbaren MEMS-basierten Spiegelelement (62), wobei die Prisma-Anordnung (50) und die MEMS-Spiegelanordnung (60) geometrisch so zueinander angeordnet sind, dass die ausgekoppelte Sendestrahlung (32) unter einem Einfallwinkel β auf das beweglich aufgehängte MEMS-basierte Spiegelelement (62) trifft, wobei der Einfallwinkel β im Ruhezustand des MEMS-basierten Spiegelelements (62) in einem Bereich zwischen 30° und 50° liegt.

公开(公告)号：WO2022266090A1

公开(公告)日：2022-12-22

申请号：PCT/US2022/033421

申请日：2022-06-14

申请人： SOUNDSKRIT INC. ,  THE RESEARCH FOUNDATION FOR THE STATE UNIVERSITY OF NEW YORK

发明人： LEAHY, Stephane ,  GUPTA, Sahil ,  HSU, Wan-Thai ,  NAWAZ, Mohsin ,  STALDER, Carly ,  PATEL, Ravi ,  EL BADAWE, Mohamed ,  MILES, Ronald

IPC分类号： B81B7/00 ,  B81B3/00 ,  H04R31/00 ,  B81C1/00

摘要： A microelectromechanical (MEMS) transducer includes a substrate, a moveable electrode supported by the substrate, and a pair of fixed electrodes supported by the substrate, each fixed electrode of the pair of fixed electrodes being configured as a bias or sense electrode. The pair of fixed electrodes are disposed in a stacked arrangement. An end of the moveable electrode is configured for vibrational movement along the stacked arrangement during excitation of the moveable electrode. The pair of fixed electrodes are laterally spaced apart from the end of the moveable electrode to establish a capacitance indicative of the vibrational movement.

公开(公告)号：WO2022263396A1

公开(公告)日：2022-12-22

申请号：PCT/EP2022/066075

申请日：2022-06-14

申请人： EBERHARD KARLS UNIVERSITÄT TÜBINGEN

发明人： MEYER, Jannik ,  HAAS, Jonas

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81C3/00 ,  B81C99/00

摘要： A method to form three-dimensional (3D) van-der-Waals multilayer structures comprises stacking two-dimensional (2D) layers (10, 100). In a step a., at least two of the 2D layers (10, 100) are provided. In a step b., a first of the 2D layers (10) is placed onto a support (15). In a step c., a second of the 2D layers (100) is placed onto the previously placed first 2D layer (10), thereby producing a stack (200) of two layers. Optionally step c. is repeated with one or more further of the 2D layers, thereby increasing the height of the stack (200). The 2D layers (10, 100) are free-standing membranes. The support (15) comprises or is a target frame (20) defining an opening (21), wherein the free-standing membranes are placed in such a way that they span the opening (21) of the target frame (20). Besides the method, an apparatus for conducting the method and the obtained van-der-Waals multilayer structures are described.

公开(公告)号：WO2022254838A1

公开(公告)日：2022-12-08

申请号：PCT/JP2022/008619

申请日：2022-03-01

申请人： 三菱電機株式会社

发明人： 花岡　美咲 ,  秦　久敏

IPC分类号： G01J1/02 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H01L23/26 ,  H01L27/144

摘要： 半導体基板（１）にアレイ状に複数の中空構造体（３）が形成されている。複数の中空構造体（３）は、中空構造である検出部（４）と、検出部（４）とは異なる中空構造であるゲッター部（５）とを有する。支持体（６）が複数の中空構造体（３）を区切っている。検出部（４）は、内部に検出素子（１４）を有する。ゲッター部（５）は、内部にゲッター（１６）を有する。検出部（４）とゲッター部（５）は、支持体（６）に形成されたトンネル部（７）により空間的に繋がっている。