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    防污染装置、电离腔体及射频离子源
    1.
    发明申请
    防污染装置、电离腔体及射频离子源 审中-公开

    公开(公告)号：WO2023082790A1

    公开(公告)日：2023-05-19

    申请号：PCT/CN2022/116635

    申请日：2022-09-01

    Applicant: 中山市博顿光电科技有限公司 ,  佛山市博顿光电科技有限公司

    Inventor： 刘伟基 ,  冀鸣 ,  赵刚 ,  易洪波 ,  吴秋生

    IPC: C23C14/56 ,  C23C14/32 ,  C23C14/04

    Abstract: 本申请涉及一种防污染装置、电离腔体及射频离子源，所述防污染装置，应用于射频离子源的电离腔体中，包括支撑部和遮挡板；其中，所述遮挡板平行于所述电离腔体的底面；所述遮挡板上分布设置有一定比例的遮挡部和开口部；所述遮挡板固定于支撑部上；所述遮挡板通过支撑部安装于离所述电离腔体的底部一设定高度位置处，由所述开口部通过电离腔体中气体电离输出的等离子体，以及由所述遮挡部遮挡进入电离腔体中的金属离子在电离腔体的底部镀上连续的金属薄膜；该技术方案，可以避免金属薄膜对射频能量的屏蔽隔离，提升了射频离子源的工作效率，确保电离腔体和射频离子源能够稳定工作。

    APPARATUS AND METHOD FOR COATING THE INNER SURFACE OF A HOLLOW ARTICLE
    3.
    发明申请
    APPARATUS AND METHOD FOR COATING THE INNER SURFACE OF A HOLLOW ARTICLE 审中-公开

    公开(公告)号：WO2022261684A1

    公开(公告)日：2022-12-22

    申请号：PCT/AT2022/060188

    申请日：2022-06-08

    Applicant: PLASMATERIA GMBH

    Inventor： JAROŠ, Martin ,  KOHLHAUSER, Bernhard

    IPC: C23C14/04 ,  H01J37/32 ,  C23C14/22 ,  C23C14/24 ,  C23C14/32

    Abstract: The invention relates to an apparatus for forming a coating on and/or modifying the properties of the inner surface of a hollow article (1 ), wherein the apparatus comprises a plasma source (2), the plasma source (2) having an elongate shape and comprising a cathode (3) as well as a target (4), wherein the target (4) is a thermionic electron emission source, wherein the target (4) is connected to the cathode (3) in an electrically conductive manner, wherein the plasma source (2) further comprises a masking (5) which partially covers the outer surface of the cathode (3) and the target (4), and which masking (5) is adapted to prevent the formation of plasma on an area covered by the masking (5) during operation of the apparatus, wherein a plasma formation area (6) is provided on the target (4), which plasma formation area (6) is not covered by the masking (5). The invention further relates to a target (4), an arrangement of the apparatus, a method, as well as a hollow article (1).

    Al-Si KORROSIONSSCHUTZSCHICHTEN
    6.
    发明申请
    Al-Si KORROSIONSSCHUTZSCHICHTEN 审中-公开

    公开(公告)号：WO2022117220A1

    公开(公告)日：2022-06-09

    申请号：PCT/EP2021/000144

    申请日：2021-11-18

    Applicant: OERLIKON SURFACE SOLUTIONS AG, PFÄFFIKON

    Inventor： RAMM, Jürgen

    IPC: C23C14/32 ,  C23C16/24 ,  C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/22 ,  C23C16/44

    Abstract: Die Erfindung betrifft ein Schichtsystem beschichtet auf einem Substrat, wobei das Schichtsystem eine Funktionsschicht und eine Zwischenschicht umfasst und die Zwischenschicht zwischen Substrat und Funktionsschicht angeordnet ist, wobei die Funktionsschicht sowohl die Elemente Aluminium als auch Silizium aber nicht notwendiger Weise in elementarer Form umfasst und die Funktionsschicht Sauerstoff oder Stickstoff oder beides umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass die Zwischenschicht gemessen in at% prozentuell mehr Silizium und/oder prozentuell mehr Aluminium als die Funktionsschicht umfasst.

    PISTON RINGS AND METHODS OF MANUFACTURE
    7.
    发明申请
    PISTON RINGS AND METHODS OF MANUFACTURE 审中-公开

    公开(公告)号：WO2022101416A1

    公开(公告)日：2022-05-19

    申请号：PCT/EP2021/081537

    申请日：2021-11-12

    Applicant: NANOFILM VACUUM COATING (SHANGHAI) CO., LTD. ,  SCHLICH LTD

    Inventor： DU, Chao ,  SHI, Xu ,  YANG, Ming Chu ,  ZHANG, Bo

    IPC: C23C14/50 ,  C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  F16J9/26

    Abstract: A method of coating a piston ring comprises: providing at least first and second piston rings in a coating chamber; spacing the piston rings apart, so that the first piston ring is spaced from and not in contact with the second piston ring, and applying a ta-C coating to the piston rings, whereby the spacing between the adjacent piston rings enables simultaneous coating of upper, outer and lower piston ring surfaces of the first and second piston rings during rotation of rings in a plane co-planar with the coating beam. Piston rings are obtained comprising a substantially hydrogen free ta-C coating of 0.1 to 8 microns on at least their lower surface.

    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERZAHNUNG AN ROTATIONSSYMMETRISCHEN OBERFLÄCHEN METALLISCHER ANTRIEBSELEMENTE
    8.
    发明申请
    VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER VERZAHNUNG AN ROTATIONSSYMMETRISCHEN OBERFLÄCHEN METALLISCHER ANTRIEBSELEMENTE 审中-公开

    公开(公告)号：WO2022042997A1

    公开(公告)日：2022-03-03

    申请号：PCT/EP2021/071300

    申请日：2021-07-29

    Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.

    Inventor： BRÄUNIG, Jan ,  LAHL, Mike ,  WEIHNACHT, Volker

    IPC: B21H5/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/32

    Abstract: Bei dem Verfahren zur Herstellung einer Verzahnung an rotationssymmetrischen Oberflächen metallischer Antriebselemente wird ein drehbar gelagertes metallisches Werkstück mit mindestens zwei in einem gleichen Winkelabstand zueinander angeordneten und drehbar gelagerten jeweils gleichen Umformwerkzeugen mit der Oberfläche des Werkstücks, an der eine Verzahnung ausgebildet werden soll, mit ihren die Form der Verzahnung vorgebenden äußeren Oberflächen in berührenden Kontakt gebracht. Die Umformwerkzeuge üben Druckkräfte gegen die Oberfläche, an der die Verzahnung ausgebildet wird, aus. Die Umformwerkzeuge und/oder das Werkstück werden mit einem Drehantrieb angetrieben und dabei die Umformwerkzeuge mit gleicher Drehzahl gedreht. Der Abstand der Rotationsachsen der Umformwerkzeuge bei Ausbildung einer Außenverzahnung durch Umformung wird sukzessive verringert und bei Ausbildung einer Innenverzahnung durch Umformung sukzessive vergrößert, bis die vorgegebene Form der Verzahnung durch plastische Umformung erreicht worden ist. Die Verzahnung weist unmittelbar nach der Umformung oder einem Aufbringen einer Beschichtung, die nach erfolgter Umformung zumindest auf Oberflächenbereiche der ausgebildeten Verzahnung aufgebracht wird, eine Profilüberdeckung ԑ α ≤ 1,0 und einen Eingriffswinkel > 20° auf.

    機械学習方法、機械学習装置、機械学習プログラム、通信方法、及び成膜装置
    9.
    发明申请
    機械学習方法、機械学習装置、機械学習プログラム、通信方法、及び成膜装置 审中-公开

    公开(公告)号：WO2021010413A1

    公开(公告)日：2021-01-21

    申请号：PCT/JP2020/027453

    申请日：2020-07-15

    Applicant: 株式会社神戸製鋼所

    Inventor： 国末　晃伸 ,  高橋　哲也 ,  中島　洋介

    IPC: C23C14/54 ,  C23C14/32

    Abstract: 切削工具の性能評価に関する少なくとも１つの物理量と、少なくとも１つの成膜条件とを含む状態変数を観測し、状態変数に基づいて、少なくとも１つの成膜条件の決定結果に対する報酬を計算し、状態変数から少なくとも１つの成膜条件を決定するための関数を、報酬に基づいて更新し、関数の更新を繰り返すことによって、報酬が最も多く得られる成膜条件を決定し、少なくとも１つの成膜条件は、真空排気システム、加熱冷却システム、蒸発源システム、テーブルシステム、及びプロセスガスシステムのうちの少なくとも１つのパラメータであり、少なくとも１つの物理量は、加工可能数、刃先摩耗評価値、刃先損傷評価値、切削抵抗測定値、仕上げ面評価値、及び切りくず状態観察値のうちの少なくとも１つである。

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