公开(公告)号：WO2023079883A1

公开(公告)日：2023-05-11

申请号：PCT/JP2022/036986

申请日：2022-10-03

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 山崎　達也 ,  金丸　昌敏 ,  青野　宇紀 ,  鈴木　洋一郎 ,  高橋　拓也 ,  池田　裕

IPC: G01L9/00

Abstract: 本発明の目的は、ダイアフラムなどの受圧部における剥離抑制効果を向上した圧力センサを提供することにある。本発明の圧力センサ１５は、第１流路３３および第１流路３３から分岐した第２流路３５が形成されたセンサ筐体３２と、第２流路３５を塞ぐように設けられたダイアフラム部３１ａを含みセンサ筐体３２に接合されるセンサチップ３１と、センサ筐体３２の側とは反対側からダイアフラム部３１ａを覆うようにセンサチップ３１の上に設置されたキャップ部材３４と、キャップ部材３４をセンサチップ３１に向かって押圧する押圧部材６０と、を備え、センサチップ３１におけるキャップ部材３４の設置部位の内周は、センサ筐体３２とセンサチップ３１との接合部３６の内周に対して、ダイアフラム部３１ａの中央側に位置するように配置される。

公开(公告)号：WO2023078552A1

公开(公告)日：2023-05-11

申请号：PCT/EP2021/080637

申请日：2021-11-04

Applicant: STRAUB MEDICAL AG

Inventor： HALLER, Fabian ,  BAHNMUELLER, Bruno

IPC: A61B5/0215 ,  A61B5/00 ,  A61M25/00 ,  G01L9/00

Abstract: The present disclosure is directed to a catheter comprising a bendable catheter wall defining a substantially central interior lumen of the catheter, the catheter wall including a sealed chamber accommodating a fluid, the chamber substantially neighbouring the interior lumen and structured to be responsive to kinking of the catheter wall, the catheter further comprising a pressure sensor in fluid communication with the fluid, the pressure sensor configured to measure a pressure of the fluid, the pressure sensor further comprising an interface for communicating the measured pressure to a control unit, the catheter configured to allow for measurement of a change of the pressure in the fluid in response to kinking of the catheter.

公开(公告)号：WO2023041246A1

公开(公告)日：2023-03-23

申请号：PCT/EP2022/071909

申请日：2022-08-04

Applicant: ROBERT BOSCH GMBH

Inventor： WEBER, Heribert ,  SCHMOLLNGRUBER, Peter ,  FRIEDRICH, Thomas

IPC: G01L9/00

Abstract: Mikromechanisches Drucksensorelement (100), aufweisend: - ein Substrat (1); und - einen auf dem Substrat (1) ausgebildeten Schichtaufbau, wobei der Schichtaufbau eine obere Elektrode (9a), eine untere Elektrode (3a) und eine zwischen der oberen und unteren Elektrode angeordnete bewegliche Mittelelektrode (7a) aufweist, wobei die Mittelelektrode (7a) scheibenförmig ohne stufenförmigen Begrenzungsabschnitt ausgebildet ist und wobei der Schichtaufbau unmittelbar nach der Herstellung der Mittelelektrode (7a) eine plane Oberfläche aufweist.

公开(公告)号：WO2023026731A1

公开(公告)日：2023-03-02

申请号：PCT/JP2022/028419

申请日：2022-07-22

Applicant: 株式会社日立ハイテク

Inventor： 山崎　達也 ,  青野　宇紀 ,  金丸　昌敏 ,  鈴木　洋一郎

IPC: G01L9/04 ,  G01L9/00 ,  G01L19/00

Abstract: 長手方向と短手方向とで寸法が異なる開口部を有するセンサ筐体と、開口部を塞ぐようにセンサ筐体に設置されダイアフラム部を形成するセンサチップと、センサチップに設けられた歪みゲージ部と、センサチップにキャップ接合剤で接合されたキャップ部材と、を有する圧力センサであって、キャップ接合剤の接合面のうち、ダイアフラム部の長手方向両端部の接合面は、ダイアフラム部の短手方向両端部の接合面よりも接合面積が大きい。これにより、圧力センサにおいて、ダイアフラム部の破損等を防止するとともに、圧力検出感度を維持することができる。

公开(公告)号：WO2023021672A1

公开(公告)日：2023-02-23

申请号：PCT/JP2021/030475

申请日：2021-08-19

Applicant: 富士電機株式会社

Inventor： 松下　浩二

IPC: G01L9/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/12

Abstract: 半導体基板と、ガラス基板と、物理量センサと、物理量センサと電気的に接続されたパッド部とを備え、半導体基板およびガラス基板の少なくとも一方に設けられた凹部が、ガラス基板における第１接合部と半導体基板における第２接合部とが接合されることにより封止され、物理量センサおよびパッド部は、半導体基板とガラス基板とにより封止された封止空間に配置され、ガラス基板は、第１接合部に、ガラス基板の陽イオン濃度よりも陽イオン濃度が小さい陽イオン欠乏層を有する、センサ装置を提供する。

公开(公告)号：WO2022212608A1

公开(公告)日：2022-10-06

申请号：PCT/US2022/022690

申请日：2022-03-30

Applicant: AMS INTERNATIONAL AG ,  STOJANOVIC, Goran ,  SEURIN, Jean, Francois ,  XU, Guoyang ,  GUO, Baiming ,  WANG, Haisong ,  NEVOU, Laurent

Inventor： STOJANOVIC, Goran ,  SEURIN, Jean, Francois ,  XU, Guoyang ,  GUO, Baiming ,  WANG, Haisong ,  NEVOU, Laurent

IPC: G01L7/08 ,  G01L9/00 ,  G01L23/06 ,  H04R23/00 ,  G01L7/086 ,  G01L9/0017 ,  H04R2201/003 ,  H04R23/008 ,  H04R2307/027

Abstract: A displacement detector comprises a substrate (SUB) and a membrane (MEM) having an inner surface (INS) facing the substrate. A mounting area (MA) is arranged to fix the membrane along at least part of the perimeter (PER) of the membrane, wherein the mounting area, the inner surface and the substrate enclose a back volume (VOL). An acoustic compliance of the back volume is arranged to be the same or larger than an acoustic compliance of the membrane. An optical sensor is operable to generate a sensor signal indicative of a displacement of the membrane.

公开(公告)号：WO2022159572A1

公开(公告)日：2022-07-28

申请号：PCT/US2022/013113

申请日：2022-01-20

Applicant: MKS INSTRUMENTS, INC.

Inventor： BRUCKER, Gerardo, A.

IPC: G01L9/00 ,  G01L13/02 ,  G01L19/08 ,  G01L21/00

Abstract: A load lock pressure gauge comprises a housing configured to be coupled to a load lock vacuum chamber. The housing supports an absolute vacuum pressure sensor that provides instantaneous high vacuum pressure signal over a range of high vacuum pressures and a differential diaphragm pressure sensor that provides an instantaneous differential pressure signal between load lock pressure and ambient pressure. The housing further supports an absolute ambient pressure sensor. A low vacuum absolute pressure is computed from the instantaneous differential pressure signal and the instantaneous ambient pressure signal. A controller in the housing is able to recalibrate the differential diaphragm pressure sensor based on measured voltages of the sensor and a measured ambient pressure during normal operation of the pressure gauge with routine cycling of pressure in the load lock.

公开(公告)号：WO2022146517A1

公开(公告)日：2022-07-07

申请号：PCT/US2021/053009

申请日：2021-09-30

Applicant: ITRON GLOBAL SARL

Inventor： VAGO, Stephane ,  DURY, Herve

IPC: G01F1/66 ,  G01L9/00 ,  G01L9/08 ,  G01L9/12 ,  G01F1/667

Abstract: Techniques to provide a unified system for fluid pressure and fluid flowrate measurement are described. Upstream and downstream transducers include piezo devices, and are in contact with a fluid flow, such as in a pipe within a metering device. In an example, a first signal is sent from the upstream transducer to a downstream transducer, and time-of-flight of the first signal is measured. A second signal is sent from the downstream transducer to the upstream transducer, and a time-of- flight of the second signal is measured. A flowrate of the fluid flowing within the passage is calculated, based on the times of flight of the first and second signals. An electrical signal is sent to the first transducer. Upon conclusion of the electrical signal, a pressure of the fluid flowing within the passage is calculated, based at least in part on time of decay of a second electrical signal generated by vibration of the first transducer.

公开(公告)号：WO2022137702A1

公开(公告)日：2022-06-30

申请号：PCT/JP2021/035901

申请日：2021-09-29

Applicant: 株式会社村田製作所

Inventor： 岸杭　薫 ,  吉田　義浩

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/00 ,  G01L19/14

Abstract: 接着剤のはみ出し規制のための複雑な加工が不要であり、且つ筐体内部への液体の浸入を防止可能な態様で筐体に取付可能な半導体装置を提供する。本発明に係る半導体装置１０は、ベース基板２０上に実装され、圧力を検出する検出部４０Ｄを備える検出素子４０と、ベース基板２０上に設けられた樹脂パッケージ５０と、樹脂パッケージ５０に支持された筒状部材６０とを備える。樹脂パッケージ５０は、ベース基板２０上に設けられ、検出素子４０が埋設された基部５１と、検出部４０Ｄを露出させる露出穴５３を有し、基部５１から筒状部材６０内へ突出した突出部５２とを備える。筒状部材６０は、筒状の本体部６１と、基部５１に支持された下フランジ部６３とを備える。下フランジ部６３は、平面視において基部５１の外縁部５１Ｃより内側に位置する。突出部５２の外側面５２Ａは、筒状部材６０の内周面６１Ｂと接着されている。

公开(公告)号：WO2022112755A1

公开(公告)日：2022-06-02

申请号：PCT/GB2021/053044

申请日：2021-11-24

Applicant: EDWARDS LIMITED

Inventor： NORRINGTON, Michael John ,  BARLOW, Steven Graham

IPC: G01L9/00 ,  G01L19/12 ,  G01L21/00 ,  F04D15/00

Abstract: A pressure sensing unit, vacuum system and method are disclosed. The pressure sensing unit comprises: an inlet for connecting to a system to be monitored; a sensor configured to detect pressure, the sensor being in fluid communication with the inlet and determining circuitry configured to receive signals indicative of the detected pressure from the sensor. The determining circuitry is configured to determine a pressure and a rate of change of pressure over time from the signals. The determining circuitry comprises an output for outputting signals indicative of the determined pressure and the rate of change of pressure.