发明授权
- 专利标题： 用于评估集成电路的可靠性的方法和系统
- 专利标题（英）： Method and system for assessing reliability of integrated circuit
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申请号： CN201010229672.1申请日： 2010-07-13
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公开(公告)号： CN101963650B公开(公告)日： 2014-03-19
- 发明人: 陈奋 , 冯凯棣 , 何忠祥
- 申请人： 国际商业机器公司
- 申请人地址： 美国纽约
- 专利权人： 国际商业机器公司
- 当前专利权人： 国际商业机器公司
- 当前专利权人地址： 美国纽约
- 代理机构： 北京市中咨律师事务所
- 代理商 于静; 杨晓光
- 优先权： 12/508,111 2009.07.23 US
- 主分类号： G01R31/28
- IPC分类号： G01R31/28
摘要：
本发明涉及用于评估集成电路的可靠性的方法和系统。本发明提供一种方法。该方法包括：在第一操作条件下操作多个场效应晶体管(FET)；使所述多个FET中的至少一个的操作方向反转持续一短时长；测量在所述短时长期间所述多个FET中的所述一个的第二操作条件；计算在所述第二操作条件与参考操作条件之间的差异；以及基于在所述第二操作条件与所述参考操作条件之间的所述差异而提供可靠性指示信号，其中所述多个FET被用于单个集成电路(IC)中。
公开/授权文献
- CN101963650A 用于评估集成电路的可靠性的方法和系统 公开/授权日：2011-02-02
