发明公开
- 专利标题: 半导体组件及制造半导体组件的方法
- 专利标题(英): Semiconductor Device And Method For Fabricating Semiconductor Device
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申请号: CN201410474255.1申请日: 2011-07-13
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公开(公告)号: CN104269390A公开(公告)日: 2015-01-07
- 发明人: 吴伟诚 , 侯上勇 , 郑心圃 , 刘醇鸿 , 邱志威 , 史朝文
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路八号
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国
- 优先权: 12/879,512 2010.09.10 US
- 分案原申请号: 201110204956X 2011.07.13
- 主分类号: H01L23/485
- IPC分类号: H01L23/485 ; H01L23/522 ; H01L23/31 ; H01L21/60
摘要:
本发明提供一种半导体组件及制造半导体组件的方法,半导体组件包含接合垫结构,其中接合垫结构具有介于金属接合垫与凸块下金属(UBM)层的环状应力缓冲层。应力缓冲层是用介电层、高分子聚合物层或铝层来形成,其中介电层具有小于3.5的介电常数。上述应力缓冲层是圆形环、方形环、八边形(Octagonal)环或任何几何形状的环。
公开/授权文献
- CN104269390B 半导体组件及制造半导体组件的方法 公开/授权日:2018-07-17
IPC分类: