半导体组件及制造半导体组件的方法
摘要:
本发明提供一种半导体组件及制造半导体组件的方法,半导体组件包含接合垫结构,其中接合垫结构具有介于金属接合垫与凸块下金属(UBM)层的环状应力缓冲层。应力缓冲层是用介电层、高分子聚合物层或铝层来形成,其中介电层具有小于3.5的介电常数。上述应力缓冲层是圆形环、方形环、八边形(Octagonal)环或任何几何形状的环。
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