发明公开
CN104599997A 塑料封装金属丝键合器件的开封方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 塑料封装金属丝键合器件的开封方法
- 专利标题(英): Unpacking method of plastic-packed metal wire bonding device
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申请号: CN201510053404.1申请日: 2015-01-30
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公开(公告)号: CN104599997A公开(公告)日: 2015-05-06
- 发明人: 何胜宗 , 邝贤军 , 王有亮 , 武慧薇 , 彭泽亚 , 刘丽媛 , 许广宁 , 陈选龙 , 袁光华 , 李伟
- 申请人: 工业和信息化部电子第五研究所
- 申请人地址: 广东省广州市天河区东莞庄路110号
- 专利权人: 工业和信息化部电子第五研究所
- 当前专利权人: 工业和信息化部电子第五研究所
- 当前专利权人地址: 广东省广州市天河区东莞庄路110号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 李海恬; 万志香
- 主分类号: H01L21/66
- IPC分类号: H01L21/66
摘要:
本发明公开了一种塑料封装金属丝键合器件的开封方法,属于电子元器件失效分析技术领域。该开封方法包括平磨、割槽、分离步骤,其中:平磨步骤中:用120-2000目的砂纸对器件进行研磨,研磨面为芯片有源面的塑封一侧,逐渐研磨去除芯片表面的塑封料,至距离芯片表面0.5mm-3mm时,停止研磨;割槽步骤中:在器件研磨面上,沿芯片所在位置的四周切割出环形凹槽;分离步骤中:以粘性材料粘贴上述环形凹槽围绕的塑封料区域,然后拉起粘性材料,至芯片表面的塑封料被拉起,暴露出芯片。以该方法暴露器件的内部芯片,能够在保留键合丝的第一键合点键合状态、芯片表面及键合附近的腐蚀、脏污等重要信息。
IPC分类: