塑料封装金属丝键合器件的开封方法

    公开(公告)号:CN104599997A

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201510053404.1

    申请日:2015-01-30

    CPC classification number: H01L21/02 H01L22/30

    Abstract: 本发明公开了一种塑料封装金属丝键合器件的开封方法,属于电子元器件失效分析技术领域。该开封方法包括平磨、割槽、分离步骤,其中:平磨步骤中:用120-2000目的砂纸对器件进行研磨,研磨面为芯片有源面的塑封一侧,逐渐研磨去除芯片表面的塑封料,至距离芯片表面0.5mm-3mm时,停止研磨;割槽步骤中:在器件研磨面上,沿芯片所在位置的四周切割出环形凹槽;分离步骤中:以粘性材料粘贴上述环形凹槽围绕的塑封料区域,然后拉起粘性材料,至芯片表面的塑封料被拉起,暴露出芯片。以该方法暴露器件的内部芯片,能够在保留键合丝的第一键合点键合状态、芯片表面及键合附近的腐蚀、脏污等重要信息。

    微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565A

    公开(公告)日:2021-11-09

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

    微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法

    公开(公告)号:CN113624565B

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202110919009.2

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明涉及微量气氛取样检测装置及微量气氛取样检测方法,微量气氛取样检测装置,包括中空的检测腔体以及真空系统,检测腔体与真空系统连通,检测腔体内设置有测试装置、样品固定装置以及质谱仪,测试装置与样品固定装置对应设置,样品固定装置用于固定设置样品,测试装置能够破坏样品的气密封,质谱仪对样品逸出的气氛进行分析。通过将内部气氛取样和检测分析结构设置在同一个腔体中,相比现有技术不再需要设置具有空间死角的结构,避免了其对样品内部气氛扩散的不利影响,即使样品内的气氛气体很少,其也能够在检测腔体中充分扩散,使质谱仪能够获取并加以测试分析,本发明的微量气氛取样检测装置具有检测灵敏度高、分析检测限低的特点。

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