缺陷检查装置以及生产系统
摘要:
提供一种能够高精度地测定表面缺陷的体积的缺陷检查装置(1)。缺陷检查装置(1)具备:拍摄装置(3),其对检查对象的图像进行拍摄;二值化处理部(11),其通过针对图像利用互不相同的第1以及第2二值化阈值进行第1以及第2二值化处理,从而针对图像中的同一缺陷而计算出第1以及第2尺寸;比率计算部(12),其对第2尺寸相对于第1尺寸的第1比率进行计算;以及深度判定部(13),其根据第1比率而判定缺陷的深度。
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