- 专利标题: 一种栅自对准型碳化硅MOSFET及其制备方法
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申请号: CN201510767499.3申请日: 2015-11-11
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公开(公告)号: CN106684146B公开(公告)日: 2020-03-24
- 发明人: 陈喜明 , 刘可安 , 李诚瞻 , 赵艳黎 , 丁荣军
- 申请人: 株洲南车时代电气股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省株洲市石峰区时代路169号
- 专利权人: 株洲南车时代电气股份有限公司
- 当前专利权人: 株洲中车时代电气股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省株洲市石峰区时代路169号
- 代理机构: 北京聿宏知识产权代理有限公司
- 代理商 刘烽; 吴大建
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L21/336 ; H01L29/423 ; H01L29/43
摘要:
本发明涉及一种栅自对准型碳化硅MOSFET及其制备方法。该方法以多晶碳化硅作为碳化硅MOSFET的自对准栅电极前体来制备栅自对准型碳化硅MOSFET,制备过程中利用多晶碳化硅替代多晶硅作为栅自对准离子注入掩膜,可以使碳化硅MOSFET的制备完全执行硅MISFET制造过程中所执行的栅自对准工艺,由此解决了现有沟道自对准工艺的金属污染和低对准精度的问题。
公开/授权文献
- CN106684146A 一种栅自对准型碳化硅MOSFET及其制备方法 公开/授权日:2017-05-17
IPC分类: