Cu柱、Cu芯柱、钎焊接头及硅穿孔电极
摘要:
本发明提供维氏硬度低、且算术平均粗糙度小的Cu柱、Cu芯柱、钎焊接头及硅穿孔电极。本发明的Cu柱1的纯度为99.9%以上且99.995%以下,算术平均粗糙度为0.3μm以下,维氏硬度为20HV以上且60HV以下。Cu柱1在软钎焊温度下不熔融,能够确保一定的焊点高度(基板间的空间),因此适用于三维安装、窄间距安装。
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