一种体掺杂金刚石基常关型场效应晶体管及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种体掺杂金刚石基常关型场效应晶体管及其制备方法,包含金刚石衬底;金刚石衬底上设有一层单晶金刚石外延薄膜;单晶金刚石外延薄膜上设置有体掺杂单晶外延薄膜和刻蚀区域,刻蚀区域为高肖特基势垒终端;体掺杂单晶外延薄膜上设置有沟道区域;沟道区域包括体掺杂单晶外延薄膜作为导电沟道,且为低肖特基势垒终端;源电极和漏电极处于沟道区域的两侧;源电极和漏电极之间刻蚀区域及沟道区域上设置栅电极。本发明为常关型场效应晶体管,利用体掺杂外延单晶金刚石材料作为导电沟道使用,可发挥金刚石材料耐高温、抗辐射和可在恶略环境工作等优势。
Patent Agency Ranking
0/0