发明授权
- 专利标题： 金属氟氧化物的处理方法及清洁方法
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申请号： CN201880041939.9申请日： 2018-05-31
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公开(公告)号： CN110799666B公开(公告)日： 2021-10-19
- 发明人: 长友真圣 , 八尾章史
- 申请人： 中央硝子株式会社
- 申请人地址： 日本山口县
- 专利权人： 中央硝子株式会社
- 当前专利权人： 中央硝子株式会社
- 当前专利权人地址： 日本山口县
- 代理机构： 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 李茂家
- 优先权： 2017-137765 20170714 JP
- 国际申请： PCT/JP2018/020917 2018.05.31
- 国际公布： WO2019/012841 JA 2019.01.17
- 进入国家日期： 2019-12-23
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44 ; C01G39/04 ; C01G41/04 ; H01L21/28 ; H01L21/285 ; H01L21/302 ; H01L21/3065
摘要：
本发明的金属氟氧化物的处理方法的特征在于使通式MO(6‑x)/2Fx(0＜x＜6、M＝W或Mo)所示的金属氟氧化物于0℃以上且不足400℃的温度下与含氟气体接触，通过化学反应转换为通式MF6(M＝W或Mo)所示的六氟化金属。于本处理方法中，能够不使用等离子体产生装置而将金属氟氧化物转换为高蒸气压的物质，能够用于氟化金属制造装置的清洁或成膜装置的清洁。
公开/授权文献
- CN110799666A 金属氟氧化物的处理方法及清洁方法 公开/授权日：2020-02-14
IPC分类:
