Invention Publication
CN112119297A 晶片检查装置和晶片检查方法
无效 - 驳回
- Patent Title: 晶片检查装置和晶片检查方法
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Application No.: CN201880093447.4Application Date: 2018-05-30
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Publication No.: CN112119297APublication Date: 2020-12-22
- Inventor: 土居昭 , 佐佐木实 , 长谷川正树 , 小川博纪 , 尾方智彦 , 冈田祐子
- Applicant: 株式会社日立高新技术
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 株式会社日立高新技术
- Current Assignee: 株式会社日立高新技术
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- Agent 龙淳
- International Application: PCT/JP2018/020719 2018.05.30
- International Announcement: WO2019/229871 JA 2019.12.05
- Date entered country: 2020-11-13
- Main IPC: G01N23/203
- IPC: G01N23/203 ; G01N21/956
Abstract:
本发明提供在存在由晶片的翘曲等引起的高度变动的观测对象中也很少发生画质的劣化的晶片检查技术。晶片检查装置使观测光学系统的焦点聚焦于由测量晶片表面高度的高度传感器测量出的高度，而且，根据与高度对应的光学倍率数据和工作台位置数据修正CCD线传感器的切换信号，实施与晶片表面高度对应的修正，由此能够得到劣化减少的图像(参照图1)。
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