公开(公告)号：CN116913804A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310384281.4

申请日：2023-04-12

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 加藤孝宜 ,  水落真树 ,  高桥宗大 ,  小川博纪

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  G01B11/00

Abstract: 本发明提供一种载物台装置、带电粒子束装置以及光学式检查装置，能够降低伴随下方的工作台的旋转振动的浮起载物台(上方的工作台)的残留振动，能够提高生产率。该载物台装置具备能够在基座(106)上移动的第一工作台(104)、能够在第一工作台上浮起并移动具有第一部分和比第一部分靠下方的第二部分的第二工作台(102)、测量第二工作台的第一部分的位置的第一位置测量设备(600)、测量第二工作台的第二部分的位置的第二位置测量设备(300)以及控制驱动第二工作台的马达(200)的计算机(601)。计算机基于关于第一位置测量设备测量出的第一部分的位置的信息和关于第二位置测量设备测量出的第二部分的位置的信息，驱动第二工作台。

公开(公告)号：CN116072491A

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202211239681.8

申请日：2022-10-11

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 小川博纪 ,  水落真树 ,  高桥宗大 ,  加藤孝宜

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明提供了能够准确且高速地定位顶台相对于镜筒的位置的平台装置以及具有该平台装置的带电粒子束装置。本发明所涉及的带电粒子束装置包括第一移动台以及配置在所述第一移动台的上方的第二移动台，测量样品室和所述第一移动台之间的第一相对位置、所述样品室和第二移动台之间的第二相对位置以及所述镜筒和所述样品之间的第三相对位置，根据所述第一相对位置和所述第二相对位置，校正所述第一移动台和所述第二移动台之间的相对位置。

公开(公告)号：CN112119297A

公开(公告)日：2020-12-22

申请号：CN201880093447.4

申请日：2018-05-30

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 土居昭 ,  佐佐木实 ,  长谷川正树 ,  小川博纪 ,  尾方智彦 ,  冈田祐子

IPC: G01N23/203 ,  G01N21/956

Abstract: 本发明提供在存在由晶片的翘曲等引起的高度变动的观测对象中也很少发生画质的劣化的晶片检查技术。晶片检查装置使观测光学系统的焦点聚焦于由测量晶片表面高度的高度传感器测量出的高度，而且，根据与高度对应的光学倍率数据和工作台位置数据修正CCD线传感器的切换信号，实施与晶片表面高度对应的修正，由此能够得到劣化减少的图像(参照图1)。