本发明公开了一种变电站足式巡检机器人路径规划方法及系统，包括：控制机器人沿设定的巡检路线运行，巡检过程中采集周边环境信息，识别出待检电力设备类型及当前运行路面特征；提取待检电力设备的语义信息，获得与所述待检电力设备相关联的监测点位信息；利用局部路径规划控制机器人脱离设定巡检路线，运行至待检设备最佳的观测位置进行巡检数据采集。本发明利用足式巡检机器人对站内各种路面环境适应性好的特点，在接近巡检设备时通过局部路径规划控制机器人脱离巡检任务设定全局巡检路线，环绕待检设备运行，可实现对待检设备的全方位巡检数据采集，并保证从最佳观测角度采集待检点位巡检数据。