本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。