一种材料放气率测试系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN112304804B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202011169846.X

    申请日:2020-10-28

    Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法,包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门,第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱,一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响;另一方面可以实现样品和本底同时测量,将原有的测量过程缩短了一半时间,提高了测量效率。

    气体流量计系统及其使用方法

    公开(公告)号:CN112945356B

    公开(公告)日:2023-02-03

    申请号:CN202110116702.6

    申请日:2021-01-28

    Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法,系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3),所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6),所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上,所述主管线(1)上还设有第一真空室(8),其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间,所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体,从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。

    气体流量计系统及其使用方法

    公开(公告)号:CN112945356A

    公开(公告)日:2021-06-11

    申请号:CN202110116702.6

    申请日:2021-01-28

    Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法,系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3),所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6),所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上,所述主管线(1)上还设有第一真空室(8),其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间,所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体,从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。

    一种材料放气率测试系统及其测试方法

    公开(公告)号:CN112304804A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202011169846.X

    申请日:2020-10-28

    Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法,包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门,第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱,一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响;另一方面可以实现样品和本底同时测量,将原有的测量过程缩短了一半时间,提高了测量效率。

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