发明授权
- 专利标题: 存储器件及其铁电场效应晶体管和读取方法
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申请号: CN202110602234.3申请日: 2021-05-31
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公开(公告)号: CN113380892B公开(公告)日: 2024-04-09
- 发明人: 林孟汉 , 黄家恩 , 贾汉中 , 刘逸青 , 杨世海 , 王奕
- 申请人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾新竹
- 专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人: 台湾积体电路制造股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾新竹
- 代理机构: 北京德恒律治知识产权代理有限公司
- 代理商 章社杲; 李伟
- 主分类号: H01L29/78
- IPC分类号: H01L29/78 ; H01L29/51 ; H10B51/30 ; G11C11/22
摘要:
一种配置为多位存储器件的铁电场效应晶体管(FeFET),该FeFET包括:半导体衬底,在该半导体衬底中具有源极区,在该半导体衬底中具有漏极区;栅极堆叠件在半导体衬底上,其中源极区和漏极区延伸到栅极堆叠件的相对侧,该栅极堆叠件包括在半导体衬底上方的铁电层,以及在铁电层上方的栅极区。晶体管还包括铁电层的第一端和第二端,其分别对应于源极和漏极区。铁电层包括偶极子。在铁电层的第一端的第一组偶极子具有第一极化。在铁电层的第二端的第二组偶极子具有第二极化,第二极化与第一极化基本上相反。本发明的实施例还涉及存储器件及读取铁电场效应晶体管的方法。
公开/授权文献
- CN113380892A 存储器件及其铁电场效应晶体管和读取方法 公开/授权日:2021-09-10
IPC分类: