发明公开
- 专利标题： 一种包含非接触式吸盘的晶粒搬运装置、检测装置和方法
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申请号： CN202211337592.7申请日： 2022-10-28
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公开(公告)号： CN115825095A公开(公告)日： 2023-03-21
- 发明人: 张程 , 徐世明 , 鄢坤 , 王伊纳 , 廖志鹏 , 周海
- 申请人： 珠海格力新元电子有限公司 , 珠海格力电器股份有限公司
- 申请人地址： 广东省珠海市斗门区斗门镇龙山工业区龙山二路东8号;
- 专利权人： 珠海格力新元电子有限公司,珠海格力电器股份有限公司
- 当前专利权人： 珠海格力新元电子有限公司,珠海格力电器股份有限公司
- 当前专利权人地址： 广东省珠海市斗门区斗门镇龙山工业区龙山二路东8号;
- 代理机构： 广州市时代知识产权代理事务所
- 代理商 马盼
- 主分类号： G01N21/95
- IPC分类号： G01N21/95 ; G01N21/01 ; H01L21/677
摘要：
本发明公开了一种包含非接触式吸盘的晶粒搬运装置、检测装置和方法，其中非接触式吸盘用于对晶粒进行非接触式吸附，包括与气管连通的出气口，所述出气口为变截面结构，变截面结构为出气口由靠近气管一侧至远离气管一侧其截面面积递增，所述出气口的内部设置有整流罩，所述整流罩安装在出气口近气管端，整流罩周侧开设有若干整流孔。本发明能够实现非接触式晶粒吸取和翻转，避免晶粒损伤，提高检测准确性，进而有效提高晶粒搬运检测效率。
