一种半导体器件的ESD测试系统、测试方法和控制装置

    公开(公告)号:CN115480120A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202211232635.5

    申请日:2022-10-10

    IPC分类号: G01R31/00 G01R31/26

    摘要: 一种半导体器件的ESD测试系统、测试方法和控制装置,包括静电发生组和被测管脚端,还包括测试电路,所述测试电路具有继电器和逻辑门电路,所述继电器的一触点端与所述静电发生组的静电释放端连接,另一触点端与所述被测管脚端连接,所述逻辑门电路与所述继电器的信号控制端电性连接以使所述继电器根据所述逻辑门电路的输出信号控制所述静电发生组和所述被测管脚端之间的导通或浮空。本发明通过控制组的各路输出控制高低电平信号输出,进而对测试电路的控制,从而实现静电发生组和被测管脚端之间的导通和断开,达到控制管脚浮空或导通的目的,弥补了传统ESD测试技术人工控制费时费力的缺陷,增强了整体系统的可控性,降低了测试成本。

    一种半导体器件的ESD测试系统

    公开(公告)号:CN218824509U

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202222655557.1

    申请日:2022-10-10

    IPC分类号: G01R31/00 G01R31/26

    摘要: 一种半导体器件的ESD测试系统,包括静电发生组和被测管脚端,还包括测试电路,所述测试电路具有继电器和逻辑门电路,所述继电器的一触点端与所述静电发生组的静电释放端连接,另一触点端与所述被测管脚端连接,所述逻辑门电路与所述继电器的信号控制端电性连接以使所述继电器根据所述逻辑门电路的输出信号控制所述静电发生组和所述被测管脚端之间的导通或浮空。本实用新型通过控制组的各路输出控制高低电平信号输出,进而对测试电路的控制,从而实现静电发生组和被测管脚端之间的导通和断开,达到控制管脚浮空或导通的目的,弥补了传统ESD测试技术人工控制费时费力的缺陷,增强了整体系统的可控性,降低了测试成本。