本发明公开了一种高真空下绝缘材料表面电位控制方法，采用紫外光源辐照绝缘材料试样，使其产生辐射诱导电导率，通过电荷对地泄放的方式将电荷排出。本发明中，采用紫外光源辐照绝缘材料试样，使其产生辐射诱导电导率，通过电荷对地泄放的方式将电荷排出，可有效消除绝缘材料试样表面积累电荷形成的表面电位，无需另外配备电子枪、离子源等价格昂贵的设备，降低了电位控制的成本，无复杂的外部电路设计，增加了测试可靠性；利用紫外辐照方式实现高真空条件下绝缘材料表面电位控制，无需接触样品表面即可完成中和表面电位操作，避免破坏样品表面形貌进而影响其二次电子发射特性，增加了测试稳定性，提高二次电子发射系数测量的准确性。