发明授权
CN1160761C 样品加工系统
失效 - 权利终止
- 专利标题： 样品加工系统
- 专利标题（英）： Sample processing system
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申请号： CN99123433.2申请日： 1999-11-05
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公开(公告)号： CN1160761C公开(公告)日： 2004-08-04
- 发明人: 柳田一隆 , 近江和明 , 坂口清文
- 申请人： 佳能株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人： 佳能株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 杜日新
- 优先权： 316575/1998 1998.11.06 JP
- 主分类号： H01L21/02
- IPC分类号： H01L21/02 ; H01L21/20 ; H01L27/12
摘要：
本发明提供一种适用于制造SOI衬底的加工系统。加工系统包括：无向自动控制装置，用以传送由自动操作手保持的键合衬底叠片；以及配置在与无向自动控制装置的驱动轴大致等距离的位置的定中心设备、分离设备、翻转设备、和清洗/干燥设备。当自动操作手在水平面的绕驱动轴转动并移动靠近或离开该驱动轴时，就在各加工设备之间传递键合衬底叠片或分离后的衬底。
公开/授权文献
- CN1258091A 样品加工系统 公开/授权日：2000-06-28